半导体集成电路的工艺保障

1)原材料控制。包括对掩膜版、化学试剂、光刻胶、特别对硅材料等原材料的控制。控制不光采用传统的单一检验方式,还可对关键原材料采用统计过程控制(statisticalprocesscontrol,SPC)技术,确保原材料的质量水平高,质量一致性好。 2)加工设备的控制。除采用先进的设备进行工艺加工外,还应做好对设备日常维护、预防性维修等工作,同时应对设备的关键参数进行监控,必要时建立设备参数的SPC控制模型进行分析控制等。 3)工艺加工过程的控制。包括对关键工艺参数进行SPC控制、工序能力分析、6σ设计等,同时对工艺加工关键环节建立工艺检验手段,如对氧化层的针孔和裂纹的检验、对可动金属离子的检验、对金属层稳定性的检验等。此外,工艺方面的保障还应包括对操作人员的培训和考核、对环境洁净度的控制和建立先进的生产质量管理信息系统等方面。......阅读全文

2024第14届上海国际半导体器件及集成电路生产设备展览会

2024上海国际电子制造设备展览会                  时间: 2024年11月18-20日 地点: 上海新国际博览中心主办:中国电子器材有限公司协办:香港贸易发展局    台湾区电机电子工业同业公会   韩国电子产业振兴会    日本电子展协会   中国电子元件行业协会展会背景:电子

集成电路制造展会|2024上海集成电路制造展览会「上海集成电路展」

展会概况展会名称:2024中国(上海)集成电路产业与应用博览会展会时间:2024年11月18-20日 论坛时间:2024年11月18日-19日展会地点:上海新国际博览中心展会规模:50,000平方米、800家展商、90,000名专业观众  中国集成电路将顺势而为,逆势崛起 “十四五”期间,我国半导体

集成电路制造展会|2024上海集成电路应用展览会「上海集成电路展」

展会概况展会名称:2024中国(上海)集成电路产业与应用博览会展会时间:2024年11月18-20日 论坛时间:2024年11月18日-19日展会地点:上海新国际博览中心展会规模:50,000平方米、800家展商、90,000名专业观众  中国集成电路将顺势而为,逆势崛起 “十四五”期间,我国半导体

什么是扩散炉?它有什么用处?

扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一,它的主要用途是对半导体进行掺杂,即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片,从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布,以便建立起不同的电特性区域。虽然某些工艺可以使用离子注入的方法进行掺杂,但是热扩散仍是最主要、最普遍的掺杂方法。硅的热氧化作用是使硅片表面

什么是扩散炉

扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一,它的主要用途是对半导体进行掺杂,即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片,从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布,以便建立起不同的电特性区域。虽然某些工艺可以使用离子注入的方法进行掺杂,但是热扩散仍是最主要、最普遍的掺杂方法。硅的热氧化作用是使硅片表面

什么是扩散炉

扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一,它的主要用途是对半导体进行掺杂,即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片,从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布,以便建立起不同的电特性区域。虽然某些工艺可以使用离子注入的方法进行掺杂,但是热扩散仍是最主要、最普遍的掺杂方法。硅的热氧化作用是使硅片表面

什么是扩散炉?它有什么用处?

扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一,它的主要用途是对半导体进行掺杂,即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片,从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布,以便建立起不同的电特性区域。虽然某些工艺可以使用离子注入的方法进行掺杂,但是热扩散仍是最主要、最普遍的掺杂方法。硅的热氧化作用是使硅片表面

睿励科学仪器完成近5亿元战略融资

  11月5日消息,据张通社报道,睿励科学仪器(上海)有限公司(以下简称“睿励科学仪器”)宣布完成近5亿元战略融资,本轮融资由金石投资和招商致远联合领投,河南资产、金信资本、鼎青投资等跟投。所融资金主要用于进一步提升先进半导体制程用的光学量检测设备的国产替代能力,丰富产品种类,加大市场开拓力度能力。

浅析适用于射频微波等高频电路的半导体材料及工艺-1

半导体材料是一类具有半导体性能(导电能力介于导体与绝缘体之间,电阻率约在 1mΩ·cm~1GΩ·cm 范围内)、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料。按种类可以分为元素半导体和化合物半导体两大类,元素半导体指硅、锗单一元素形成的半导体,化合物指砷化镓、磷化铟等化合物形成的半导体。随着无

