X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用

锫钛酸铅[Pb（Ti,Zr）O₃,简称 PZT]是一种新型的铁电薄膜材料,具有独特的电学,光学性能,有很广泛的应用价值。PZT 薄膜与器件的制造,均采用集成电路制造工艺。使用扫描电镜与 X 射线能谱仪对其进行工艺监控,可以得到比较满意的结果。