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博为氦质谱检漏仪在电子半导体密封性检测中的检漏应用

一、前言 半导体电子产品由于密封不良，将会造成产品的漏气漏液，从而降低使用性能，有时还会造成本身及附近产品的腐蚀现象，甚至使产品破坏丧失全部功能，以致造成巨大的或不可挽回的损失。根据使用条件不同，应对产品提出不同的密封要求，国家则出具了统一的密封标准。 近年来由于电子行业的发展以及空间探索活动的增加，检漏技术得到了快速发展，它的重要标志是将以氦作为示踪气体的氦质谱检漏仪快速的进入了各个适用的领域，其所用领域极其广泛，涵盖了汽车、制冷、家电、航空、航天、电子、电力、真空、仪器仪表、新能源、新材料、阀门、医疗等行业。 氦质谱检漏仪同其他检测方法相比，除检漏方法不同之外，凭借着它的检测灵敏度高、速度快，可进行定性、定量、定点的检测，特别是选择无破坏性、无毒、无危险的惰性气体——氦（He）为示踪气体，使它成为今天检漏仪器当中的必选。 在许多科学领域和工业制造中，氦质谱检漏仪已成为控制和监督产品质量的装备，尤其......阅读全文