X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用

锫钛酸铅[Pb(Ti,Zr)O3,简称 PZT]是一种新型的铁电薄膜材料,具有独特的电学,光学性能,有很广泛的应用价值。PZT 薄膜与器件的制造,均采用集成电路制造工艺。使用扫描电镜与 X 射线能谱仪对其进行工艺监控,可以得到比较满意的结果。......阅读全文

X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用

锫钛酸铅[Pb(Ti,Zr)O3,简称 PZT]是一种新型的铁电薄膜材料,具有独特的电学,光学性能,有很广泛的应用价值。PZT 薄膜与器件的制造,均采用集成电路制造工艺。使用扫描电镜与 X 射线能谱仪对其进行工艺监控,可以得到比较满意的结果。

X射线能谱仪应用范围

1、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定;2、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析;3、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析,如:金属化膜表面镀层的检测;4、金银饰品、宝石首饰的鉴别,考古和文物鉴定,以及刑侦鉴定等领域;5、进行材料表面微区成分的定性和定量分析,

扫描电镜结合X射线能谱仪在皮革鉴定中的应用

利用扫描电镜和X射线能谱仪对牛皮革、羊皮革、猪皮革肉面纤维束和人造革底基纤维进行了形态结构观察和元素分析。结果表明:皮革肉面纤维束与人造革底基纤维在形态结构与元素组成等方面存在着显著性差异,可以用于皮革的鉴定中。 

扫描电镜及X射线能谱仪在首饰镀层检测中的应用

采用扫描电镜及X射线能谱仪对首饰镀层进行了检测,并对两种方法进行了比较。结果表明,镀铑首饰采用无损检测法较合适,而镀金首饰采用破坏性检测法较合适。 

X射线能谱仪及其在地质研究工作中的初步应用

在国外六十年代初期发展起来的一种新的核辐射探测器——锂漂移硅核辐射探测器, 在七十年代初因探测效率高,能量分辨率好,被应用于 X 射线能谱仪。目前硅(锂)谱仪的能量分辨率达110电子伏(对 MnK_α5.9千电子伏的 X 射线)。近十年来,扫描电子显微镜(包括大型、小型)、电子探针仪和透射电子显微镜

应用X射线能谱仪检验原子印油

 原子印章是一种新型的印章。原子印章携带和使用极为方便,已被普遍使用。由于原子印章的特殊结构,其印油的成份不同于普通的印台油及印泥。早期的原子印油多为国外进口,目前国内亦有一些厂家生产。我们应用扫描电子显微镜和 X 射线能谱仪对原子印油进行检验,获得一些有用的信息。

小波变换法在X射线能谱去噪声中的应用

阐述了二进小波变换法的去噪声原理和方法 ,并将其应用于 X射线能谱分析中噪声的去除。实验结果表明 ,该去噪方法能够解决传统平滑方法的不足 ,改善 X射线能谱的定性、定量分析结果 

扫描电镜X射线能谱法在镀层分析中的应用

以测定人民币壹元和伍角硬币的镀层成分为例子来说明扫描电镜-X射线能谱法在镀层分析中的应用。这种无损、检测速率快的分析方法,必将在电镀工艺研究和开发等方面发挥更大的作用。 

微分消卷积法在分析X射线能谱和衍射谱中的应用

x射线谱图中,谱峰的重叠现象十分常见。本文应用微分消卷积法,对实测的谱图进行消卷积处理,从而提高了x射线谱图的分辨率,使原来重叠的谱峰得以分离,通过谱峰面积的计算,得到了它们的相对含量,与配置值基本符合。 

X射线能谱仪简介

能谱仪是利用X射线能谱分析法来对材料微区成分元素种类与含量分析的仪器,常常配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。

软X射线能谱仪

本文描述了一个用于托卡马克杂质谱线精细测量的高分辨软X射线谱仪。谱仪采用Johann型弯晶衍射结构,以多丝正比室作探测器件。其测量范围为2—8keV(1—6),能量分辨为4.1eV(在6.4keV处)。多丝正比室采用阳极丝逐丝读出法,位置读出精度2mm。谱仪配有自动数据记录系统。 

X射线能谱仪的工作原理和应用

  1 X射线能谱仪的工作原理  当电子枪发射的高能电子束进入样品后,与样品原子相互作用,原子内壳层电子被电离后,由较外层电子向内壳层跃迁产生具有特定能量的电磁辐射光子,即特征X射线。X射线能谱仪就是通过探测样品产生的特征X射线能量来确定其相对应的元素,并对其进行相应的定性、定量分析。  2 扫描电

X射线能谱仪的使用原理及应用

在许多材料的研究与应用中,需要用到一些特殊的仪器来对各种材料从成分和结构等方面进行分析研究。其中,X射线能谱仪(XPS)就是常用仪器。下面详细介绍一下X射线能谱仪的基本原理、结构、优缺点及应用。   X射线能谱仪的简介   X射线光电子能谱(XPS)也被称作化学分析用电子能谱(ESCA)。该方法是在

用X射线能谱仪测定衬底材料上的薄膜厚度

本文利用薄膜对入射电子束流的衰减作用和薄膜对衬底的x射线的吸收,提出了一种直接利用衬底的x射线的强度比来测量薄膜厚度的方法。并在各种实验条件下,对Cu薄膜的厚度进行了测量,得到了较为满意的结果。 

X-射线能谱

X 射线能谱( Energy-dispersive X-ray spectroscopy, EDS)是微区成分分析最为常用的一种方法,其物理基础是基于样品的特征 X 射线。当样品原子内层电子被入射电子激发或电离时,会在内层电子处产生一个空缺,原子处于能量较高的激发状态,此时外层电子将向内层跃迁以填补

