深度揭秘氦质谱检漏技术——发展历史及原理
一、氦质谱检漏技术的发展历史第二次世界大战中期，美国为了制造原子弹，在田纳西州的橡树岭（Oak Ridge）建立的大规模分离铀-235的工厂。为了探测电磁分离器真空系统中的漏孔，1943年由明尼苏达州大学的A.O.C.Nier设计了世界上第一台具有简易气体分析器的玻璃外壳的质谱检测仪。它使用一个热灯丝阴极，并且以氦气做示踪气体，1944年由美国通用电气公司投入生产。后来Dr.Jacobs制成了全金属的质谱管和真空系统。1945年韦斯门毫斯公司与真空电子工程公司开始生产氦质谱检测仪，它对氦的灵敏度只有10-7Pa·m3/s。1945年以后，氦质谱检漏仪经过不断改进与发展，在提高仪器灵敏度、稳定性、可靠性、操作自动化、便于维修、缩小体积、减轻重量和降低成本等方面都有了较大进步。1950年其灵敏度达到10-10Pa·m3/s，1959年，T.L.Perers首先提出了用二级磁场分析器和电子倍增器的方法，灵敏度达到10-14Pa·m3/......阅读全文
氦质谱正压检漏法
兰州物理研究所 作者：曹慎诚 常用氦质谱检漏仪检漏分真空检漏、正压检漏和压力- 真空检漏3 种情况。由于运载火箭从填装燃料到完成飞行任务,绝大部分时间是在大气环境中处于待发状态,飞行时间很短,
介绍氦质谱检漏仪的原理
氦质谱检漏仪原理: 氦质谱检漏仪是基于质谱法原理，以氦气作为检漏仪器。质谱仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。质谱法室中灯丝发射的电子在室内来回振荡，与室内气体碰撞，氦气泄漏进入室内，电离成正离子，正离子在加速电场的作用下进入人体磁场，当洛伦兹力效应偏转时，电弧
氦质谱检漏仪的工作原理
1、为什么要检漏 很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力作用下，流进或流出这个空间，如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液
氦质谱检漏仪的工作原理
1、为什么要检漏 很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力作用下，流进或流出这个空间，如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容
氦质谱检漏仪的工作原理
检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。在这个密封腔体内充满氦气，用质谱检漏仪在不腔体外，不同部位检测，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。质谱检漏仪是一种简易的质谱仪，对分辨率和检测的质量范围要求很低，但对灵敏度要求较高。楼上的回答则是质谱仪中的一种磁质谱仪
氦质谱检漏仪的工作原理
检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。在这个密封腔体内充满氦气，用质谱检漏仪在不腔体外，不同部位检测，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。质谱检漏仪是一种简易的质谱仪，对分辨率和检测的质量范围要求很低，但对灵敏度要求较高。楼上的回答则是质谱仪中的一种磁质谱仪
氦质谱检漏仪的工作原理
检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。在这个密封腔体内充满氦气，用质谱检漏仪在不腔体外，不同部位检测，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。质谱检漏仪是一种简易的质谱仪，对分辨率和检测的质量范围要求很低，但对灵敏度要求较高。楼上的回答则是质谱仪中的一种磁质谱仪
真空氦质谱检漏原理与方法综述
第二炮兵工程学院 作者：孙开磊 介绍了真空氦质谱检漏技术的工作原理,综述了检漏技术的新方法,分别列举了测定漏点型和测定漏率型两种类型的真空检漏方法和实际应用,较全面地总结了真空氦质谱检漏技术的原
氦质谱检漏仪的发展史
经过近半个世纪的努力，今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。 集中体现在如下几个方面： （1）便携式：最近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。 （2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益
氦质谱检漏仪的发展及其应用
在科学技术的不断发展的时代，氦质谱及其应用技术也在不断的发展与完善。这主要由两方面的因素所决定：一方面，检漏应用技术不断的对检漏仪提出新的要求，迫使仪器自身的更新；另一方面，检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足，因此二者的关系是相互补充、相互促进的。1、氦质谱检漏仪的进展经过
氦质谱检漏仪的发展及其应用
氦质谱检漏仪的发展及其应用目前氦质谱检漏仪的发展及其应用在科学技术的不断发展的时代，氦质谱及其应用技术也在不断的发展与完善。这主要由两方面的因素所决定：一方面，检漏应用技术不断的对检漏仪提出新的要求，迫使仪器自身的更新；另一方面，检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足，因此二者
氦质谱检漏仪发展历程及其应用
氦质谱检漏仪的发展史必须追溯到上个世纪初。早在1918年，一次世界大战期间，欧洲国家因战争和军工的需要就开始接触检漏，并开始对检漏手段的提升做了大量的基础研究工作，直到1941年，当时正处于第二次世界大战期中。当时，科学家获知德国正在研制一种新型炸弹。这种炸弹的原理就是基于刚刚发现的铀的同位素的
氦质谱检漏仪常用检漏方法及标准
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的
低充氦浓度氦质谱检漏技术应用研究
西北核技术研究所 作者：胡茂中 为解决不允许抽真空和充压的密封装置的密封性能检测问题, 开展了较低充氦浓度的氦质谱检漏模拟实验。实验采用通道型标准漏孔和模拟密封容器, 在容器内的氦气浓度为千分之0.
