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经常听说，高端光刻机不仅昂贵而且还都是国外的，那么什么是光刻机呢？上篇我们聊了从原材料到抛光晶片的制成过程，今天我们就来聊聊什么是光刻～第一步骤的晶体生长机晶片的制造，我们上篇已经聊过了。今天我们要聊的是光刻，我们先简单聊一聊硅的氧化（热氧化），刻蚀的话我们后面再讲。硅的氧化其中包含了在分立器件和集成电路制造过程中遇到的四类薄膜：热氧化膜、电介质膜、多晶硅膜及金属膜。图中，栅氧化层和场氧化层都是采用热氧化的方法生成，因为只有热氧化法能够提供最低界面陷阱密度的高质量氧化层。热氧化半导体的氧化有很多方法，比如热氧化法、电化学阳极氧化法和等离子化学汽相淀积法。当中，热氧化法是硅基器件制造中最常见也是最重要的方法和关键工艺。组成包括：一个电阻加热氧化炉，一个圆筒型熔融石英管。开槽的石英舟放在石英管中，石英槽用来垂直摆放硅片，一个注入口用来注入高纯度干燥氧气或者高纯水蒸气（即干氧氧化法和湿氧氧化：两者反应方程式不一样，干氧氧化生成的氧化层......阅读全文
微流控芯片：又被称作芯片实验室，是将传统的化学技术和生物技术结合，并将所有基本操作单元微缩集成在一块芯片上以自动完成全过程的一项新技术，它在生物、化学、医学等领域都有巨大潜力，目前广泛运用于各行各业。输卵管：女性生殖系统的重要组成部分，体内受精及早期胚胎培养的场所，胚胎在输卵管壶腹部和峡部交界处完成
日前，由中国科学院大连化学物理研究所和上海应用物理研究所联合研制的极紫外自由电子激光装置——“大连光源”，发出了世界上最强的极紫外自由电子激光脉冲，单个皮秒（1皮秒等于一万亿分之一秒）激光脉冲产生140万亿个光子，这套总长100米的装置成为世界上最亮且波长完全可调的极紫外自由电子激光光源。 自
IBM的研究人员近期宣布，已经攻克了碳纳米管生产中的一个主要挑战，这将有助于生产出具有商业竞争力的碳纳米管设备。 过去几十年，半导体行业尝试向单块计算机芯片中集成更多硅晶体管，从而不断加强芯片的性能。不过，这一发展很快就将遭遇物理极限。目前，IBM的研究人员表示，凭借“重要的工程突破”，碳纳米
微流控芯片技术是在芯片毛细管电泳基础上发展起来的，1992年，Manz等采用微电子机械加工技术在平板玻璃上刻蚀微管道，研制出毛细管电泳微芯片分析装置，实现了荧光标记的氨基酸的分离，开创了微流控芯片技术之先河。1995年，Wolley和Mathies用自己研制的电泳芯片系统，成功地进行了DNA测序，在
生物传感器是分析生物体内各项生理活动指标的重要工具，在面向重大疾病的高效检测方面具有重要的研究价值和应用前景。目前，金属氧化物纳米材料在生物传感器的应用中表现出了突出的优势，然而它们的表面性质极大地影响着生物传感器的关键性能，如选择性、灵敏度、响应时间等。研究自组装单层膜能够方便地调控金属氧化物
11月23日，应中国科学院光化学转换与功能材料重点实验室邀请，国家纳米科学中心丁宝全研究员来理化所进行学术交流，并作了题为Organizing Nano-objects with DNA Origami: on the way from structures to functio
近日从中国科大获悉，该校陆亚林团队成功制备出超快太赫兹调制器，率先实现皮秒级高调制深度的太赫兹超快开关；同时制备多功能太赫兹器件，在单一器件中实现电开关、光存储和超快调制多种功能。研究成果近期相继发表在国际著名学术期刊《先进光学材料》和《光学快讯》上。 太赫兹波在物理化学、材料
中科院强激光材料重点实验室近期在13.5nm软x射线反射镜研制方面取得重要进展，技术性能指标达到国际先进水平。经合肥国家同步辐射实验室测试，反射镜S分量反射率最高值达到67.8%（34.4°入射）。 13.5nm软x射线多层膜反射元件与现代科学技术研究的前沿课题密切相关，
