吉时利4200ASCS／4200SCS型半导体特性分析系统

吉时利4200A-SCS/4200-SCS型半导体特性分析系统
吉时利Keithley Tektronix
Tektronix

亲眼见证创新！ 4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪，可以同步查看电流电压 (I-V)、电容电压 (C-V)和超快速脉冲式 I-V 特性。

作为性能zei高的参数分析仪，4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。

4200A-SCS Clarius^TM 基于 GUI 的软件提供了清楚的、不折不扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时可以投入使用的应用测试，Clarius Software 可以更深入地挖掘研究过程，快速而又满怀信心。

4200A-SCS 参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配置，不管是现在还是未来，都可以随时对系统进行升级。通过4200A-SCS 参数分析仪，通往发现之路现在变得异常简便。

测试速度提高两倍，助力探索创新

4200A-SCS 是一个模块化、可定制、高度一体化的参数分析仪，可同时进行电流-电压 (I-V)、电容-电压 (C-V) 和超快脉冲 I-V 电学测试。使用其可选的 4200A-CVIV 多通道开关模块，可轻松地在 I-V 和 C-V 测量之间切换，而无需重新布线或抬起探针。4200A-SCS 是zei高性能的分析仪，可加快用于材料研究、半导体器件设计、工艺开发或生产的复杂器件的测试。

特点	优势
将源测量单元、C-V 单元和超快脉冲 I-V 单元无缝结合的一体化系统	快速、清晰和准确地执行 I-V 特性分析、交流阻抗测量、波形捕获和瞬态 I-V 测量
Clarius™ 基于 GUI 的软件，支持触摸或鼠标控制	高级测试定义、参数分析、图形绘制和自动化功能，实现清晰、卓越的测量和分析
内置上下文相关的测量视频和 450 多种应用测试	快速启动测试及提供测量帮助和故障排除向导
I-V 源测量单元 (SMU)	±210 V / 100 mA 或 ±210 V / 1 A 模块，100 fA 测量分辨率，以及带可选前放的 0.1 fA 测量分辨率
C-V 多频率电容单元 (CVU)	交流阻抗测量（C-V、C-f、C-t），1 kHz – 10 MHz 频率范围
I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)	在 I-V 和 C-V 测量之间轻松切换或将 C-V 测量移至任何终端，而无需重新布线或抬起探针
脉冲式 I-V 超快脉冲测量单元 (PMU)	两个独立或同步的高速脉冲式 I-V 源和测量通道；200 MSa/s，5 ns 采样率；利用可选的前放将电流灵敏度扩大到几十皮安
高电压脉冲发生器单元 (PGU)	两通道高速脉冲电压源；±40 V (80 V p-p)，±800 mA
可完全定制和升级	现在或以后均可根据需要随时添加模块

主要性能指标

I-V 源测量单元 (SMU)

● ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块

● 100 fA 测量分辨率

● 选配前端放大器提供了 0.1 fA 测量分辨率

● 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量

● 四象限操作

● 2 线或 4 线连接

C-V 多频率电容单元 (CVU)

● AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)

● 1 kHz - 10 MHz 频率范围

● ± 30 V (60 V 差分 ) 内置 DC 偏置源，可以扩展到 ± 210 V(420 V 差分 )

● 选配 CVIV 多功能开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换

脉冲式 I-V 超快速脉冲测量单元 (PMU)

● 两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道

● 200 MSa/s，5 ns 采样率

● ±40 V (80 V p-p)，±800 mA

● 瞬态波形捕获模式

● 任意波形发生器 Segment ARB® 模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率

高压脉冲发生器单元 (PGU)

● 两个高速脉冲电压源通道

● ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA

● 任意波形发生器 Segment ARB® 模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率

I-V/C-V 多开关模块 (CVIV)

● 在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换，无需重新布线或抬起探针

● 把 C-V 测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针远程前端放大器 / 开关模块 (RPM)

● 在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换

● 把 4225-PMU 的电流灵敏度扩展到数十皮安

● 降低电缆电容效应