发布时间:2018-07-27 11:07 原文链接: 俄歇电子能谱分析的特点

1)分析层薄,0~3nm。AES的采样深度为1~2nm,比XPS(对无机物约2nm,对高聚物≤10nm)还要浅,更适合于表面元素定性和定量分析。

(2)分析元素广,除H和He外的所有元素,对轻元素敏感。

(3)分析区域小,≤50nm区域内成分变化的分析。由于电子束束斑非常小,AES具有很高的空间分辨率,可以进行扫描和在微区上进行元素的选点分析、线扫描分析和面分布分析。

(4)可获得元素化学态的信息。

(5)具有元素深度分布分析的能力,需配合离子束剥离技术。

(6)定量分析精度还不够高。

俄歇电子能谱现已发展成为表面元素定性、半定量分析、元素深度分布分析和微区分析的重要手段。在材料研究领域具有广泛的应用前景。


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