发布时间:2013-06-03 00:00 原文链接: 奥林巴斯LEXTOLS4500纳米检测显微镜

奥林巴斯LEXT OLS4500 纳米检测显微镜
奥林巴斯LEXT OLS4500 纳米检测显微镜
奥林巴斯OLYMPUS
奥林巴斯


  LEXT OLS4500纳米检测显微镜的特性

  1. 高分辨率观察和更大范围的高准确性测量

  由于大范围上的测量通常要使用低放大倍率,因此此类图像的清晰范围有个限制。为解决这个问题,新的显微镜可以实施高分辨率观察,并使用拼接功能在大范围上实施高精确性测量,即将625幅不同放大倍率的图像组合在一起,从而可以用高分辨率来识别小的区域。而过去的大多数激光显微镜一直用于研发,及其相关领域,以观察很小的样本,以高精确性来观察很大的范围的能力也在工业中开启了显微镜作为质量控制工具的先河。

  2. 设计易于新手操作,包括自动3D图像获取功能

  传统上3D成像需要复杂的设定(亮度和上下限)。采用新的智能扫描模式后,用户一键单击即可获取3D图像。该功能设计允许即使是初次使用者,获取的结果也等同于经验丰富的操作者。

  3. 3D图像获取的速度大约是现有奥林巴斯各种型号的两倍

  新型的Ultra-Fast型号获取3D图像的速度大约是现有Fast型号的两倍,比Fine型号快九倍。加速了样品观察和测量,大幅提高了效率。

  4. 单一器械组合了光学显微镜、激光显微镜和探针显微镜*5功能

  SPM技术与LEXT OLS4100功能的组合意味着可以用很大范围的放大倍率来进行观察和测量,从几十倍到100万倍。也就是说可以将该显微镜用于3D测量,从微米范围里相对比较大的样本到纳米尺寸的样本。此外,使用光学或激光显微镜功能,该显微镜可以快速而准确地切换到超高放大倍率SPM观察(大约100万倍),而不会丢失要观察的位置的踪迹。比如,在研究所里对新材料实施形状测量时,可以实施各种类型的观察,而不用变换样本,并且能够以zei适合的放大倍率进行测量。

  *1: 反复的测量值之间的偏差程度。计量学里的技术词汇。

  *2: 测量值与其真实值的差距。计量学里的技术词汇。

  *3: 通过探针机械式地在样本表面移动的纳米级别的观察和测量技术。

  *4: 1纳米是十亿分之一米。

  *5: 扫描探针显微镜将探针靠近样本表面,实现纳米级的观察和测量。




  LEXT OLS4500 纳米检测显微镜功能上的新特性:

  单一扫描区域里的高分辨率观察和高精确性测量

  设计便于新手操作,包括自动3D图像获取功能

  3D图像获取速度大约是现有奥林巴斯各型产品的两倍

  组合了光学显微镜、激光显微镜和探针显微镜功能的一体机


Main Unit

LSM SectionLight Source/Detector

Light Source: 405 nm Semiconductor Laser, Detector: Photomultiplier

Total Magnification

108x – 17,280x

Zoom

Optical Zoom: 1x – 8x

MeasurementPlanar MeasurementRepeatability100x : 3σn-1=0.02μm、50x:3σn-1=0.04μm、20x:3σn-1=0.1μm



AccuracyMeasurement Value ±2%


Height MeasurementSystemRevolving Nosepiece Vertical-Drive System



Stroke10mm



Scale Resolution0.8nm



Movement Resolution10nm



Display Resolution1nm



Repeatability100x :σn-1= 0.012μm、50x:σn-1=0.012μm、20x:σn-1=0.04μm



Accuracy0.2+L/100 μm or Less (L=Measuring Length)

Color Observation SectionLight Source/Detector
Light Source: White LED, Detector: 1/1.8-Inch 2-Megapixel Single-Panel CCD


Zoom
Digital Zoom: 1x – 8x

Revolving Nosepiece

Motorized BF Sextuple Revolving Nosepiece

Differential Interference Contrast Unit

Differential Interference Contrast Slider: U-DICR, Polarizing Plate Unit Built-In

Objective Lens

BF Plan Semi-apochromat 5x, LEXT-Dedicated Plan Apochromat 20x, 50x, 100x

Z Focusing Unit Stroke

76 mm

XY Stage

100 x 100 mm (Motorized Stage)
SPM SectionMeasurement mode

Contact mode, Dynamic mode, Phase mode, Current mode*, Surface Potential (KFM) mode*, Magnetic Force (MFM) mode*

Displacement detection

Optical lever system

Light source

659 nm Semiconductor Laser

Detector

Photodetector

Max. scanning range

X-Y: Max. 30μm x 30μm、Z: Max. 4.6μm

Cantilever mount

One-touch mount using cassette-type cantilever holder. With the pre-alignment using the dedicated special tool for cantilever mounting, optical alignment is not required when replacing the cantilever
SystemTotal weight

Approx. 440 kg (excluding table)

Input rating

100 - 120 V/220 - 240V, 600VA, 50/60 Hz

* Optional

Objective Lens

ModelMagnificationField of ViewWorking Distance (WD)Numerical Aperture (NA)
MPLFLN5X108-864X2,560-320μm20.0mm0.15
MPLAPON20XLEXT432-3,456X640-80μm1.0mm0.60
MPLAPON50XLEXT1,080-8,640X256-32μm0.35mm0.95
MPLAPON100XLEXT2,160-17,280X128-16μm0.35mm0.95


Cantilever

Application (Usage)

Product NameTypeChip NumberCantileverProbeMaterialCoating Metal
Resonance Frequency (kHz)Spring Constant (N/m)Height (μm)Radius (nm)Probe / LeverProbe side / Reflex side
Dynamic mode/ Phase ModeOMCL-AC160TS-C3Standard silicon2430026147Si / SiNon / Al
OMCL-AC240TS-C3Medium-soft silicon24702147Si / SiNon / Al
Contact ModeOMCL-TR800PSA-1Standard silicon nitride3473 / 240.57 / 0.152.97SiN / SiNNon / Au
Surface potential modeOMCL-AC240TM-B3Silicon for electrical measurement187021415Si / SiPt/Al

• The dimensions and mechanical properties shown above are typical values.

• Pay special attention as cantilevers are very small and subject to danger of getting could get into your eyes or be accidentally ingested. 
• For information on using cantilevers for Current mode and Magnetic Force mode, please contact your Olympus dealer. 
• In addition to the cantilevers shown here, a wide variety of cantilevers are available from Olympus. Please contact your Olympus dealer for details.quest a Demo

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