化学机械平坦CMP设备概述

化学机械抛光(英语:Chemical-Mechanical Polishing,缩写CMP),又称化学机械平坦化(英语:Chemical-Mechanical Planarization),是半导体器件制造工艺中的一种技术,用来对正在加工中的硅片或其它衬底材料进行平坦化处理。 CMP工艺的基本原理:基本原理是将待抛光工件在一定的下压力及抛光液(由超细颗粒、化学氧化剂和液体介质组成的混合液)的存在 下相对于一个抛光垫作旋转运动,借助磨粒的机械磨削及化学氧化剂的腐蚀作用来完成对工件表面的材料去除,并获得光洁表面。 CMP技术所采用的设备及消耗品:主要包括,抛光机、 抛光液、抛光垫、后CMP清洗设备、抛光终点检测及工艺控制设备、废物处理和检测设备等,其中抛光液和抛光垫为消耗品 CMP过程:过程主要有抛光、后清洗和计量测量等部分组成,抛光机、抛光液和抛光垫是CMP工艺的3大关键要素,其性能和相互匹配决定CMP能达到的表面平整水......阅读全文

分析化学概述(一)

分析化学是化学的一个重要分支,它主要研究物质中有哪些元素或基团(定性分析);每种成分的数量或物质纯度如何(定量分析);原子如何联结成分子,以及在空间如何排列等等。 分析化学以化学基本理论和实验技术为基础,并吸收物理、生物、统计、电子计算机、自动化等方面的知识以充实本身的内容,从而解决科学、技术所提出

化学吸附仪的概述

  吸附指固体表面对气体或液体的吸着现象。固体称为吸附剂,被吸附的物质称为吸附质。根据吸附质与吸附剂表面分子间结合力的性质,可分为物理吸附和化学吸附。  化学吸附是吸附质分子与固体表面原子(或分子)发生电子的转移、交换或共有,形成吸附化学键的吸附。由于固体表面存在不均匀力场,表面上的原子往往还有剩余

我国集成电路装备有希望了,清华团队再破卡脖子难题!

  近日,由清华大学机械系路新春教授带领清华大学成果转化项目公司华海清科研发的首台12英寸超精密晶圆减薄机(Versatile-GP300)正式出机,发往国内某集成电路龙头企业。该装备是路新春教授团队与华海清科股份有限公司(以下简称“华海清科”)继解决我国集成电路抛光装备“卡脖子”问题后的又一突破性

仪器设备热机械分析仪的原理和组成

  2019-09-16作者:浏览次数:35 来源:仪器设备网   热机械分析仪在程序流程溫度下和非振动荷载功效下,精确测量化学物质的变形与溫度時间等涵数关联的这种技术性,该仪器设备主要精确测量化学物质的热膨胀系数和相变化溫度等主要参数。   仪器设备,热机械分析仪   热机械分析仪的原理:

水处理设备中机械过滤器的污染与清洗

     机械过滤器也被称为压力式过滤器,顾名思义,机械过滤器是不必通过任何化学反应,而是单纯依靠物理孔径大小的差别来截留需要去除的污物,使水中杂质在规定范围内降低到zui小浓度,因此,理论上机械过滤器的污染通常都是比较直观的大颗粒物质,通常规定正反水冲洗或加气震动即可恢复正常运行。其中包过石英砂过

工业内窥镜,机械设备损耗故障检测的有效手段

目前很多的产品加工生产企业都会使用工业内窥镜来检查产品质量,工业用的内窥镜的操作使用方法非常的简单便捷,同时分类也很多,可以结合实际的工作需要来进行选择。工业用内窥镜可进行多种形式的机械设备损耗检测,褶皱、裂纹、凹凸不平、焊缝等及机械设备零件装配过程中的一些问题。机械产品的表面形状发生了变化,属于级

声化学处理设备的分类

  实验室级声化学系统  实验室级声化学系统主要在实验室试验或小规模生产中使用,具有频率高,体积小,重量轻,便于携带,并具有功率频率实时监控和功率可调等特点,长度范围一般为400mm—600mm。  实验室级使用方法  实验室级声化学系统体积较小,且主要用于实验室或小规模生产使用,如右图。  设备如

声化学处理设备的应用

  超声在生物化学中的最早应用应当是用超声来粉碎细胞壁,以释放出其内容物。随后的研究表明,低强度超声可以促进生化反应过程,如用超声照射液体营养基可增加藻类细胞的生长速度,从而使这些细胞产生蛋白质的量增加3倍。  超声波声场的能量密度与空化泡崩溃时的能量密度相比,能量密度被扩大了万亿倍,引起能量的巨大

