扫描电子显微镜用途

最基本的功能是对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察。大景深图像是扫描电子显微镜观察的特色,例如:生物学,植物学,地质学,冶金学等等。观察可以是一个样品的表面,也可以是一个切开的面,或是一个断面。冶金学家已兴奋地直接看到原始的或磨损的表面。可以很方便地研究氧化物表面,晶体的生长或腐蚀的缺陷。它一方面可更直接地检查纸,纺织品,自然的或制备过的木头的细微结构,生物学家可用它研究小的易碎样品的结构。例如:花粉颗粒,硅藻和昆虫。另一方面,它可以拍出与样品表面相应的立体感强的照片。 在扫描电子显微镜应用中,很多集中在半导体器件和集成电路方面,它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况,这是因为这种变化会带来象的反差的变化。焊接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。利用束感生电流,可以观测半导体P—N结内部缺陷。 电子束与样品作用区内,还发射与样品物质其他性质有关信号。例如:与样品化学成分分布相关的,背散射电子,特......阅读全文

什么是扫描电子显微镜

【扫描电子显微镜】简称“`SEM`”。一种超高分辨的具表面测试技术的分析仪器。可用于微粒、金属薄片等表面性质的研究。主要是利用电子束在样品表面上逐点扫描,通过电子束与样品相互作用,从样品上激发出与样品性质有关的各种信息(如二次电子、背射电子、`X`射线等),通过分别收集这些从样品上激发出的信息,经

什么是扫描电子显微镜

【扫描电子显微镜】简称“`SEM`”。一种超高分辨的具表面测试技术的分析仪器。可用于微粒、金属薄片等表面性质的研究。主要是利用电子束在样品表面上逐点扫描,通过电子束与样品相互作用,从样品上激发出与样品性质有关的各种信息(如二次电子、背射电子、`X`射线等),通过分别收集这些从样品上激发出的信息,经电

什么是扫描电子显微镜

【扫描电子显微镜】简称“`SEM`”。一种超高分辨的具表面测试技术的分析仪器。可用于微粒、金属薄片等表面性质的研究。主要是利用电子束在样品表面上逐点扫描,通过电子束与样品相互作用,从样品上激发出与样品性质有关的各种信息(如二次电子、背射电子、`X`射线等),通过分别收集这些从样品上激发出的信息,经电

扫描电子显微镜的简介

  扫描电子显微镜 (scanning electron microscope, SEM) 是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器 [3] 。具有景深大、分辨率高, 成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。另外具有可测样品种类丰富, 几乎不损伤和污染原

什么是扫描电子显微镜

【扫描电子显微镜】简称“`SEM`”。一种超高分辨的具表面测试技术的分析仪器。可用于微粒、金属薄片等表面性质的研究。主要是利用电子束在样品表面上逐点扫描,通过电子束与样品相互作用,从样品上激发出与样品性质有关的各种信息(如二次电子、背射电子、`X`射线等),通过分别收集这些从样品上激发出的信息,经电

场发射扫描电子显微镜

  场发射扫描电子显微镜(FESEM)是电子显微镜的一种。  该仪器具有超高分辨率,能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子象观察及图像处理。该仪器利用二次电子成像原理,在镀膜或不镀膜的基础上,低电压下通过在纳米尺度上观察生物样品如组织、细胞、微生物以及生物大分子等,获得忠实原貌的立体感极强的

什么是扫描电子显微镜?

  扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到

台式扫描电子显微镜概述

  台式扫描电子显微镜(Desktop Scanning Electron Microscope, Desktop SEM)的概念是由美国FEI公司(1997年原FEI和飞利浦电子光学合并而成)提出的,并于2006年正式发布了旗下的Phenom飞纳台式扫描电镜,而后于2009年成立Phenom-Wo

扫描电子显微镜工作原理

扫描电子显微镜透射电镜原理  目前,主流的透射电镜镜筒是电子枪室和由6~8 级成像透镜以及观察室等组成。阴极灯丝在灯丝加热电流作用下发射电子束,该电子束在阳极加速高压的加速下向下高速运动,经过*聚光镜和第二聚光镜的会聚作用使电子束聚焦在样品上,透过样品的电子束再经过物镜、*中间镜、第二中间镜和投影镜

扫描电子显微镜的类型

  扫描电子显微镜类型多样, 不同类型的扫描电子显微镜存在性能上的差异。根据电子枪种类可分为三种:场发射电子枪、钨丝枪和六硼化镧 [5] 。其中, 场发射扫描电子显微镜根据光源性能可分为冷场发射扫描电子显微镜和热场发射扫描电子显微镜。冷场发射扫描电子显微镜对真空条件要求高, 束流不稳定, 发射体使用

扫描电子显微镜工作原理

扫描电子显微镜透射电镜原理  目前,主流的透射电镜镜筒是电子枪室和由6~8 级成像透镜以及观察室等组成。阴极灯丝在灯丝加热电流作用下发射电子束,该电子束在阳极加速高压的加速下向下高速运动,经过*聚光镜和第二聚光镜的会聚作用使电子束聚焦在样品上,透过样品的电子束再经过物镜、*中间镜、第二中间镜和投影镜

扫描电子显微镜的特点

  扫描电镜虽然是显微镜家族中的后起之秀, 但由于其本身具有许多独特的优点, 发展速度是很快的。 [7]  1 仪器分辨率较高, 通过二次电子像能够观察试样表面6nm左右的细节, 采用LaB6电子枪, 可以进一步提高到3nm。 [7]  2 仪器放大倍数变化范围大, 且能连续可调。因此可以根据需要选

扫描电子显微镜的优点

和光学显微镜及透射电镜相比,扫描电镜具有以下特点:(一) 能够直接观察样品表面的结构,样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。(二) 样品制备过程简单,不用切成薄片。(三) 样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转,因此,可以从各种角度对样品进行观察。(四) 景深大,图象富有立体感。扫描电镜

扫描电子显微镜的介绍

扫描电子显微镜(SEM)是1965年发明的较现代的细胞生物学研究工具,主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态,即用极狭窄的电子束去扫描样品,通过电子束与样品的相互作用产生各种效应,其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像,这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的,即使

扫描电子显微镜概览(二)

电子束系统电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。电子枪 电子枪用于产生电子,主要有两大类,共三种。一类是利用场致发射效应产生电子,称为场致发射电子枪。这种电子枪极其昂贵,在十万美元以上,且需要小于10-10torr的极高真空。但它具

扫描电子显微镜基本结构

1-镜筒;2-样品室;3-EDS探测器;4-监控器;5-EBSD探测器;6-计算机主机;7-开机/待机/关机按钮;8-底座;9-WDS探测器。

扫描电子显微镜机构组成

扫描电子显微镜机构组成  扫描电子显微镜由三大部分组成:真空系统,电子束系统以及成像系统。  以下提到扫描电子显微镜之处,均用SEM代替  真空系统  真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。  真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加

全面认识扫描电子显微镜

  扫描电子显微镜,是自上世纪60年代作为商用电镜面世以来迅速发展起来的一种新型的电子光学仪器,被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。如图1所示,是扫描电子显微镜的外观图。 特点 制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有

环境扫描电子显微镜简介

  环境扫描电子显微镜,是指扫描电子显微镜的一个重要分支,环境扫描电子显微镜除了像普通扫描电镜的样品室和镜筒内设为高真空,检验导电导热或经导电处理的干燥固体样品以外,还可以作为低真空扫描电镜直接检测非导电导热样品,无需进行处理,但是低真空状态下只能获得背散射电子像。环境扫描电镜样品室内的气压可大于水

