TEM电子系统

电子系统　　　　

电子显微镜的电子系统（electron system）主要有以下几部分组成：高压发生器及电子枪灯丝加热电源，透镜稳流电路，电子系统，稳压电路，安全自控电路，计算机控制电路。

（一）高压发生器

高压发生器是为电镜提供高压的装置，由一个高压油箱或氟里昂气箱和高压电缆组成，为发射的电子提供加速能量。其稳定性直接影响电镜的质量。一般输出的高压有不同的分档，如35、75、100、150、175、200kv档，供操作者选择。

（二） 灯丝加热电源

灯丝必须加电流使其产生高热，然后促使电子由灯丝尖端逸出，形成电子束，作为电镜的光源。灯丝的加热电流一般为3a左右，灯丝电流由一精细的电位器调节，使灯丝能处于比较合适的状态。

（三）透镜稳流电路

各透镜的电流稳定性直接影响到成像的分辨率与放大倍数的精确值。如果透镜电流不稳定，透镜的磁场强度将发生变化，造成电镜图象的不稳定。因此，必须利用稳定性能较高的电路来保证向各级透镜提供稳定电流。现在的稳定电路一般由集成电路或晶体管构成，因此是低电压电路。

（四）安全自控电路

现代的电镜一般都有较好的保护装置，当突然出现断电、断水、真空漏气或由于外界温度较高等因素影响仪器工作时，仪器能通过安全自控电路切断电源或关闭必要的阀门并发出警报，提醒操作人员注意，这样就有效地保护了仪器，使之不至于在突发的事故中损坏。

（五）计算机控制电路

在当今计算机广泛普及的时代，新型电镜也采用计算机对调试电镜、测量工作数据等程序进行管理，所有必要的数据、调试步骤已全部存入计算机程序，这大大简化了操作维修人员的工作，在操作维修时只要调出相应程序，按照其指示，即可方便地完成调试。这就使电镜的操作更为简化。