薄膜参考板
当我们测量很薄的硅晶圆或光学板层时可以使用我们的硅-二氧化硅参考晶圆。硅-二氧化硅阶梯形晶圆的表面直径是100mm，有5种不同厚度的校正镀层分布在上面从0-500nm，用于测量膜厚和不同基底的透射层是理想的参比标准。
步进板由很薄的二氧化硅片镀在硅片上所构成。校正数据—硅板经过椭偏仪校正—包含每一个镀层的信息如X点，Y点ψ, δ, 周期 (in mm) 及膜厚(in mm)。
