扫描电子显微镜（SEM）发明于1965年，是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态。扫描电镜（SEM）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
从原理上讲，扫描电镜是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。
扫描电镜具有以下优点：
①有较高的放大倍数，20-200000倍之间连续可调；
②有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；
③试样制备简单。
目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析（即SEM-EDS）。
扫描电镜可以直接观察观察纳米材料，进行材料断口的分析，直接观察原始表面等。
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