电子显微镜成像原理
一、透射电子显微镜的成像原理可分为三种情况:1、吸收像:当电子射到质量、密度大的样品时,主要的成相作用是散射作用。样品上质量厚度大的地方对电子的散射角大,通过的电子较少,像的亮度较暗。早期的透射电子显微镜都是基于这种原理。2、衍射像:电子束被样品衍射后,样品不同位置的衍射波振幅分布对应于样品中晶体各部分不同的衍射能力,当出现晶体缺陷时,缺陷部分的衍射能力与完整区域不同,从而使衍射波的振幅分布不均匀,反映出晶体缺陷的分布。3、相位像:当样品薄至100Å以下时,电子可以穿过样品,波的振幅变化可以忽略,成像来自于相位的变化。二、扫描电子显微镜成像原理扫描电子显微镜通过用聚焦电子束扫描样品的表面来产生样品表面的图像。电子与样品中的原子相互作用,产生包含关于样品的表面测绘学形貌和组成的信息的各种信号。电子束通常以光栅扫描图案扫描,并且光束的位置与检测到的信号组合以产生图像。扫描电子显微镜可以实现分辨率优于1纳米。样品可以在高真空,低真空,......阅读全文
电子显微镜的结构介绍
电子显微镜由镜筒、真空系统和电源柜三部分组成。镜筒主要有电子枪、电子透镜、样品架、荧光屏和照相机构等部件,这些部件通常是自上而下地装配成一个柱体;真空系统由机械真空泵、扩散泵和真空阀门等构成,并通过抽气管道与镜筒相联接,电源柜由高压发生器、励磁电流稳流器和各种调节控制单元组成。◆电子透镜电子透镜是电
扫描电子显微镜的优点
和光学显微镜及透射电镜相比,扫描电镜具有以下特点:(一) 能够直接观察样品表面的结构,样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。(二) 样品制备过程简单,不用切成薄片。(三) 样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转,因此,可以从各种角度对样品进行观察。(四) 景深大,图象富有立体感。扫描电镜
电子显微镜样品如何制备
投射电子显微镜的观察样品的主要制备方法有:1、投影法在真空条件下,用电子散射能力强的重金属原子来喷镀样品表面,这样在样品和没有喷镀的区域形成了较强的反差,而没有喷镀的部分成了样品的投影,根据投影我们可以了解样品的立体形状、高度,通常用这种方法来观察细菌的鞭毛或病毒的颗粒。2、负染法因为这种方法是将样
电子显微镜的研发历史
1926年汉斯·布什研制了第一个磁力电子透镜。世界第一台电子显微镜1931年厄恩斯特·卢斯卡和马克斯·克诺尔研制了第一台透视电子显微镜。展示这台显微镜时使用的还不是透视的样本,而是一个金属格。1986年卢斯卡为此获得诺贝尔物理奖。1934年锇酸被提议用来加强图像的对比度。1937年第一台扫描透射电子
电子显微镜的主要类型
电子显微镜按结构和用途可分为透射式电子显微镜、扫描式电子显微镜、反射式电子显微镜和发射式电子显微镜等。透射式电子显微镜常用于观察那些用普通显微镜所不能分辨的细微物质结构;扫描式电子显微镜主要用于观察固体表面的形貌,也能与X射线衍射仪或电子能谱仪相结合,构成电子微探针,用于物质成分分析;发射式电子显微
扫描电子显微镜概览(二)
电子束系统电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。电子枪 电子枪用于产生电子,主要有两大类,共三种。一类是利用场致发射效应产生电子,称为场致发射电子枪。这种电子枪极其昂贵,在十万美元以上,且需要小于10-10torr的极高真空。但它具
什么是扫描电子显微镜
【扫描电子显微镜】简称“`SEM`”。一种超高分辨的具表面测试技术的分析仪器。可用于微粒、金属薄片等表面性质的研究。主要是利用电子束在样品表面上逐点扫描,通过电子束与样品相互作用,从样品上激发出与样品性质有关的各种信息(如二次电子、背射电子、`X`射线等),通过分别收集这些从样品上激发出的信息,经电
电子显微镜使用实验(一)
实验方法原理 一、电子显微镜的分辨力和放大率 电子显微镜是利用电子流代替光学显微镜的光束使物体放大成像而由此得名的。发射电子流的电子源部分称为电子枪,电子枪由发射电子的“V”形钨丝及阳极板组成,在高真空中,钨丝被加热到白炽程度,其尖端便发射出电子,发射出来的电子受到阳极很高的正电压的吸引,使电子得到
透射电子显微镜结构
透射电子显微镜结构 透射电子显微镜的结构透射电子显微镜(TEM)是观察和分析材料的形貌、组织和结构的有效工具。TEM用聚焦电子束作照明源,使用对电子束透明的薄膜试样,以透过试样的透射电子束或衍射电子束所形成的图像来分析试样内部的显微组织结构。 图1(a)(b)是两种典型的透射电镜的实物照片。透射
扫描电子显微镜的特点
扫描电镜虽然是显微镜家族中的后起之秀, 但由于其本身具有许多独特的优点, 发展速度是很快的。 [7] 1 仪器分辨率较高, 通过二次电子像能够观察试样表面6nm左右的细节, 采用LaB6电子枪, 可以进一步提高到3nm。 [7] 2 仪器放大倍数变化范围大, 且能连续可调。因此可以根据需要选
扫描电子显微镜的特点
扫描电子显微镜的设计思想和工作原理,早在1935年便已被提出来了。1942年,英国首先制成一台实验室用的扫描电子显微镜,但由于成像的分辨率很差,照相时间太长,所以实用价值不大。经过各国科学工作者的努力,尤其是随着电子工业技术水平的不断发展,到1956年开始生产商品扫描电子显微镜。近数十年来,扫描电
线上电子显微镜仪器简介!
