pecvd等离子体增强化学气相沉积技术原理是利用低温等离子体作能量源,样品置于低气压下辉光放电的阴极上,利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度,然后通入适量的反应气体,气体经一系列化学反应和等离子体反应,在样品表面形成固态薄膜.
大面积、高质量石墨烯在传感器和透明导电应用方面有着重大需求，而化学气相沉积法是一种被广泛应用在金属催化剂上生长石墨烯薄膜的方法。然而，由于石墨烯和金属之间有着不同的热膨胀系数（Cu：2.6×10-5/......
12月6日，沈阳市人大副主任徐璐率省、市人大代表视察团，在沈阳市副市长王玲、市政府副秘书长陈小平、浑南新区管委会副主任林海波、沈阳市科技局局长宋锡坤等领导的陪同下，一行40余人参观视察中科院沈阳科学仪......
