TEM样品防污染措施

在透射电镜观察的过程中，样品污染一直是个影响高分辨成像质量的重要原因之一。样品的污染主要是由于镜筒内残留的碳氢化合物，以及吸附在样品表明的有机物，当电子束照射某一区域时，向其聚集所致。如何有效加以改善呢?

(1)改善样品室的真空卫生。

①达到尽可能高的真空度，一般使用要优于20μPa;

②不要用手去接触放入真空中样品杆的前端部分，及橡皮圈之前;

③样品杆长期在大气中暴露，尤其在雨季或潮湿地区，吸附在上面的有机物很难在短时间内被抽走，这样放入样品室后就会在一定程度上破坏真空度，有条件的话最好配备一个样品杆预抽机，不使用的样品杆可以先放在这里预抽保持干燥，同时有的样品杆预抽机还带有烘烤功能，这样更有利于污染物的挥发。没有的话，最好在把样品取出后再将样品杆放回样品室保持在真空状态;

④对于使用DP作为样品室预抽的最好不要超过10min，太长油蒸汽多少会污染一些样品;

⑤样品杆放入后不要马上将灯丝或电子枪隔离阀打开，因为在插入的过程中多少会人为的造成一点泄漏，即使看着真空度很好，最好再等待1～2min，等真空稳定后再观察;

⑥使用ACD抗污染装置，每天早上加液氮，既有利于样品室的真空卫生，又对SIP的寿命是有好处，它的有效时间是7～8h，所以不影响下午工作中午必须补充液氮。切记下班前将ACD烘烤;⑦1～3个月要将镜筒烘烤一次，一般在周末BAKE60h左右;(2)其次使用PLASMACLEANEＲZ(等离子清洗机)对样品进行处理。它是通过活性等离子对样品进行物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面的有机物及氧化层物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，而达到清洗目的。另外它也可以作为样品预抽机使用。