能谱仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。
原理
各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E，能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一 [1] 特点来进行成分分析的。
性能指标
固体角：决定了信号量的大小，该角度越大越好
检出角：理论上该角度越大越好
探头：新型硅漂移探测器（SDD）逐步取代锂硅Si(Li)探测器
能量分辨力：最高级别的能谱仪分辨力可达121eV
探测元素范围：Be4～U92