低充氦浓度氦质谱检漏技术应用研究
为解决不允许抽真空和充压的密封装置的密封性能检测问题, 开展了较低充氦浓度的氦质谱检漏模拟实验。实验采用通道型标准漏孔和模拟密封容器, 在容器内的氦气浓度为千分之0.5 , 千分之1 , 千分之3 , 千分之5 时分别实测了混合气体中氦气通过漏孔的漏率, 基于混合气体以同种比分通过分子流漏孔的假设,
低充氦浓度氦质谱检漏技术应用研究
为解决不允许抽真空和充压的密封装置的密封性能检测问题, 开展了较低充氦浓度的氦质谱检漏模拟实验。实验采用通道型标准漏孔和模拟密封容器, 在容器内的氦气浓度为千分之0.5 , 千分之1 , 千分之3 , 千分之5 时分别实测了混合气体中氦气通过漏孔的漏率, 基于混合气体以同种比分通过分子流漏孔
氦质谱检漏仪压氦法检漏法介绍
压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中，然后连至检漏仪将其抽空，示踪气体通过漏孔泄漏出来，经检漏仪检测总泄漏量。 一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。首先将仪器调整好，再将器件放入加压罐内压入氦气，氦气进入有漏孔的器件内部，无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。器件加压压力和时间根
氦质谱检漏仪的技术参数及特点
主要技术参数 最小可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s 漏率显示范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s 启动时间： ≤5min 响应时间：
氦质谱检漏仪电厂检漏应用
应用一、氦质谱检漏仪用于电厂检漏 —冷凝罐及汽轮机管路检漏应用 电厂使用氦质谱检漏仪主要是对汽轮机内部真空系统的检漏，还有冷凝罐的检漏，由于每一个环节如果有泄漏的话都会增加生产成本，所以电厂检漏在实际生产中是非常重要的。 电厂检漏使用氦质谱检漏仪Sniffer 模式，检测方法为将吸枪放在真
氦质谱检漏仪基本检漏方法
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器．其质谱原理如图所示。 氦质谱检漏仪的质谱学原理 灯丝发射出来的电子在电离室内来回的振荡，与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道
关于氦质谱检漏仪的发展相关介绍
1.智能化：以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助，而现在的触屏式，自动检测。 2.便捷化：这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。 3.自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次
氦质谱检漏仪工作原理与结构
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。 ①单级磁偏转型氦质谱检漏仪 现以HZJ—l型仪器为例．介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪。 在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器；由
氦质谱检漏仪简介
氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。 氦质谱检漏仪方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用，这种方法的优点是: 检漏灵敏度高，可以检漏到10-11Pam3/s 数量级，仪器响应快，氦分子在仪器
氦质谱检漏仪简介
氦气检漏仪是氦质谱检漏仪((Helium Mass Spectrometer Leak Detector)的俗称，运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。质谱仪通过其核心部件质谱室，使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后，不同质荷比的离子在场中彼此分开，而相同质荷比的离子在场中汇聚在一
氦质谱检漏仪单位
氦质谱检漏仪单位是kg。氦质谱检漏仪、为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。
氦质谱检漏仪简介
氦质谱检漏仪（ Helium Mass Spectrometer Leak Detector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将
氦质谱检漏仪的技术参数
最小可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s 漏率显示范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s 启动时间： ≤5min 响应时间：
氦质谱检漏仪的技术参数
最小可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s 漏率显示范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s 启动时间： ≤5min 响应时间：
氦质谱检漏仪的技术参数
1. 最小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s 2.漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s 3. 启动时间：≤5min 4. 响应时间：≤1s 5. 检漏口的最高压力：1500Pa 6. 电源要求：220v，50Hz，单相，10A 7. 工作环境：5-35℃ 8
氦质谱检漏仪的技术指标
1. 最小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s 2.漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s 3. 启动时间：≤5min 4. 响应时间：≤1s 5. 检漏口的最高压力：1500Pa 6. 电源要求：220v，50Hz，单相，10A 7. 工作环境：5-35℃ 8