辽宁省微纳米技术及系统重点实验室

辽宁省微纳米技术及系统重点实验室成立于2005年。实验室已建设成了由中科院院士、精密机械与微纳机械专家、大连理工大学王立鼎教授担任实验室主任，集微机电系统、纳米技术、信息光电子技术等于一体的研究机构，是东北三省微机电系统研发联合体的牵头单位和大连理工大学“211 工程”、“985工程”重点建设的实验室之一。在学科上，实验室建立了“微机电工程”和“精密仪器及机械”两个二级学科博士点。

实验室依托“机械制造及其自动化”国家重点学科和“机械电子工程”辽宁省重点学科，以微型机械、微电子、光电子、纳米材料和微系统为研究重点，实现器件与系统的微型化和多功能化集成制造为目标，将实验室建设成为面向辽宁省基础工艺装备制造及信息、生物医学工程与化工产业，以微系统与微制造为特色的实验室。实验室有四个研究方向：生化微系统与精密仪器装备、微执行器和传感器、信息电子材料与器件以及纳米材料与器件。

实验室现有教职工33人，教授15人，副教授/副研究员8人，讲师3人，实验技术人员7人。其中，中科院院士1人，国家杰出青年科学基金获得者2名，高校青年教师奖获得者1人，教育部跨（新）世纪优秀人才支持计划获得者3人，辽宁省高等学校优秀人才支持计划获得者1人、辽宁省新世纪百千万人才工程获得者6人，辽宁省高等学校优秀青年骨干教师1人。

实验室具备950平方米的超净实验室（洁净度最高100级），有整套硅加工、LIGA加工和测试设备，多种精密机械特种加工设备及光学、机械测试仪器，主要设备有：

    一、测试设备

半导体参数测试仪，表面轮廓仪（膜厚、应力、粗糙度等），扫描探针显微镜（AFM+STM），扫描电镜，Olympus倒置显微镜，显微立体拍照及测量系统，激光诱导荧光检测系统，Mahr电感测微仪，微力测试系统。

    二、微加工工艺设备

氧化扩散炉，匀胶台，热板，曝光机，湿法腐蚀台，磁控射频溅射台，ICP，PECVD，MBE，MOCVD，真空蒸发台，精密电铸机，等离子去胶机，静电键合机，引线键合机，塑料微流控芯片自动成形与对准装配系统（热压机、键合机），半导体真空预处理器，快速硅片模具合金炉，晶体管自动控温管式炉，马弗炉，鼓风干燥箱，激光切割机，划片机，超声打孔机，去离子水系统，湿法工作台，石英管清洗机，超声清洗器。

   三、精密齿轮加工及测量设备

   齿轮磨床，超精密齿轮齿距误差测量仪，齿轮径向跳动检查仪，Mahr齿轮测量中心，双盘式渐开线检测仪，渐开线凸轮检测与加工装置。

获得中国机械工业科学技术二等奖2项，获得中国航空工业集团公司航空科学技术奖励二等奖1项。作为负责单位，承担国家支撑计划课题1项；国家973课题2项；国家863重大项目课题1项；国家自然科学基金重点项目1项；国家自然科学基金面上项目11项、青年基金9项。作为参加单位，承担国家支撑计划课题1项；国家973课题4项；国家自然科学基金重点项目2项；国家科技重大专项2项；军工项目4项。

目前在站博士后3人，在读博士、硕士研究生200余人，已经出站博士后3人，毕业博士、硕士研究生400余人。其中全国百优博士论文提名奖1人，辽宁省优秀博士论文1人、“上银优秀机械博士论文奖”金奖1人、硕士论文2人。

实验室积极开展对外交流，加强与企业的产学研合作，目前已与国外、国内(包括台湾和香港)17个研究机构和企业建立了合作关系，举办多次国内、国际学术会议。对外交流与合作单位主要有：美国明尼苏达大学MEMS研究所、英国克兰菲尔德大学微系统与纳米技术中心、台湾成功大学机械工程系、香港科技大学微系统研究所和电子系、清华大学摩擦学国家重点实验室、中南大学高性能复杂制造国家重点实验室、浙江大学微分析系统研究所、中科院上海微系统与信息技术研究所、中航工业西安飞行自动控制研究所、生物芯片北京国家工程中心（北京博奥生物有限责任公司）等。

地址：大连市高新园区凌工路2号大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室

电话：+86-411-84707713

E-mail: memslab@dlut.edu.cn

邮编：116024

传真：+86-411-84707940

网址: mnstlab.dlut.edu.cn