随着仪器技术和理论方法的发展，X射线荧光分析法的应用范同越来越广。在物质的成分分析上，在冶金、地质、化工、机械、石油、建筑材料等工业部门，农业和医药卫生，以及物理、化学、生物、地学、环境、天文及考古等研究部门都得到了广泛的应用：有效地用于测定薄膜的厚度和组成．如冶金镀层或金属薄片的厚度，金属腐蚀、感光材料、磁性录音带薄膜厚度和组成：可用于动态分析上，测定某一体系在物理化学作用过程中组成的变化情况．如相变产生的金属问的扩散，固体从溶液中沉淀的速度，固体在同体中的扩散和同体在溶液中溶解的速度等。
