氦质谱检漏仪常用漏点型、漏率型两种类型检测
氦质谱检漏仪都知道仪器的灵敏度和精准度是非常高的，是通过采用氦气作为介质进行检测，当然这样氦气本身是无色无味无害的气体，但是人体吸入过多会是有害的，采用氦气检测需要对气体经过处理后方可排放，一般而言对要求特别高的产品会采用氦质谱检测仪进行检测。而目前氦质谱检漏方法可分类漏点型和漏率型两种类型，下面就针对氦质谱检漏仪常用漏点型、漏率型两种类型检测方法进行详细说明和讲解： 一、测定漏点型 确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫星、导弹弹体、弹头、输气管道、气罐、油罐、锅炉等。 1、喷氦法 这是最常用的一种方法,一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等) 用喷枪喷氦,如果被检器件某处有漏......阅读全文
选择氦质谱检漏仪的必要条件—了解漏孔
很多需要购买氦质谱检漏仪的客户咨询检漏仪的时候首先就问设备价格，可能我们马上给不了你答案。华尔升氦质谱检漏仪带你了解下不同工件存在不同漏孔的形式。 氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。对产品检漏前首先要对工件的结构和制造工业有所了解，了解有哪些漏源，才能快，准，狠
氦质谱检漏法常见四种检测原理、优缺点及应用
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的
氦质谱检漏法常见四种检测原理、优缺点及应用
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方
浅谈氦质谱检漏仪的检漏方法及其优缺点
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可
浅谈氦质谱检漏仪的检漏方法及其优缺点
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的
浅谈氦质谱检漏仪的检漏方法及其优缺点
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的
氦罩法和喷吹法的氦质谱检漏仪检漏常见方法
石家庄安瑞科气体机械有限公司 作者：苏桂玲 介绍两种生产上常用的氦质谱检漏仪检漏方法: 氦罩法和喷吹法。1、氦罩法 氦罩法是用一个检验罩把被检件包起来, 检漏时先排除罩内空气, 然后充入100kPa的氦气。当检漏仪输出指示
常规检漏和逆扩散检漏原理图
氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强
低充氦浓度氦质谱检漏技术应用研究
为解决不允许抽真空和充压的密封装置的密封性能检测问题, 开展了较低充氦浓度的氦质谱检漏模拟实验。实验采用通道型标准漏孔和模拟密封容器, 在容器内的氦气浓度为千分之0.5 , 千分之1 , 千分之3 , 千分之5 时分别实测了混合气体中氦气通过漏孔的漏率, 基于混合气体以同种比分通过分子流漏孔的假设,
低充氦浓度氦质谱检漏技术应用研究
为解决不允许抽真空和充压的密封装置的密封性能检测问题, 开展了较低充氦浓度的氦质谱检漏模拟实验。实验采用通道型标准漏孔和模拟密封容器, 在容器内的氦气浓度为千分之0.5 , 千分之1 , 千分之3 , 千分之5 时分别实测了混合气体中氦气通过漏孔的漏率, 基于混合气体以同种比分通过分子流漏孔
贮箱漏率正压检测方法
作者：陈叔平 兰州理工大学石油化工学院 氦质谱检漏技术是目前国内外应用较多的一种先进的检漏技术。" 贮箱漏率正压检测方法" 是为适应航天贮箱结构复杂、漏率要求严格等特点而开发的一种
比较法校准氦真空参考漏孔漏率及合成不确定度评定
北京卫星环境工程研究所 作者：闫荣鑫 直接比对
氦质谱检漏仪在压力容器中的常用方法
在压力容器中，使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种，即喷氦法（负压法），吸枪法（正压法），氦罩法。就几种方法的灵敏度比较而言，喷氦法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时，也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是高。 （一）喷氦法 喷氦法是最常用，最方便的检漏方法
HLT－560－氦质谱检漏仪用于电磁阀阀芯检漏
Pfeiffer HLT 560 氦质谱检漏仪用于电磁阀阀芯检漏应用案例—深圳某事业有限公司一、 电磁阀阀芯检漏原因:该客户是为日本某半导体设备厂生产精密零件激光焊接（电磁阀阀芯）,一共有5个型号,月产量2000-3000个阀. 精密零件激光焊接（电磁阀阀芯）： 由于半导体工业上用的气体如硅烷( S
氦质谱检漏仪在火电厂的运用
