01.电子源大小
电子源大小为电子枪发射出电子后经韦氏帽汇聚后所形成的电子束斑，六硼化镧和六硼化铈灯丝明显小于钨灯丝，更有利于经过聚光镜和物镜汇聚后形成更小的电子束斑，从而得到更好的分辨率；
02.亮度
亮度为灯丝单位面积内的电子流强度，亮度越高，越有利于得到更充足的信号，提高图片的信噪比和清晰度。六硼化镧和六硼化铈灯丝的亮度为钨灯丝的10 倍，因此可以得到信噪比更好的图片；
03.能量宽幅
能量宽幅代表灯丝发射出的电子的单色性，能量宽幅越小代表灯丝发射出的电子单色性越好，能量也越集中，能量集中有助于减小透镜色差，形成更小的束斑从而提高分辨率，六硼化镧和六硼化铈灯丝发射的电子单色性更高，分辨率更高；
下图为使用六硼化铈 (CeB6) 灯丝的飞纳台式扫描电镜与使用普通钨灯丝台式电镜同一样品的效果对比可知，六硼化铈灯丝台式电镜的分辨率更高，信噪比更强。
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