近日，中国科学院深圳先进技术研究院杜学敏副研究员团队成功设计出形状记忆微阵列，并探索了该微阵列结构在液滴浸润特性调控与微结构可控复制应用。该项研究成果以“形状记忆高分子模板用于多种微结构可控复制”为题发表在材料领域权威期刊《材料化学A》上，论文第一作者为课题组研究助理王娟，通讯作者为杜学敏副研
韩国《中央日报》发布消息称，三星电子已成功研发出5纳米(nm)半导体工艺，并于4月中正式量产首个利用极紫外光刻(EUV)的7纳米芯片。对于新一代半导体的精密工艺问题，三星电子与各企业间的技术较量也日趋激烈。 三星电子宣布成功开发的5纳米精密工艺采用了比现有的ArF更优越的EUV技术。与ArF工
科罗拉多州立大学（Colorado State University）化学教授兼Henry集团领导人Charles Henry博士，将在会议上阐述用于人类临床试验和环境诊断的纸基微流控芯片的近期发展。纸基微流控器件的优势包括潜在的易用性、低成本和易处置性。“从普通沃特曼滤纸到复印纸，我们已经测试并使
加工处理过的食品，比如粉末和液体，常常被掺入杂质；一些色素和香料等添加剂用来调制仿冒食品，或者被稀释、被替换等等，这些都很难检测出来。高档酒和烈酒会成为造假首选目标，如用低等级的酒冒充昂贵的葡萄酒。非法生产的蜂蜜占到所有造假案列的7%，有篡改原产地的，有掺杂非法抗生素和杀虫剂的等等。甚至肉也存在掺假
制造石墨烯器件的传统方法费时费力。近日，英国埃克赛特大学的工程师们研发出一种新的生产方法，直接在铜基质上建立完整的设备序列，从而用于石墨烯的商业化生产，在这之后，完整和完全功能化的器件可以被转移到选择好的基质上。这将大大促进石墨烯市场的发展，打开石墨烯应用的巨大潜力，石墨烯驱动的工业革命或将成为
A2科技Pittcon推出突破性的便携Exoscan傅立叶红外光谱仪，用于表面分析[ 2008年3月4日A2 科技] 新奥尔良，香格里拉（ 2008年3月4日） A2科技，便携式傅立叶红外(FTIR)的创新者和制造商，宣布推出市场上体积最小、最紧凑的Exoscan型FTIR，进一步扩大了其新
根据一项新研究，3D 打印可能会在神经组织工程中充当一种强大的工具。 退行性疾病或创伤是神经损伤的主要原因。神经再生，也即是神经组织、细胞或细胞产物的再生或修复，可以帮助修复这种损伤。然而，修复大面积的损坏是一项极具挑战的任务。 乔治华盛顿大学的科学家发现，一个 3D 打印神经支架与低能量激
美东时间4月11日中午，Science杂志在线发表一篇研究论文，题目就四个字：Spin coating epitaxial film。单晶外延膜，如今甩着做！另附专家点评。 可以毫不夸张地说，甩涂法是现代微电子工业的根基。用于集成电路微加工的光刻胶，就是甩涂上去的，工艺简单、价格低廉、用途广泛
微流控芯片是用于微流控研究的装置，其中的微通道已经被模塑或图案化。形成微流控芯片的微通道被连接起来以允许流体流过不同的通道，从一个地方流到另一个地方。这些微流道网络通过进口和出口连接到外部环境。通过被动方式或外部有源系统（压力控制器、注射泵或蠕动泵）从微流控芯片中注入、管理、移除液体或气体。通道
一． PCR的发展历史 PCR技术自问世以来，在遗传病、病原体、癌基因等分子诊断领域和法医鉴定等方面发挥了巨大作用。第一代 PCR在进行扩增后通过凝胶电泳进行定性分析。 随着生物分子荧光技术的发展，1992年实时荧光定量PCR(Quantitative Real-time PCR
该芯片可被用于微流体系统，以分析来自小至单个细胞的样本的基因组信息。图片来源：Fluidigm 美国加州大学洛杉矶分校Dino Di Carlo实验室的生物工程师每天有很多时间都裹在从头到脚的衣服中并且看上去有点像得了黄疸。工程师们在一间无尘室中工作。房间里，过滤后的空气稳定地流动着，将微粒去除。
