X光电子能谱仪是一种用于能源科学技术领域的分析仪器，于2010年10月1日启用。
技术指标
最佳能量分辨率 < 30 μm，最佳能量分辨率 < 0.5 eV FWHM，C1s能量分辨率< 0.85 eV，离子源能量范围：100 eV至3 keV，最大束流：4 μA，在烘烤完成24小时后，分析室最佳真空：5×10-9 mbar。
主要功能
测量固体材料表面元素种类、含量及价态，以及样品离子溅射后元素分析。
