原子层沉积(ALD)是一种真正的"纳米"技术，以精确控制的方式沉积几个纳米的超薄薄膜。 原子层沉积的两个限定性特征--自约束的原子逐层生长和高度保形镀膜--给半导体工程，微机电系统和其他纳米技术应用提供了许多好处。
原子层沉积的优点
因为原子层沉积工艺在每个周期内精确地沉积一个原子层，所以能够在纳米尺度上对沉积工艺进行完全控制
即使在非常高的纵横比和复杂结构的条件下，保形镀膜也能够实现
可实现无针孔和颗粒的沉积
很多种类的材料都可以采用原子层沉积:
氧化物：包括HfO2, HfSiO, Al2O3, Ta2O5, TiO2, La2O3, SiO2, ZnO
氮化物，包括TiN, TaN, AlN, SiNx, HfN
金属，包括Ru, Cu, W, Mo
原子层沉积周期
1. TMA源
远程等离子体原子层沉积的优点
除了具有热原子层沉积的优点，远程等离子体允许更广泛地选择用作源的化学品，同时还提高薄膜质量:
等离子体能够实现低温的原子层沉积工艺，远程源能维持低的等离子体损伤
采用氢气等离子的更有效的金属源，而不是复杂的加热的源
消除了水作为一种源的需要，减少了每个原子层沉积周期之间的清洗次数--尤其是在低温条件下。
通过进一步的去除杂质来获得更高质量的薄膜，从而获得更低的电阻率、更高的密度、等。
能够控制化学计量
等离子体表面处理
对于某些材料可以采用等离子体清洗反应室
2. TMA清洗
原子层沉积的应用
包括:
高K值的栅极氧化物
储能电容器介质
用于有机发光二极管和聚合物的无针孔的钝化层
单晶硅太阳能电池的钝化
用于Cu互联的高纵横比的扩散阻挡层
黏合层
有机半导体
用于微流体和微机电系统应用的高保形镀膜
其他纳米技术和纳米电子应用
纳米孔结构的镀膜
燃料电池，如催化层的单种技术镀膜
生物微机电系统
3. O2等离子体
4.短时间的后期O2等离子体清洗
牛津仪器的原子层沉积工具
原子层沉积（ALD）设备项目所在采购意向：南京大学企业信息2023年7至9月政府采购意向采购单位：南京大学企业信息采购项目名称：原子层沉积（ALD）设备预算金额：700.000000万元(人民币)采购......
原子层沉积（ALD）设备项目所在采购意向：南京大学企业信息2023年7至9月政府采购意向采购单位：南京大学企业信息采购项目名称：原子层沉积（ALD）设备预算金额：700.000000万元(人民币)采购......
中国科学院南海海洋研究所边缘海与大洋地质重点实验室（OMG）研究员李伟团队成员赵中伟助理研究员，联合英国曼彻斯特大学及葡萄牙海军水文研究所等机构科研人员，在极端风浪影响下海岛陆架区碳酸盐沉积物的沉积动......
过去2000年来地球气候系统经历了由单一自然变化到自然和人类活动共同作用的过程。定量化重建这一阶段的气候变化序列，有助于实现器测资料与古气候记录的对接，从而进一步理解自然因素和人为因素对气候系统的影响......
近日，中国科学院南海海洋研究所博士研究生仲伟茂及其团队与中科院华南植物园、广东省微生物研究所以及广州中医药大学等科研人员合作，在南海沉积环境来源真菌活性代谢产物的研究中取得新进展，相关成果发表在Org......
美国圣地亚哥大学最新研究称，即使人们开始戒烟，香烟中的致癌物质仍会嵌入室内沙、墙壁和地毯很长时间，使家人暴露在三手烟环境之中。腾讯科学讯据英国每日邮报报道，目前，最新一项研究表明，香烟烟雾可在室内逗留......
前寒武纪条带状铁建造(BIF)不仅提供了丰富的铁矿石资源，而且记录了早期地球和海洋演化的重要信息。华北克拉通是世界上BIF的重要产区之一，主要集中于鞍山-本溪、冀东以及山西五台-吕梁等地区。国内绝大部......
近年来，随着环境中多环芳烃（PAHs）污染的加剧，我国湖泊沉积物中PAHs污染状况仍在加重，污染程度呈上升发展的态势，且有毒有机污染物的污染会对水生态系统产生负面影响，甚至严重威胁人类的身体健康。因此......
研究人员开发了一种新的激光沉积技术，该技术沉积获得的高温合金裂纹少，而且具有良好的力学性能。合金通常含有两种或两种以上的金属元素。这些元素共同作用使合金材料具有良好的综合性能。例如，将金属元素Cr、C......
资料图片：采用RD-180发动机的美国“阿特拉斯5”火箭据中国国防科技信息网报道，美国空军研究实验室的科学家RustyBlanski博士与诺贝尔奖得主——加州理工学院的罗伯特•格拉布博士合作开发出火箭......