原子层沉积
原子层沉积(ALD)是一种真正的"纳米"技术，以精确控制的方式沉积几个纳米的超薄薄膜。 原子层沉积的两个限定性特征--自约束的原子逐层生长和高度保形镀膜--给半导体工程，微机电系统和其他纳米技术应用提供了许多好处。 原子层沉积的优点 因为原子层沉积工艺在每个周期内精确地沉积一个原子层，所以能够在纳米尺度上对沉积工艺进行完全控制 即使在非常高的纵横比和复杂结构的条件下，保形镀膜也能够实现 可实现无针孔和颗粒的沉积 很多种类的材料都可以采用原子层沉积: 氧化物：包括HfO2, HfSiO, Al2O3, Ta2O5, TiO2, La2O3, SiO2, ZnO 氮化物，包括TiN, TaN, AlN, SiNx, HfN 金属，包括Ru, Cu, W, Mo 原子层沉积周期 1. TMA源 远程等离子体原子层沉积的优点 除了具有热原子层沉积的优点，远程等离子......阅读全文
原子层沉积
原子层沉积(ALD)是一种真正的"纳米"技术，以精确控制的方式沉积几个纳米的超薄薄膜。 原子层沉积的两个限定性特征--自约束的原子逐层生长和高度保形镀膜--给半导体工程，微机电系统和其他纳米技术应用提供了许多好处。 原子层沉积的优点 因为原子层沉积工艺在每个周期内精确地沉积一个原子层，所以能
原子层沉积的研究
原子层沉积（ALD）的自限制性和互补性致使该技术对薄膜的成份和厚度具有出色的控制能力，所制备的薄膜保形性好、纯度高且均匀，因而引起了人们广泛的关注。原子尺度上的ALD过程仿真对深入了解沉积机理，改进和优化薄膜生长工艺，提高薄膜质量，改善薄膜性质具有重要意义。在深入了解ALD的工艺特点及工艺过程后，针
原子层沉积系统（ALD）的介绍
是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处。但在原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的，这种方式使每次反应只沉积一层原子。
原子层沉积系统（ALD）的应用
原子层沉积技术由于其沉积参数的高度可控型（厚度、成份和结构） 原子层沉积（Atomic Layer Deposition，ALD），最初称为原子层外延（Atomic Layer Epitaxy，ALE），也称为原子层化学气相沉积（Atomic Layer Chemical Vapor Depo
原子层沉积系统（ALD）的原理
原子层沉积是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种方法（技术）。当前驱体达到沉积基体表面，它们会在其表面化学吸附并发生表面反应。在前驱体脉冲之间需要用惰性气体对原子层沉积反应器进行清洗。由此可知沉积反应前驱体物质能否在被沉积材料表面化学吸附是实现原子层
对于原子层沉积系统（ALD）的研究
原子层沉积（ALD）的自限制性和互补性致使该技术对薄膜的成份和厚度具有出色的控制能力，所制备的薄膜保形性好、纯度高且均匀，因而引起了人们广泛的关注。原子尺度上的ALD过程仿真对深入了解沉积机理，改进和优化薄膜生长工艺，提高薄膜质量，改善薄膜性质具有重要意义。在深入了解ALD的工艺特点及工艺过程后
原子层沉积系统（ALD）－跟热蒸镀沉积有什么区别？
原子层沉积是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种方法（技术）。当前驱体达到沉积基体表面，它们会在其表面化学吸附并发生表面反应。在前驱体脉冲之间需要用惰性气体对原子层沉积反应器进行清洗。由此可知沉积反应前驱体物质能否在被沉积材料表面化学吸附是实现原子层
芬兰PICOSUN公司将在波士顿举行原子层沉积系统展览
欢迎您参加2011年6月27-29在波士顿举行的芬兰PICOSUN公司的原子层沉积系统展览。具体内容如下： Thanks to our excellent ALD systems, we are happy report profitable 100% growth during th
1185万!－南京大学采购非靶向筛选质谱仪和原子层沉积设备
原子层沉积（ALD）设备项目所在采购意向：南京大学企业信息2023年7至9月政府采购意向采购单位：南京大学企业信息采购项目名称：原子层沉积（ALD）设备预算金额：700.000000万元(人民币)采购品目：A02052402 真空应用设备采购需求概况 ：南京大学企业信息拟采购原子层沉积（ALD）设备
原子层沉积技术开发者获2018年“千年技术奖”
芬兰技术学会２２日宣布，将２０１８年“千年技术奖”授予芬兰物理学家图奥莫·松托拉，以表彰他研发了在信息技术领域发挥重要作用的原子层沉积技术。 原子层沉积技术可以将物质以单原子膜形式一层一层镀在基底表面，在许多高科技领域发挥着重要作用。目前，所有的计算机和智能手机都使用以原子层沉积技术制成的
山西煤化所原子层沉积设计新型纳米催化剂研究获进展
氢能作为一种环境友好的清洁能源被认为是可替代化石燃料的重要能源。光催化分解水制氢是一种非常有前景的绿色制氢途径。影响光催化制氢效率的一个主要因素是电子和空穴的分离效率低。在半导体材料表面负载产氢或/和产氧助剂(例如，Pt，Pd，CoOx，NiO)可有效提高电子和空穴的分离效率，尤其是含双助剂的光
清华大学深圳国际研究生院330.00万元采购原子层沉积