使晶面平坦度达原子水平的新型研磨技术出现了

  东京大学研究人员通过一边浇水一边用丙烯酸板研磨硅基板,成功达到了原子水平的平坦度。整个过程不使用药液和抛光磨粒,硅基板表面粗糙度实现仅0.037纳米,加工成本仅水费和电费。相关论文发表在《Applied Physics Letters》上。  其工作原理是,将研磨对象推压于边泼水边旋转的丙烯板,

概述反渗透设备的清洗方法

  反渗透技术因具有特殊的优越性而得到日益广泛的应用。反渗透净水设备的清洗问题可能使许多技术力量不强的用户遭受损失,所以要做好反渗透设备[7]的管理,就可以避免出现严重的问题。[1]  1.低压冲洗反渗透设备  定期对反渗透设备进行大流量、低压力、低pH值的冲洗有利于剥除附着在膜表面上的污垢,维持膜

实验室超纯水设备概述

实验室超纯水设备概述:去离子水设备是通过反渗透、电渗析器、离子交换器、EDI等方法去除水中阴阳离子的水处理装置。实验室超纯水设备性能稳定,大量应用于医药,电子,化工,玻璃,渡涂,锅炉,化验室等行业。小型去离子水设备可用自来水直接制取高纯水,且运行周期长,不必频繁维护及更换各种备件,运行极其安静。一些

微波真空干燥设备的概述

  微波真空干燥设备是微波能技术与真空技术相结合的一种新型微波能应用设备,它兼备了微波及真空干燥的一系列优点,克服了常规真空干燥周期长、效率低的缺点,在一般物料干燥过程中,可比常规方法提高工效4~10倍。  具有干燥产量高、质量好,加工成本低等优点,微波真空干燥设备是一项集电子学、真空学、机械学、热

干燥设备的特点相关概述

  干燥设备种类繁多、各具用途也是干燥技术的一个特点。每一种技术都有自己适宜应用的领域。在工程实践中,要根据具体情况选择适用的干燥技术种类。这对投资费用、操作成本、产品质量、环保要求等方都会产生重大的影响。例如某一企业,在白炭黑滤饼干燥上曾经分别选用过箱式干燥、喷雾干燥、旋转气流快速干燥三种型式。最

发酵设备的概述与工作原理

概述发酵主要设备为发酵罐和种子罐,它们各自都附有原料(培养基)配制、灭菌和冷却设备,通气调节和除菌设备,以及搅拌器等。种子罐:以确保发酵罐培养所必需的菌体量为目的。发酵罐:承担产物的生产任务。它必须能够提供微生物生命活动和代谢所要求的条件,并便于操作和控制,保证工艺条件的实现,从而获得高产。工作原理

概述别构酶的化学反应

  调节物也称效应物或调节因子。一般是酶作用的底物、底物类似物或代谢的终产物。调节物与别构中心结合后,诱导或稳定住酶分子的某种构象,使酶的活性中心对底物的结合与催化作用受到影响,从而调节酶的反应速度和代谢过程,此效应称为酶的别构效应(allosteric effect )。因别构导致酶活力升高的物质

化学气相沉积的概述

  化学气相沉积是一种化工技术,该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物

离放射化学分的概述

  放射化学分离是用化学或物理的方法使放射性物质(见放射性)与稳定物质分离或几种放射性物质彼此分离的技术。在核燃料生产、核燃料后处理、放射性核素生产、放射性标记化合物合成、核化学研究和放射性核素的分析方面,都会遇到放射化学分离。放射化学分离的方法通常有:共沉淀、溶剂萃取、离子交换色谱(见色谱法)、电

概述霉酚酸的计算化学数据

  1.疏水参数计算参考值(XlogP):3.2  2.氢键供体数量:2  3.氢键受体数量:6  4.可旋转化学键数量:6  5.互变异构体数量:4  6.拓扑分子极性表面积93.1  7.重原子数量:23  8.表面电荷:0  9.复杂度:486  10.同位素原子数量:0  11.确定原子立构

自动化学吸附仪概述

  自动化学吸附仪是一种用于自然科学相关工程与技术领域的分析仪器,于2019年12月12日启用。  技术指标  温度系统:范围从室温到1000 ℃ 升温速率:从室温到500℃范围内升温速率最高可达50℃/min,从500到750℃升温速率最高可达30℃/min,从750到1000℃升温速率可达10℃

电化学仪器的概述

  电解质溶液通电时,其电位、电流、电导和电量等物理量随化学组分和浓度而变化,这就是电化学性质。电化学分析技术,是指利用溶液的电化学性质通过电极这个变换器,把被测物质的浓度(变化)转变成电学物理量(变化)来进行检测的方法。其主要分为电位分析技术、伏安分析技术和电导分析技术。   电化学分析仪器,是利

