深度揭秘氦质谱检漏技术——实际漏孔漏率确定、吸枪与氦气
一、实际漏孔的确定如果在被检容器上接一只渗氦型标准漏孔，它对氦气的漏率为Q0，如图25所示。利用标准漏孔比较法可以确定所检出的实际漏孔的漏率值。其方法如下。 图25 实际漏孔漏率测试系统 将检漏仪及检漏系统调速在检漏状态并保持不变。打开标漏阀，待输出指示稳定后读出标漏阀打开前、后检漏仪稳定的输出指示的变化值，设为ΔI0。关闭标漏阀，对实际漏孔进气端施以压力为p的氦压，读出施氦前、后检漏仪的输出指示的变化值，设为ΔI。那么，实际漏孔在压力p下对氦气漏率Q可由式（38）得出 （38）值得注意的是，这种比较是标准漏孔的漏率与实际漏孔的漏率的比较。因此，比较时除了标准漏孔的位置要与实际漏孔的位置相当外，标准漏孔的工作条件应该与给出其漏率的工作条件一致，也就是与校准标准漏孔时的条件（压力、温度、气体）一致，而不是与实际漏孔所......阅读全文
氦质谱检漏仪入口压力与显示值的关系研究
北京卫星环境工程研究所 作者：王勇 文中首先从理论上推导出检漏仪的入口压力与显示值的数学关系表达式, 其次通过试验验证了该表达式的正确性。与此同时, 提出了一种测试检漏仪线性性能的新方法。研究结果表明: 检漏仪的
博为氦质谱检漏仪在电子半导体密封性检测中的检漏应用
一、前言 半导体电子产品由于密封不良，将会造成产品的漏气漏液，从而降低使用性能，有时还会造成本身及附近产品的腐蚀现象，甚至使产品破坏丧失全部功能，以致造成巨大的或不可挽回的损失。根据使用条件不同，应对产品提出不同的密封要求，国家则出具了统一的密封标准。 近年来由于电子行业的发展以及空
常用的几种氦质谱检漏方法
第二炮兵工程学院 作者：孙新利 氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵
氦质谱检漏仪的真空压力法检漏
检漏仪检漏的原理有两种方式可以检测出泄漏：1. 示踪气体 A 放在容器里面，处于正压，然后用仪器去检测，容器周边是否有气体 A，如果容器外有气体 A，则容器有漏。用这种方式能检测出漏点，并能大概判断泄漏的程度。这种检漏方式叫 Sniffer 检漏或正压检漏。2. 示踪气体 A 喷在容器外面，用仪器去
深度揭秘氦质谱检漏技术－——发展历史及原理
一、氦质谱检漏技术的发展历史第二次世界大战中期，美国为了制造原子弹，在田纳西州的橡树岭（Oak Ridge）建立的大规模分离铀-235的工厂。为了探测电磁分离器真空系统中的漏孔，1943年由明尼苏达州大学的A.O.C.Nier设计了世界上第一台具有简易气体分析器的玻璃外壳的质谱检测仪。它使用一个热灯
深度揭秘氦质谱检漏技术——选择及逆流检漏仪
一、氦质谈检漏技术的发展从20世纪60年代开始，氦质谱检漏技术被广泛应用于航天、电子、原子能、制冷、电力、化工、汽车及食品等各个行业。特别是原子能、航天技术的发展，使氦质谱检漏技术得到了飞速的发展。从早期的喷吹法开始，到如今已有了氦罩法、吸枪法、真空室法、检漏盒法、真空室累积法、吸枪累积法、背压法及
氦质谱检漏仪用于电厂检漏冷凝罐及汽轮机管路检漏应用
电厂使用氦质谱检漏仪主要是对汽轮机内部真空系统的检漏，还有冷凝罐的检漏，由于每一个环节如果有泄漏的话都会增加生产成本，所以电厂检漏在实际生产中是非常重要的。电厂检漏使用氦质谱检漏仪Sniffer 模式，检测方法为将吸枪放在真空泵排气管路上，用氦气喷在系统连接位置上，或者真空系统连接部位，喷一点后需要
贮箱漏率正压检测方法
作者：陈叔平 兰州理工大学石油化工学院 氦质谱检漏技术是目前国内外应用较多的一种先进的检漏技术。" 贮箱漏率正压检测方法" 是为适应航天贮箱结构复杂、漏率要求严格等特点而开发的一种
氦质谱检漏仪如何应用于压力容器
在压力容器中，使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种，即喷氦法（负压法），吸枪法（正压法），氦罩法。就几种方法的灵敏度比较而言，喷氦法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时，也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是高。 （一）喷氦法 喷氦法是最常用，最方便的检漏
