离子镜
在ICP-MS中,产生的1000,000个离子中,只有1个能够最终到达检测器,这是由于每级的效率决定的,在这样低效率的传输下,去除各种干扰就变得更加重要了,离子镜的主要目的是去除电子和中性微粒的影响,并对正电子实现聚焦。离子镜的结构如图9所示。当离子从截取锥喷出时,在进入离子镜之前,能量较小的离子会更多的被真空抽走。

等离子体首先进入的是截取透镜(extraction lens),截取透镜具有很强的负电势,所以电子无法通过,被真空抽走。在后面是几级离子聚焦透镜,离子聚焦透镜的原理是:安装两个电极板或圆筒,在两个电极之间形成了透镜状的等场强线,当边缘离子入射到电场时,受电场影响,向中心移动,随后出射运动方向又恢复到了向前,实现了位置上的聚焦。ICP-MS在产生离子的同时,也产生大量光子,由于光子也可以被检测器检测和计数,所以在离子透镜的末端,是一个偏转透镜,用于去除光子干扰。(一般来讲,采样锥离子流为0.1A,截取锥电流为1mA)
在x-7ICP-MS中,透镜组如下图:

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