浅析适用于射频微波等高频电路的半导体材料及工艺-2

硅锗 SiGe 1980 年代 IBM 为改进 Si 材料而加入 Ge,以便增加电子流的速度,减少耗能及改进功能,却意外成功的结合了 Si 与 Ge。而自 98 年 IBM 宣布 SiGe 迈入量产化阶段后,近两、三年来,SiGe 已成了最被重视的无线通信 IC 制程技术之一。  

集成电路技术发展与分析仪器创新论坛日程一览

集成电路技术发展与分析仪器创新论坛  分析仪器在集成电路技术发展中具有非常重要的地位。它们在材料分析、工艺监控、失效分析和研发支持等方面都发挥着不可或缺的作用,为推动集成电路技术的进步提供了强有力的支持。随着技术的不断发展,分析仪器的种类和性能也在不断提高和完善,为集成电路技术的持续创新提供了有力保

北科大等打造1纳米制程集成电路新赛道

近日,“中国半导体行业协会2024(第十六届)半导体市场年会暨紫光集团品牌焕新发布会”在北京举办。北京科技大学与新紫光集团签约战略合作协议,双方将聚焦先进制程集成电路的前瞻技术和关键核心技术研究开展科技创新、成果转化人才培养等全方位合作。本次战略合作是在中国科学院院士、北京科技大学前沿交叉科学技术研

集成电路的技术特点

集成电路具有体积小,重量轻,引出线和焊接点少,寿命长,可靠性高,性能好等优点,同时成本低,便于大规模生产。它不仅在工、民用电子设备如收录机、电视机、计算机等方面得到广泛的应用,同时在军事、通讯、遥控等方面也得到广泛的应用。用集成电路来装配电子设备,其装配密度比晶体管可提高几十倍至几千倍,设备的稳定工

集成电路的检测常识

1、检测前要了解集成电路及其相关电路的工作原理检查和修理集成电路前首先要熟悉所用集成电路的功能、内部电路、主要电气参数、各引脚的作用以及引脚的正常电压、波形与外围元件组成电路的工作原理。2、测试避免造成引脚间短路电压测量或用示波器探头测试波形时,避免造成引脚间短路,最好在与引脚直接连通的外围印刷电路

集成电路制造展会|2024上海模拟集成电路展览会「上海集成电路展」

展会概况展会名称:2024中国(上海)集成电路产业与应用博览会展会时间:2024年11月18-20日 论坛时间:2024年11月18日-19日展会地点:上海新国际博览中心展会规模:50,000平方米、800家展商、90,000名专业观众  中国集成电路将顺势而为,逆势崛起 “十四五”期间,我国半导体

一文看懂半导体圈那些事儿

1、半导体产业,设计和制造哪个难度大?制造难度更大些。● 现在兼顾设计和制造的公司比较少;● 只做设计公司很多,一般成为fabless,拥有电脑、软件和设计工程师就可以完成设计,输出设计后交由光罩厂、晶圆流片代工厂、封测厂生产器件。● 只做制造的成为fab厂,门坎较高,一条8英寸晶圆流片生产

离子注入机的应用

  离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备,离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术,其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。离子注入与常规热掺杂工艺相比可对注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制,克服了常规工艺的限制,提高了电路的集成度、开启速度、成品率和寿命,降低了

坐标上海,事业编!“双一流”高校招聘近百人

上海大学微电子学院成立于2019年11月,坐落于上海大学嘉定校区,为上海大学与上海微技术工业研究院、中国科学院上海分院、集成电路全产业链创新企业共建,积极探索新机制,集聚社会优质资源,打造国际领先的集成电路泛摩尔人才培养高地。微电子学院前身是1958年嘉定校区成立的半导体器件与物理专业,历经60年发

「官网」2025深圳13届国际封装/组装工艺展「半导体展会」

「官网」2025深圳13届国际半导体技术展「半导体展会」展会时间:2025年4月9日-11日论坛时间:2024年4月9日-11日举办地点:深圳福田会展中心 (深圳市福田中心区福华三路)展会规模: 面积10万平米,展商1800余家,展位3600多个,观众近10万人次展会报名:136 (李先生)中间四位

官网」2025深圳13届国际先进封测工艺展「半导体展会」

「官网」2025深圳13届国际半导体技术展「半导体展会」展会时间:2025年4月9日-11日论坛时间:2024年4月9日-11日举办地点:深圳福田会展中心 (深圳市福田中心区福华三路)展会规模: 面积10万平米,展商1800余家,展位3600多个,观众近10万人次展会报名:136 (李先生)中间四位

