微纳器件与系统研究室

         微纳器件与系统研究室主要从事新型微纳电子器件及其系统的研究，主要研究范围包括：微纳新器件材料及结构、微纳制造工艺技术、电路与系统，以及相关新概念与新原理等。目前的主要研究方向包括：

4.新型不挥发存储器

 

5.系统封装与集成技术

 

         研究室是我校微米/纳米技术研究中心主要组成单位之一，拥有超净实验室和系列微纳器件与材料制造设备，包括常规CMOS设备、双面光刻机、感应耦合等离子刻蚀机(ICP)、真空键合机、电镀与腐蚀设备、MOCVD、六靶超高真空溅射系统、离子束刻蚀机，以及包括扫描电镜、扫描探针显微镜（SPM）等在内的多种表面形貌表征、材料和电子性能测试的仪器和设备，可进行多种微纳电子器件的材料、结构和电路的研究。

研究室承担过“七五”至“十一五”国家重点科技攻关项目、“攀登计划”项目、国家自然科学基金项目、“863计划”项目，以及“973计划”项目和国防科技项目等重大和重点项目100多项。目前研究室承担的国家科技部973项目课题4项、863项目4项、国家自然科学基金重点项目3项，面上项目8项，以及国家科技重大专项课题与子课题4项。

        近年来，研究室在硅微麦克风、GMR磁传感器、汽车胎压监控传感器、硅微针阵列及透皮给药器件、室温红外传感器、微型能源系统、新型存储器材料与器件、超导量子器件、系统级封装及三维集成、RF MEMS和Bio MEMS等方向取得了显著的成果。

         研究室有教师14人，其中教授7人、副教授7人、讲师1人，包括长江学者2人、国家杰出青年科学基金获得者2人。近十年来培养了硕士研究生和博士研究生130人，发表国内外学术期刊和会议论文400篇。

          目前在读研究生53人，其中博士研究生31人，硕士研究生22人。近十年培养硕士研究生和博士研究生130人，发表国内外学术期刊和会议论文400篇。

陈炜教授：Tel：62789151-311, Fax: 62772608, Email: weichen@ tsinghua.edu.cn

副主任：

王喆垚教授：Tel：62789151-322, Fax: 62771130, Email: z.wang @ tsinghua.edu.cn