X射线能谱技术(XPS)在造纸工业中的应用

简单介绍了X射线能谱技术(XPS)的作用机理及其在纸张表面涂层结构、纤维素和木素含量、造纸助剂及纸病分析等方面的应用。 

Si(Li)X射线能谱仪

Si(Li)x射线能谱仪于一九六八午首次应川在电子探针,成为一种x射线微分析的工具。此后,在能量分辨率、计数率和数据分析等方面作了许多改进,目前已经成为电子探针和扫描电镜的一种受欢迎的附件,甚至在透射电子显微镜上也得到应用。

用X射线能谱同时测定薄膜成分及厚度

本文提出一个直接利用薄膜和衬底的X射线能谱来同时测定薄膜的成分和厚度的新方法,利用薄膜发出的各元素的标识X射线强度比确定其成分,利用NaCl衬底的Nak_α和Clk_α标识X射线的强度随膜厚增大而衰减的定量关系确定膜厚,本方法不需要纯元素的块状标样,对在NaCl衬底上沉积的Cu-Si合金薄膜的成分和

X射线能谱仪的原理介绍

   在许多材料的研究与应用中,需要用到一些特殊的仪器来对各种材料从成分和结构等方面进行分析研究。    其中,X射线能谱仪(XPS)就是常用仪器之一。下面详细介绍一下X射线能谱仪的基本原理、结构、优缺点及应用。    X射线光电子能谱(XPS)也被称作化学分析用电子能谱(ESCA)。该方法

扫描电子显微镜及X射线能谱仪在物证鉴定中的应用

在司法物证鉴定中对金属分离物的同一性认定或金属分离物成分特殊的 ,可用 X射线能谱仪快速判定 ;对金属分离物成分无特征的 ,可根据其金相组织来判定。 

x射线能谱仪定量分析硫在植物器官中的分布

 植物内某些器官中物质的含量能准确反映大气和土壤污染程度。本实验选用番石榴幼苗作为供试植物,按下表分组,进行人工污染,观察其抗S02污染性,并利用扫描电镜x射线能谱仪来分析植株各部份器官的含硫量以及其吸收SO2的机理,以便探索一个准确监测动植物体内部受污染程度的简易方法。 

热释光探测器在脉冲硬X射线能谱测量中的应用

介绍了TLD-3500热释光读出器和GR-100M型热释光剂量片构成的探测器在脉冲硬X射线辐射参数测量中的应用。详细论述了采用滤波荧光法与热释光探测器相结合测量10~100keV的硬X射线能谱的物理思想,在综合考虑了测量环境的具体情况下,设计研制了硬X射线测量系统,建立了热释光探测器对硬X射线绝对能

X射线能谱仪谱峰重叠问题的探讨

针对X射线能谱仪在对样品进行定性分析时经常出现的元素谱峰重叠问题,进行机理分析和归纳总结,提出在物证检验中如何避免谱峰重叠带来定性分析偏差的方法. 

应用扫描电镜和X射线能谱仪研究钛酸钡

该文使用发射扫描电子显微镜和X射线能谱仪对钛酸钡进行表征。针对钛酸钡的材料特性和工作目标,采用了多种测试工作条件,通过其结果对比,找到了对钛酸钡进行形貌观察的最佳条件,并分析了其成分。

X射线机重过滤X射线能谱的测量

本文报道了用 NaI(Tl)闪烁谱仪对国产 F34-Ⅰ型 X 射线机的重过滤 X 射线能谱的测量和解谱方法,给出一组测量结果,并对测量结果进行了比较和讨论。

利用X射线能谱仪测量大蟾蜍组织中的元素

蟾蜍在农业.医用,科研及教学上具有多方面的用途.本文用 X 射线能谱仪对大蟾蜍(Bufo bufo)的肾、肝、胃、气管等组织中所含的元素作了初步分析.其结果是:这些组织中都含有 Al、Fe、Si,除肝不含 Nb、Tb、Ta 外,其它组织都含这些元素,同时肝、肾、胃中还含有元素 Y、Nb、Tb、Ta

软X射线源上X射线能谱与X射线能量的测量

本文介绍了国内首次利用针孔透射光栅谱仪对金属等离子体Z箍缩X射线源能谱的测量结果及数据处理方法。同时用量热计对该源的单脉冲X射线能量进行了测量并讨论了其结果。

软X射线能谱仪数据采集系统

在 线 存 储 软X射线能谱仪的结构框图见图1。不同能量的软X射线被Johann弯晶衍射分光,分光后的能量分布转化成在探测器上对应的位置分布。位置灵敏、时间分辨好的MWPC和MCP都可做为这种探测器。软X射线区适用的MWPC采用逐丝阳极读出法以允许高计数率,同时也是为了满足将可测能区延伸到更低能区时

X射线能谱分析中谱线重叠问题

扫描电子显微镜上配接Si(Li)探测器X射线能谱仪,进行地质样品分析时,由于它的峰,背比值较低和谱线分辨率不如X射线波谱仪,尽管探测效率很高,仍然存在谱线的干扰或重叠现象。谱线的干扰或重叠现象主要划分为三个类型:相邻或相近元素同一线系(K、L、M)的谱线之间重叠;原子序数较低的K线系谱线与原子序数较

扫描电子显微镜X射线能谱仪在司法鉴定中的应用研究

通过具体案例,开展了扫描电子显微镜(SEM)配合X-射线能量色散谱仪(EDS)在司法案件物证分析鉴定方面的应用研究,尤其是提出了当以纤维所含无机元素成分的定性、定量分析作为鉴定依据时所应注意的相关问题,为司法部门公正办案提供了必要的科学依据.