AFM的Tapping模式

a）点击实验方案选择图标，打开界面；

b）选择实验具体模式，Tapping Modee；

c）选择实验环境Air进入实验界面；

d）根据上面提到的步骤，调整激光，并将Head靠近样品表面以看清样品；

e）点击 “Check Parameters” 图标；

f） 设定以下扫描参数：Scan size小于 1 um，X offset和 Y offset设为0；

g）Scan angle 设为 0；

h）Tapping模式需找探针固有振动频率。点击“Auto Tune”，可以得到探针的共振峰；i）点击 Engage进针；

j）进针结束开始扫图，将Scan size 设置成要扫的形貌大小；

k）观察Height Sensor图中观察Trace和Retrace两条曲线的重合情况；

l）优化Setpoint。在 Tapping模式下，调节Amplitude setpoint直到Trace和Retrace两条扫描线基本一致；

m）优化Integral gain和 Proportional gain，一般的调节方法为：增大 Integral gain，使Trace和Retrace曲线开始震荡，然后减小 曲线开始震荡，然后减小Integral gain直到震荡消失，接下来用相同的办法调Proportional gain。通过调节增益来使两条扫描线基本重合并且没有震荡；

n）调节扫描范围和速率。随着的增大，必须相应降低调节扫描范围和速率；

o）如果样品很平，可以适当减小Z Range的数值，这将提高 Z方向的分辨率。