什么是扫描电子显微镜

  扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到

扫描电子显微镜成象特点

  扫描电镜虽然是显微镜家族中的后起之秀,但由于其本身具有许多独特的优点,发展速度是很快的。  仪器分辨率较高,通过二次电子象能够观察试样表面6nm左右的细节,采用LaB6电子枪,可以进一步提高到3nm。  仪器放大倍数变化范围大,且能连续可调。因此可以根据需要选择大小不同的视场进行观察,同时在高放

扫描电子显微镜发展简史

1932年,Knoll 提出了SEM可成像放大的概念,并在1935年制成了极其原始的模型。1938年,德国的阿登纳制成了第一台采用缩小透镜用于透射样品的SEM。由于不能获得高分辨率的样品表面电子像,SEM一直得不到发展,只能在电子探针X射线微分析仪中作为一种辅助的成像装置。此后,在许多科学家的努力下

冷场发射扫描电子显微镜

  冷场发射扫描电子显微镜是一种用于材料科学领域的分析仪器,于2011年5月1日启用。  技术指标  分辨率:1.0nm (15KV), 1.4 nm (1KV) 放大倍数:25-100万倍加速电压:0.1KV-30KV 束流强度:10-13-2x10-9。主要附件:牛津仪器INCA 能谱仪。  主

扫描电子显微镜入门知识

 1. 光学显微镜以可见光为介质,电子显微镜以电子束为介质,由于电子束波长远较可见光小,故电子显微镜分辨率远比光学显微镜高。光学显微镜放大倍率zui高只有约 1500倍,扫描式显微镜可放大到10000倍以上。  2. 根据de Broglie波动理论,电子的波长仅与加速电压有关:  λe=h / m

扫描电子显微镜的特点

 扫描电子显微镜的设计思想和工作原理,早在1935年便已被提出来了。1942年,英国首先制成一台实验室用的扫描电子显微镜,但由于成像的分辨率很差,照相时间太长,所以实用价值不大。经过各国科学工作者的努力,尤其是随着电子工业技术水平的不断发展,到1956年开始生产商品扫描电子显微镜。近数十年来,扫描电

扫描电子显微镜应用范围

扫描电子显微镜是一种多功能的仪器,具有很多优越的性能,是用途最为广泛的一种仪器,它可以进行如下基本分析:(1)三维形貌的观察和分析;(2)在观察形貌的同时,进行微区的成分分析。①观察纳米材料。所谓纳米材料就是指组成材料的颗粒或微晶尺寸在0. 1~100 nm范围内,在保持表面洁净的条件下加压成型而得

扫描电子显微镜概览(一)

扫描式电子显微镜的电子束不穿过样品,仅在样品表面扫描激发出次级电子。放在样品旁的闪烁晶体接收这些次级电子,通过放大后调制显像管的电子束强度,从而改变显像管荧光屏上的亮度。显像管的偏转线圈与样品表面上的电子束保持同步扫描,这样显像管的荧光屏就显示出样品表面的形貌图像,这与工业电视机的工作原 理相类

扫描电子显微镜的优点

和光学显微镜及透射电镜相比,扫描电镜具有以下特点:(一) 能够直接观察样品表面的结构,样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。(二) 样品制备过程简单,不用切成薄片。(三) 样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转,因此,可以从各种角度对样品进行观察。(四) 景深大,图象富有立体感。扫描电镜

扫描电镜SEM扫描电子显微镜JSMit100(A)

标准配置EDS分析功能的JSM-IT100A,不仅能获取高分辨率的图像,还采用了无需液氮制冷的EDS检测器 (DRY SD),能够进行定性分析、定量分析、元素面分布。此外,搭载的大型全对中形样品台可以对应各种样品。 电子光学系统                                    

扫描电镜SEM扫描电子显微镜JSMit100(A)

扫描电子显微镜JSM-it100(A)主要特长标准配置EDS分析功能的分析型扫描电镜                                          标准配置EDS分析功能的JSM-IT100A,不仅能获取高分辨率的图像,还采用了无需液氮制冷的zui新EDS检测器 (DRY SD)