氦质谱检漏仪在火电厂的运用应用一、电厂检漏 — 冷凝罐及汽轮机管路检漏应用（广西北海某电厂）电厂使用检漏仪主要是对汽轮机内部真空系统的检漏，还有冷凝罐的检漏，由于每一个环节如果有泄漏的话都会增加生产成本，所以电厂检漏在实际生产中是非常重要的。电厂检漏使用检漏仪 Sniffer 模式，检测方法为将
常见的四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测标准
真空法氦质谱检漏采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩
莱宝L200+型氦质谱检漏仪常见故障的分析与处理
西北核技术研究所 作者：白国云 针对L200+ 型氦质谱检漏仪在使用过程中出现的内部密封结构泄漏、检测信号不准确、质谱室故障、分子泵不工作、前级机械泵不工作等故障和现象进行了分析，并提出
氦质谱检漏仪的工作原理
1、为什么要检漏 很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力作用下，流进或流出这个空间，如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容
氦质谱检漏仪的工作原理
1、为什么要检漏 很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力作用下，流进或流出这个空间，如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液
氦质谱检漏仪－一般操作步骤
1,将真空泵,Pfeiffer氦质谱检漏仪,要检测的对象,用波纹管和卡箍连接完毕.2,Pfeiffer检漏仪上的阀门处于导通的状态.3, Pfeiffer质谱检漏仪通电,3分钟后完成自检,进入”READY TO START”4,先启动真空泵,再按氦质谱检漏仪上的”START/STOP”按钮,启动Pf
低充氦浓度氦质谱检漏技术应用研究
西北核技术研究所 作者：胡茂中 为解决不允许抽真空和充压的密封装置的密封性能检测问题, 开展了较低充氦浓度的氦质谱检漏模拟实验。实验采用通道型标准漏孔和模拟密封容器, 在容器内的氦气浓度为千分之0.
便携式气体微流量计的设计
兰州物理研究所 作者：李得天 为了实现在工作现场对氦质谱检漏仪进行全量程漏率示值的校准，设计了一套便携式气体微流量计。该流量计由供气与抽气系统、定容室与压力测量系统、流量测量系统和烘烤系统等四部分组成
氦质谱检漏仪性能试验方法
氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。 氦质谱检漏仪方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在
常用的标准漏孔的两种校准方法
标准漏孔的常用校准方法有定容升压法和氦质谱检漏仪比较法。 （1）定容升压法 定容升压法校准系统示意图如图12所示。 图12：定容升压法校准标准漏孔系统示意图 经预抽并烘烤容积V后，标准漏孔进气端压力p1＜1.33×103Pa，而V达到极限真空。当压力为1.01×105Pa的校
氦质谱检漏仪试验方法研究
在生产生活中，我们往往通过密封元器件的方式，来避免事先充入的保护气体外漏，同时防止外部的有害气体漏入。但是，想要无限期的防止外界有害气体漏入是难以实现的，因为平常我们所使用的气密封装材料包括玻璃、陶瓷或者金属，只能通过冲入氮气的方式来避免出现污染现象。由此可见，密封对电子元器件的重要性不言而喻，
深度揭秘氦质谱检漏技术——氦质谱检漏仪的结构
氦质谱检漏仪的型号较多，但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。一、质谱室不同类型的氦质谱检漏仪的质谱室结构大同小异，都是由离子源、分析器和收集器三部分组成，它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中，如图2所示。 图2 质谱室1、离子源离子源的作用是使气体分子电离，形成一束具有一定能
应用研究：氦质谱检漏仪用于在直喷发动机生产
氦气检测作为一项新的测漏工艺，可有效提高发动机的出厂质量，降低泄露隐患，相对于传统气密性检测而言，氦检有着无可比拟的优势，克服了燃油检测受安全性、设备构成及节拍长等问题。 燃油直喷技术引入汽油发动机后，其发动机核心部分的高压油轨系统装配质量直接影响整车性能和用户体验。直喷发动机高压油轨系统装配
氦质谱检漏技术与仪器的相关技术指标
中国电子科技集团公司第四十研究所 作者：赵锐敏氦质谱检漏仪的工作原理 氦质谱检漏仪是一种用来检漏的对比仪器。它是一种质谱分析仪,检漏时以氦气作为示踪介质,当氦气与其它气体一同进入仪器内部时即被电离,并在质谱室的电磁场中作圆周运动;由于各种
氦质谱检漏在铝制板翅式换热器生产中的应用
作者：刘刚强 浙江银轮机械股份有限公司 在板翅式换热器的生产中，随着用户对换热器泄漏情况的要求愈来愈严格，氦质谱检漏的使用愈来愈频繁，本文介绍了在板翅式换热器进行氦质谱检漏常用的方法及抽真空需要控制的
氦质谱检漏仪工作原理
由于氦气分子颗粒小,渗透性好,而且氦质谱检漏仪对氦气敏感,所以微漏也能检出来