氦质谱检漏仪在压力容器中的常用方法
在压力容器中，使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种，即喷氦法（负压法），吸枪法（正压法），氦罩法。就几种方法的灵敏度比较而言，喷氦法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时，也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是高。 （一）喷氦法 喷氦法是最常用，最方便的检漏
氦质谱检漏仪介绍及在压力容器检漏上的应用
当压力容器储存气体时，漏气对整个容器的气体储存来说是个很大的损失。为解决此问题对制造生产压力容器的厂家来说，历来是个既麻烦又要花费大量时间、人力、精力、财力的事情，但又不一定能够很好的解决泄漏这个关键性的问题。一般压力容器检漏先进行总漏率检测，当总漏率超出允许值后，再进行各个泄漏孔的检测，对
氦质谱检漏仪介绍及在压力容器检漏上的应用
当压力容器储存气体时，漏气对整个容器的气体储存来说是个很大的损失。为解决此问题对制造生产压力容器的厂家来说，历来是个既麻烦又要花费大量时间、人力、精力、财力的事情，但又不一定能够很好的解决泄漏这个关键性的问题。一般压力容器检漏先进行总漏率检测，当总漏率超出允许值后，再进行各个泄漏孔的检测，对超过
密封法兰氦质谱检漏技术
西北核技术研究所 作者：胡茂中 密封法兰是在特殊加工的一对法兰之间安放密封垫圈,通过压紧法兰将密封圈挤压变形,实现密封。如果法兰密封面或密封圈存在缺陷,或是压紧时未均匀加力,就会造成法兰密封性达不到要求,必
氦质谱检漏仪在压力容器中的常用方法
在压力容器中，使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种，即喷氦法（负压法），吸枪法（正压法），氦罩法。就几种方法的灵敏度比较而言，喷氦法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时，也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是高。 （一）喷氦法 喷氦法是最常用，最方便的检漏方法
氦质谱检漏仪检漏时的误差来源有哪些
氦质谱检漏是一种灵敏度很高且常用的检漏技术。螺杆真空泵厂家已经介绍过氦质谱检漏仪，这次我们来了解下氦质谱检漏时的误差来源有哪些，以便更好地降低或消除测量误差。氦质谱检漏时，产生测量误差的主要来源主要包括8个方面：第一，氦质谱检漏仪在校准灵敏度时，标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同，即，标准漏孔与
氦质谱检漏仪常见的三种检漏法
1、负压法检漏 负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口，用喷枪连续向可疑的漏孔喷射示踪气体，示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。 根据产品的不同，需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具。举个例子，比如管壳的检漏。检漏仪正常工作后
氦质谱检漏仪测定漏率型检测方法
测定漏率型主要是针对密封性要求严格的部件进行检测，如宇宙飞船、火箭液体燃料储料箱、卫星、电子元器件等。这种方法只能测试试件的漏率，无法确定漏孔的位置和漏孔的个数。 1、充氦法 充氦法也称负压法 ，一个密闭的气室连接真空泵和氦气罐，将被检零件装入一个气室，开始关闭氦气罐阀门，机械泵把气室先抽成
压力容器的氦质谱检漏方法
锦西化工机械（集团）有限责任公司 作者：安丰华 随着压力容器出口产品的增加及各制造企业对产品质量的重视，氦质谱检漏方法在我国的压力容器制造业中的应用也逐年递增。氦质谱检漏方法（以下简称氦检）以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级
泄漏检测技术不确定度评价方法浅探
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 作者：蒲洁 氦质谱检漏是目前比较广泛采用的一种泄漏检测方法,一般采用比对定量的方法给出检漏结果。本文分析了氦质谱检漏的影响因素,从建立数学模型角度分析漏率测量的不确定度,并给出采用氦罩法
