利用SEM-EDS研究了硅衬底上Au、Cu薄膜发射的不同线系特征X射线相对强度间比值随出射角的变化规律,探讨了影响其变化的原因。结果显示:随着出射角变大,同一元素不同线系X射线相对强度间比值具有一定变化规律。低能量谱线的强度相对高能量谱线逐渐变大,这种变化主要是受X射线被基体吸收效应的影响所致。在低角度下,特别是在特征X射线全反射临界角附近,实际测得的低能量特征谱线的相对强度比预期要小,这是因为这些低能量谱线的波长较长,相对于这些谱线的全反射临界角较大,由膜内产生的低能量谱线,探测器无法探测到而引起。此项研究为X射线薄膜微区分析的定量计算提供依据。
人类已经成功完成了十次月球采样。月球样品就像是历史书一样记录了关于月球及其空间环境的“故事”。但我们能在多大程度上读懂这些历史书，取决于我们掌握了多先进的微区分析技术。相比于天文观测和遥感探测，采样返......
拉曼微区探针（微区拉曼）是把显微镜和拉曼光谱联系起来，测得的拉曼光谱具有较高的精确性，可以用来进行表面光谱学研究，发现与组分化学性质有关的表面均一性。拉曼微区探针的概念最早是由TomasHirshfl......
1、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定；2、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析；3、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析，如：金属化膜表面镀层的检测；4、金银......
当X射线光子进入检测器后，在Si（Li）晶体内激发出一定数目的电子空穴对。产生一个空穴对的最低平均能量ε是一定的（在低温下平均为3.8ev），而由一个X射线光子造成的空穴对的数目为N=△E/ε，因此，......
微区分析也是俄歇电子能谱分析的一个重要功能，可以分为选点分析，线扫描分析和面扫描分析三个方面。这种功能是俄歇电子能谱在微电子器件研究中最常用的方法，也是纳米材料研究的主要手段。（1）选点分析俄歇电子能......
本文提出一个直接利用薄膜和衬底的X射线能谱来同时测定薄膜的成分和厚度的新方法,利用薄膜发出的各元素的标识X射线强度比确定其成分,利用NaCl衬底的Nak_α和Clk_α标识X射线的强度随膜厚增大而衰减......
本文通过在EM400T透射电镜上用一些标准成分的样品进行薄膜无标样成份分析实验,检验了EDAX9100能谱仪的分析准确度。在本试验所用的样品范围内,其准确度为:近邻元素同一X光线系分析相对误差为5～1......
本文利用薄膜对入射电子束流的衰减作用和薄膜对衬底的x射线的吸收,提出了一种直接利用衬底的x射线的强度比来测量薄膜厚度的方法。并在各种实验条件下,对Cu薄膜的厚度进行了测量,得到了较为满意的结果。&nb......
随着探头制造技术水平的提高、电子学技术的发展,以及对脉冲处理技术和重叠峰处理方法的改进,能谱定量分析的精度得到不断提高。目前,对原子序数在11～30之间的常用元素,其分析精度大体上可以达到波长谱仪的水......
本文利用EM400T透射电子显微镜和EDAX9100能谱仪研究微量元素在晶界的偏聚。通过本文采用的电子束直径小到40A的微探针,低背底样品台,沿晶界拉长束斑,分段积分等措施,明显地提高了分析灵敏度。用......