光学显微镜与非光学显微镜的定义区别是光学显微镜一般由载物台、聚光照明系统、物镜，目镜和调焦机构组成。载物台用于承放被观察的物体。利用调焦旋钮可以驱动调焦机构，使载物台作粗调和微调的升降运动，使被观察物体调焦清晰成象。它的上层可以在水平面内沿作精密移动和转动，一般都把被观察的部位调放到视场中心。电子显
光栅光谱仪的应用及装置构造 光栅光谱仪，是将成分复杂的光分解为光谱线的科学仪器。通过光谱仪对光信息的抓取、以照相底片显影，或电脑化自动显示数值仪器显示和分析，从而测知物品中含有何种元素。光栅光谱仪被广泛应用于颜色测量、化学成份的浓度测量或辐射度学分析、膜厚测量、气体成分分析等领域中。光栅
1、硅材料 优点： ·具有良好的化学惰性和热稳定性 ·良好的光洁度，加工工艺成熟 ·可用于制作聚合物芯片的模具等（汶颢股份提供硅片注塑模具、PDMS注塑模具等芯片注塑模具） 缺点： ·易碎，价格贵 ·不能透过紫外光 ·电绝缘性能不够好 ·表面化学行为较复杂 2、玻璃石英材料
近日，中国科学院微电子研究所贾锐研究员带领的高效太阳能电池研究团队成功研制出国内首款异质结背接触原型太阳能电池(2cm×2cm)。 异质结背接触(HIT-IBC)电池作为高端高效太阳能电池的一种，是国际上的研究热点，也是未来太阳能电池产业化的重要组成部分。目前国际上相关研究及产业化工作进展
分析测试百科网讯，默克集团（MerckGroup）近日发布2019年度财报，默克公司实现了所有财务目标，2019财年实现盈利增长，同时在执行其战略方面取得重大进展。2019财年，默克公司的净销售额为161.52亿欧元，比2018年148.36亿欧元增长8.9%，有机增长5.3%，这一增长主要得益于汇
1、硅材料 优点： ·具有良好的化学惰性和热稳定性 ·良好的光洁度，加工工艺成熟 ·可用于制作聚合物芯片的模具等（汶颢股份提供硅片注塑模具、PDMS注塑模具等芯片注塑模具） 缺点： ·易碎，价格贵 ·不能透过紫外光 ·电绝缘性能不够好 ·表面化学行为较复杂2、玻璃石英材料 优点：
流体成矿作用研究是判定矿床形成机制和探索矿床形成过程中成矿元素及成矿介质的来源、运移、演化及富集保存的主要内容之一。而流体包裹体是流体成矿作用研究的主要对象之一，单个流体包裹体的研究，尤其是单个流体包裹体的成矿元素含量的研究一直是流体成矿作用研究的难点。目前有LA ICP MS、SRXRF和PI
由陕西省光学学会、中国光学学会高速摄影和光子学专业委员会（两会均挂靠中国科学院西安光学精密机械研究所）主办，西安工业大学承办的“第二届（2010年）西部光子学学术会议”于7月10日在西安举行。来自西部地区相关领域的高校、科研院所及专业公司的专家、学者和企业家共160余人参加了本次学
8月6日至8日，光学前沿——第三届全国信息光学与光子器件学术会议（CIOC2010）在广西桂林召开。大会由中国科学院上海光学精密机械研究所主办，广西师范大学与中国激光杂志社联合承办。上海光机所干福熹院士、长春光机所王家骐院士、桂林市副市长巫家世、广西师范大学副校长李传起教授等到会并
4月12日下午，中科院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心召开了2011年度电子束光刻用户研讨会。半导体集成技术工程研究中心领导以及来自半导体所各部门的30余名从事纳米加工的研究生出席了本次会议。 半导体集成技术工程研究中心主任杨富华简要回顾了10年来集成技术中心设备的购建、技术人员的配备和
最近，国外科研人员报道了一种新型的无结纳米线晶体管(Nature Nanotechnology. 5, 225 (2010)）。这种晶体管源极和漏极与沟道区之间没有结的存在。相比传统的结型晶体管，无结晶体管的源极、漏极与沟道共用一根重掺杂的硅纳米线，从而大大简化了传统器件的制备工