专家建议加快宽禁带与超宽禁带半导体器件发展

   “生产集成电路所需要的硅材料已趋近完美,但是未来还有什么材料可以替代硅,这是业界急切希望解决的问题”。中国科学院院士、国家自然科学基金委员会信息科学部主任郝跃近日在 “纪念集成电路发明60周年学术会议”上如是说。该会议由中国电子学会、中国科学院信息技术科学部等共同主办。  自1958年杰克·基

电子超纯水设备工艺说明

   半导体、电子行业是目前世界上要求最高标准的超纯水用户。超出水制造技术的发展极大地推动了半导体和电子工业的技术进度。同时半导体、电子工业的迅速发展促进了超纯水制造技术装备的发展。  目前最先进的制水工艺:  (RO)反渗透 + (EDI)电去离子工艺  (RO)反渗透 + 混床工艺   产水符合

第二届“半导体材料与器件量测和检测技术”培训班圆满收官

2025年10月27日至31日,由中国科学院人事局资助、中国科学院上海硅酸盐研究所主办,上海材料与制造大型仪器区域中心和上海无机非金属材料分析测试专业平台协办的第二届“半导体材料与器件量测和检测技术”培训班在上海成功举办。本届培训班特邀华东理工大学朱为宏院士,中国科学院半导体研究所所长谭平恒研究员等

化合物半导体材料的材料优势

化合物半导体集成电路的主要特征是超高速、低功耗、多功能、抗辐射。以GaAs为例,通过比较可得:1.化合物半导体材料具有很高的电子迁移率和电子漂移速度,因此,可以做到更高的工作频率和更快的工作速度。2.肖特基势垒特性优越,容易实现良好的栅控特性的MES结构。3.本征电阻率高,为半绝缘衬底。电路工艺中便

12英寸项目规划开工,又一半导体硅片厂商拟闯关科创板

  近日,北京证监会披露,有研半导体硅材料股份公司(以下简称“有研半导体”)拟科创板上市,目前,有研半导体于7月5日与中信证券签署了上市辅导协议。  有研半导体成立于2001年6月,注册资本约10亿元人民币,主要从事硅及其它半导体材料、设备的研究、开发、生产与经营,提供相关技术开发、技术转让和技术咨

集成电路制造展会|2024上海数/模混合集成电路展览会「上海集成电路展」

展会概况展会名称:2024中国(上海)集成电路产业与应用博览会展会时间:2024年11月18-20日 论坛时间:2024年11月18日-19日展会地点:上海新国际博览中心展会规模:50,000平方米、800家展商、90,000名专业观众  中国集成电路将顺势而为,逆势崛起 “十四五”期间,我国半导体

MEMS振荡器的目标

目标MEMS振荡器可以利用现有硅半导体行业所使用的制造技术和设备,让半导体行业能在代工环境中集成MEMS。Sitime公司将以MEMSFirst技术进入时钟管理器件市场,下一代集成度更高的解决方案将包括MEMS振荡器和在同一硅晶圆上制造的超大规模集成电路控制功能。Sitime公司已与Jazz半导体公

2024深圳国际半导体设备展览会「时间+地点+介绍」

2024中国深圳国际集成电路及芯片产业博览会地点:深圳会展中心展览时间:2024年4月9-11日参展咨询:021-5416 3212大会负责人:李经理 136 5198 3978【指导单位】中国电子器材有限公司工业和信息化部深圳市人民政府各省市电子器材公司台湾区电机电子工业同业公会中国电子元件行业协

2025中国(深圳)国际半导体应用光电子展览会

2025中国深圳国际集成电路及芯片产业博览会地点:深圳会展中心展览时间:2025年4月9-11日参展咨询:021-5416 3212大会负责人:李经理 136 5198 3978【指导单位】中国电子器材有限公司工业和信息化部深圳市人民政府各省市电子器材公司台湾区电机电子工业同业公会中国电子元件行业协

2024深圳国际半导体扩散设备展览会「时间+地点+介绍」

2024中国深圳国际集成电路及芯片产业博览会地点:深圳会展中心展览时间:2024年4月9-11日参展咨询:021-5416 3212大会负责人:李经理 136 5198 3978【指导单位】中国电子器材有限公司工业和信息化部深圳市人民政府各省市电子器材公司台湾区电机电子工业同业公会中国电子元件行业协