国家级收割机械设备检验中心落户佳木斯

  东北网佳木斯12月26日讯 24日,坐落于佳木斯市友谊路的国家农作物收割机械设备质量监督检验中心正式通过国家实验室认可委和国家认鉴委的资质认定,这标志着我国惟一一家国家级农作物收割机械设备检验中心在我市落户。  这个检验中心于2010年1月经过国家质检总局批准筹建,实验室面积6140平

加速度计测量机械设备振动故障

加速度计是直接安装在振动物体表面(或内部)的小型设备。它们包含一个小块,由像弹簧一样操作的柔性部件悬挂。当加速度计移动时,小质量将成比例地偏转加速度    可以使用各种传感技术来测量质量的偏转量。由于质量和弹簧力是已知的,挠曲量很容易转换成加速度值。加速度计可以提供一个或多个轴的加速度信息。  作用

浅析高压开关机械特性测试仪的设备特点

高压开关机械特性测试仪基于高性能工业嵌入式平台,具有高速数据采集分析处理能力,能抵御强电磁场(500KV以上)干扰,同时具有多路高压开关动特性同时分析和测试精度高等特点。针对不同开关的不同测试要求,仪器具有丰富完善的用户自定义功能。仪器内置隔离型可调直流电源及开关操作命令模拟控制模块,试验时可通过内

浅析高压开关机械特性测试仪的设备特点

高压开关机械特性测试仪基于高性能工业嵌入式平台,具有高速数据采集分析处理能力,能抵御强电磁场(500KV以上)干扰,同时具有多路高压开关动特性同时分析和测试精度高等特点。针对不同开关的不同测试要求,仪器具有丰富完善的用户自定义功能。仪器内置隔离型可调直流电源及开关操作命令模拟控制模块,试验时可通过内

西门子控制器机械设备故障的诊断方法

机械设备故障诊断方法2.1 无损检测技术机械设备在生产时,其铸件、锻件、焊接件的表面及内部不免存在裂纹、气孔等肉眼观察不到的各种缺陷,在使用过程中缺陷可能会进一步恶化,影响设备的性能和正常运转。无损探伤诊断法就是利用声、光、磁和电等特性,在不损害或不影响机械设备使用性能的前提下,检测其是否存在焊缝、

常用的破碎石灰石的矿山机械设备

石灰石种类较多,在我国是一种普遍存在的石头资源,经过破碎后的石灰石可少量用于建筑材料、工业原料的。石灰石硬度普通,所以市场上可以加工破碎石灰石的机器品种多,上面我们紧着常用的几款为大家引见一下。加工石灰石,市场上常用的有颚式破碎机、反击式破碎机、锤式破碎机、制砂机、移动破碎机等,机器类型不同,其构造

血液的化学检验项目红细胞机械性脆性试验介绍

红细胞机械性脆性试验介绍:  正常人血液唯需要无菌采血制成脱纤维血。经37℃温育24-48h,会逐渐产生轻微溶血,取出后如定量法一样进行比色,计算溶血率(百分比)。红细胞机械性脆性试验正常值:  0.075-0.24 (7.5%-24%)。红细胞机械性脆性试验临床意义:  异常结果:  (1) 遗传

「官网」2025深圳13届国际CMP抛光材料展「半导体展会」

「官网」2025深圳13届国际CMP抛光材料展「半导体展会」展会时间:2025年4月9日-11日论坛时间:2025年4月9日-11日举办地点:深圳福田会展中心 (深圳市福田中心区福华三路)展会规模: 面积10万平米,展商1800余家,展位3600多个,观众近10万人次展会报名:136 (李先生)中间

化学设备有了“身份证”

  涉毒违法犯罪往往与涉黑恶违法犯罪密不可分,为推进扫黑除恶专项斗争深入开展,近日,范县禁毒办对辖区内化工企业的化学原料及设备进行了彻底排查和详细登记,以从源头杜绝制毒化学品及制毒设备流失案件的发生。  通过摸底统计,范县对全县265个反应釜办理了“身份证”,实施户籍化身份证式管理,逐一编号、登记造

几种化学检验设备使用方法

  1. 溶液PH值与酸度计我们在中学阶段就听老师们说过PH试纸,是用来测试溶液酸碱性的,试纸一碰到溶液就会变色,然后根据颜色读出PH,当时觉得特别神奇。  在实际检测过程中,PH试纸的精度已经是远不够用了,那么我如何更加精确地获取溶液的PH值呢?  那么就要靠我们今天所说的PH计。对了,它也叫酸度