氦质谱检漏仪测定漏率型简介
1、充氦法 充氦法也称负压法 ，一个密闭的气室连接真空泵和氦气罐，将被检零件装入一个气室，开始关闭氦气罐阀门，机械泵把气室先抽成真空，然后关闭真空泵阀门，打开氦气罐阀门给气室充氦，并静置一段时间。被氦气包围的小器件上如果有漏隙，氦气就慢慢充入小器件内部。然后将气室打开，取出被检器件，用压缩空气
喷吹法氦质谱真空检漏方法与灵敏度
深圳威士达真空系统工程有限公司 氦质谱真空检漏常用的基本方法是喷吹法和氦罩法, 如图1 和图2 所示。 喷吹法氦质谱真空检漏 一个以一定速度移动的喷枪通过喷咀将具有一定压力的氦气(或混合气)
低充氦浓度氦质谱检漏技术应用研究
为解决不允许抽真空和充压的密封装置的密封性能检测问题, 开展了较低充氦浓度的氦质谱检漏模拟实验。实验采用通道型标准漏孔和模拟密封容器, 在容器内的氦气浓度为千分之0.5 , 千分之1 , 千分之3 , 千分之5 时分别实测了混合气体中氦气通过漏孔的漏率, 基于混合气体以同种比分通过分子流漏孔的假设,
低充氦浓度氦质谱检漏技术应用研究
为解决不允许抽真空和充压的密封装置的密封性能检测问题, 开展了较低充氦浓度的氦质谱检漏模拟实验。实验采用通道型标准漏孔和模拟密封容器, 在容器内的氦气浓度为千分之0.5 , 千分之1 , 千分之3 , 千分之5 时分别实测了混合气体中氦气通过漏孔的漏率, 基于混合气体以同种比分通过分子流漏孔
深度揭秘氦质谱检漏技术——仪器的选择及逆流检漏仪
一、氦质谈检漏技术的发展从20世纪60年代开始，氦质谱检漏技术被广泛应用于航天、电子、原子能、制冷、电力、化工、汽车及食品等各个行业。特别是原子能、航天技术的发展，使氦质谱检漏技术得到了飞速的发展。从早期的喷吹法开始，到如今已有了氦罩法、吸枪法、真空室法、检漏盒法、真空室累积法、吸枪累积法、背压法及
一种氦质谱检漏用双流道喷枪的设计及实验
西北核技术研究所 作者：冯晓 为解决普通喷枪在检漏时对漏孔定位能力低的问题，设计了一种钟罩式双流道喷枪，并对其开展了测试实验。结果表明：喷氦法检漏时，利用钟罩式双流道喷枪可分辨出相距15mm 的相邻
低充氦浓度氦质谱检漏技术应用研究
西北核技术研究所 作者：胡茂中 为解决不允许抽真空和充压的密封装置的密封性能检测问题, 开展了较低充氦浓度的氦质谱检漏模拟实验。实验采用通道型标准漏孔和模拟密封容器, 在容器内的氦气浓度为千分之0.
比较法校准氦真空参考漏孔漏率及合成不确定度评定
北京卫星环境工程研究所 作者：闫荣鑫 直接比对
氦质谱检漏仪常用的测定漏点型检漏方法详解
测定漏点型 确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置，在大部件或大型部件中较为常见，如卫星、导弹弹体、弹头、输气管道、气罐、油罐、锅炉等。 1、喷氦法 这是最常用的一种方法，一般用于检测体积相对较小的部件，将被检器件和仪器连通，在抽好真空后，在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头
氦质谱检漏用氦气的选择
氦气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子质量为4.003，分子直径为2.18×10-10m，分子的质量为3.65×10-27kg，在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，临界温度为5.25K，临界压力为2.26×105Pa，1atm压力下的沸点为4.214K，熔点为0.9K，三相点温度为
氦质谱检漏用氦气的选择
氦气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子质量为4.003，分子直径为2.18×10-10m，分子的质量为3.65×10-27kg，在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，临界温度为5.25K，临界压力为2.26×105Pa，1atm压力下的沸点为4.214K，熔点为0.9K，三相点温度为