机台功能In-line SEM主要用途为线上产品线宽量测,又称CD-SEM,其特点为WAFER无须经过切片或镀金属膜等预处理步骤,即可观察及量测光阻、绝缘层及金属层等之图案,本量测设备属于非坏性检测,量测完成之WAFER可以继续进行下一制程步骤,因此称为线上型电子显微镜。本机台仅能量测线宽,由于试片
透射电子显微镜背景
透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope, 简称TEM),是一种把经加速和聚集的电子束透射到非常薄的样品上,电子与样品中的原子碰撞而改变方向,从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度等相关,因此可以形成明暗不同的影像,影像在放大、聚焦后在成像器件(如
电子显微镜样品如何制备
投射电子显微镜的观察样品的主要制备方法有:1、投影法在真空条件下,用电子散射能力强的重金属原子来喷镀样品表面,这样在样品和没有喷镀的区域形成了较强的反差,而没有喷镀的部分成了样品的投影,根据投影我们可以了解样品的立体形状、高度,通常用这种方法来观察细菌的鞭毛或病毒的颗粒。2、负染法因为这种方法是将样
扫描电子显微镜的工作原理
扫描电子显微镜的工作原理:扫描电子显微镜的制造依据是电子与物质的相互作用。扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇
电子显微镜的横空出现
要想提高显微镜的分辨本领.,关键是减小照明光的波长。 利用紫外线 作光源, 可以提高分辨本领。 但是. 绝大多数的物质部强烈地吸收短波紫外线.。故可供照明使用的紫外线波长只在 200-2500mm范围 , 这时提高显微镜的分辨本领是有限的 , 因此光学显微镜的分辨本领己经达到极限值, X 躬线波
分析电子显微镜的结构组成
分析电子显微镜是由透射电子显微镜、扫描电子显微镜和电子探针组合而成的多功能的新型仪器。
电子显微镜的功能及组成
电子显微镜,简称电镜,英文名Electron Microscope(简称EM),经过五十多年的发展已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具。电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。
电子显微镜的结构与功能
电子显微镜,简称电镜,英文名Electron Microscope(简称EM),经过五十多年的发展已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具。电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。
扫描电子显微镜的应用特点
由于扫描电子显微镜具有上述特点和功能,所以越来越受到科研人员的重视,用途日益广泛。扫描电子显微镜已广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等
扫描电子显微镜的工作原理
扫描电子显微镜的工作原理:扫描电子显微镜的制造依据是电子与物质的相互作用。扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇
环境扫描电子显微镜的结构
环境扫描电子显微镜在普通扫描电镜的基础上环扫实现较高的低真空,其核心技术就是采用两级压差光栅和气体二次电子探测器,还有一些其它相关技术也相继得到完善。 环境扫描电子显微镜是使用1个分子泵和2个机械泵,2个压差(压力限制)光栅将主体分成3个抽气区,镜筒处于高真空,样品周围为环境状态,样品室、光路
电子显微镜的结构功能介绍
电子显微镜,简称电镜,英文名Electron Microscope(简称EM),经过五十多年的发展已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具。电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。电子显微镜技术的应用是建立在光学显微镜的基础之上的,光学显微镜的分辨率为0.2μm,透射电子显微镜的分辨率为0.2n
扫描电子显微镜常见的应用
以下列举电镜常见的应用(截至1984年),其在对外贸易和军事等其他领域也有其用武之地 。物理学分子和原子形态的研究;晶体薄膜位错和层错的研究;表面物理现象的研究等 。化学高分子结构和性能方面的研究;一些有机复合材料的结构形态和添加剂的研究;催化剂的研究:各种无机物质性能、结构、杂质含盘的研究;甚至
分析电子显微镜的结构特点
分析电子显微镜是由透射电子显微镜、扫描电子显微镜和电子探针组合而成的多功能的新型仪器。
电子显微镜的横空出现
要想提高显微镜的分辨本领.,关键是减小照明光的波长。 利用紫外线 作光源, 可以提高分辨本领。 但是. 绝大多数的物质部强烈地吸收短波紫外线.。故可供照明使用的紫外线波长只在 200-2500mm范围 , 这时提高显微镜的分辨本领是有限的 , 因此光学显微镜的分辨本领己经达到极限值, X 躬线波
什么是透射电子显微镜
透射电子显微镜(Transmission electron microscopy,TEM),简称透射电镜,是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,电子与样品中的原子碰撞而改变方向,从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关,因此可以形成明暗不同的影像。通常,透射电子显微镜的分辨率为
扫描电子显微镜的技术特点
扫描电镜虽然是显微镜家族中的后起之秀,但由于其本身具有许多独特的优点,发展速度是很快的。 1 仪器分辨率较高,通过二次电子像能够观察试样表面6nm左右的细节,采用LaB6电子枪,可以进一步提高到3nm。 2 仪器放大倍数变化范围大,且能连续可调。因此可以根据需要选择大小不同的视场进行观察,同时在高放
扫描电子显微镜的技术特点
扫描电镜虽然是显微镜家族中的后起之秀,但由于其本身具有许多独特的优点,发展速度是很快的。1 仪器分辨率较高,通过二次电子像能够观察试样表面6nm左右的细节,采用LaB6电子枪,可以进一步提高到3nm。2 仪器放大倍数变化范围大,且能连续可调。因此可以根据需要选择大小不同的视场进行观察,同时在高放大倍
透射电子显微镜的简介
透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,简称TEM),可以看到在光学显微镜下无法看清的小于0.2um的细微结构,这些结构称为亚显微结构或超微结构。要想看清这些结构,就必须选择波长更短的光源,以提高显微镜的分辨率。1932年Ruska发明了以电子束为光源的透射