项目概况 高通量原子层沉积仪的潜在投标人应在（本公告附件中）获取招标文件，并于2023年12月8日9：30（北京时间）前网上递交投标文件。 一、项目基本情况 （一）项目编号：SZDL2023002328（CLF0123SZ21ZC72） （二）项目名称：高通量原子层沉积仪 （三）预算金
ald－工艺－怎么保证－单个原子沉积
原子层沉积（Atomic layer deposition)是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处。但在原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的，这种方式使每次反应只沉积一层原子。单原子层沉积（atomic layer
水合物沉积层地球物理响应特征研究获进展
8月19日，记者中国地质调查局广州海洋地质调查局获悉，该局天然气水合物工程技术中心勘查团队基于我国南海神狐海域水合物勘查钻探航次获取的岩心样品、测井和三维地震等资料，深入研究水合物沉积层的测井曲线响应、地震反射及气体运移等特征，发现了水合物新的发育和运移形式。相关研究发表于Frontiers in
我国成功研制一维铬原子沉积纳米光栅样板
由中国计量科学研究院、同济大学和国防科技大学联合组成的研究小组，经过3年科技攻关，在国内首次成功研制出一维铬原子沉积纳米光栅样板。日前，该课题通过了国家质检总局科技司组织的验收鉴定。 近年来，我国纳米技术产业发展迅速。与此同时，纳米产业对计量基标准的需求也日益突显。我国每年进口的近万
石墨烯原子级层间剪切作用研究获进展
近日，中国科学院国家纳米科学中心纳米系统与多级次制造重点实验室研究员张忠、刘璐琪和清华大学教授徐志平合作，设计和发展了微纳鼓泡力学实验技术，精确表征了双层石墨烯层间的范德华剪切作用，相关研究成果Measuring Interlayer Shear Stress in Bilayer Graphe
研究发现基于单原子层的新型单光子源
中国科学技术大学教授潘建伟、陆朝阳等与来自华盛顿大学的许晓栋、香港大学的姚望合作，首次在类石墨烯单原子层半导体材料中发现非经典单光子发射器，从而将量子光学和二维材料这两个重要领域连接起来，打开了一条通往新型光量子器件的道路。相关成果日前在线发表于《自然—纳米技术》杂志。同期“新闻视角”栏目撰文评
美首次研制出稳定的单原子层锗
据物理学家组织网4月10日报道，60年前，锗被用来做成了第一块晶体管，但随后被硅取代，现在，美国科学家首次成功制造出了单原子厚度的锗——单锗(germanane)，其电子迁移率是硅的10倍，因而有望取代硅用于制造更好的晶体管。研究发表在最新一期的美国化学会《纳米》杂志上。 单锗的结构同由单
原子层组装技术实现多重纳米结构的精准调控加工
利用各种纳米加工技术制备的纳米结构和器件在微纳光子学、微纳电子学、生物学及纳米能源等领域发挥了重要作用，但同时也对纳米加工的尺寸、形状、空间排列和组装等工艺控制提出了越来越高的要求。现有的传统纳米加工技术（如电子束曝光、聚焦离子束直写、阳极氧化和自组装技术）通常在实现无序、杂化、不规则及变径等特
原子吸收法测定土壤和沉积物汞的测定方法原理
样品在高温催化剂的条件下,各形态汞被还原为单质汞,随载气进入混合器被金汞齐选择性吸附,其他分解产物随载气排出,混合器快速加温,将汞齐吸附的汞解吸,形成汞蒸气,汞蒸气随载气进入原子吸收光谱仪,在253.7nm下测定其吸光率,吸光率与汞含量呈函数关系。
其他薄膜沉积设备的薄膜沉积技术分类
薄膜沉积技术可以分为化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）。对于CVD工艺，这包括原子层沉积（ALD）和等离子体增强化学气相沉积（PECVD）。PVD沉积技术包括溅射，电子束和热蒸发。CVD工艺包括使用等离子体将源材料与一种或多种挥发性前驱物混合以化学相互作用并使源材料分解。该工艺使用较
中国科大等发现基于单原子层的新型单光子源
中国科学技术大学潘建伟、陆朝阳等与华盛顿大学许晓栋、香港大学姚望合作，在国际上首次在类石墨烯单原子层半导体材料中发现非经典单光子发射，连接了量子光学和二维材料这两个重要领域，打开了一条通往新型光量子器件的道路。该工作于5月5日在线发表在《自然·纳米技术》上。同期的“新闻视角”栏目撰文评论该工作“
原子吸收法测定土壤和沉积物汞的测定的样品处理
样品土壤样品采集和保存参照HJ/T 166—2004执行,沉积物样品采集和保存参照GB 17378.3—2007执行。样品的风干和筛分参照HJ/T 166—2004及GB 17378.5—2007相关部分进行操作,所有样品均应过200目筛。
原子吸收法测定土壤和沉积物汞的测定的分析步骤
分析步骤(一)标准曲线绘制取汞标准贮备液逐级稀释,配置高、低两条校准曲线。低浓度校准曲线:2.50ng、3.75ng、5.00ng、6.25ng、10.00ng、15.00ng、20.00ng、25.00ng、30.00ng、40.00ng;高浓度组50.00ng、75.00ng、100.00ng、
原子吸收法测定土壤和沉积物汞的测定方法干扰因素
千扰及消除(1)在汞污染的环境中操作,仪器的背景值会明显地增加。(2)当一个高浓度汞样品(大于等于400ng)在一个低浓度(小于等于25ng)汞样品前进行分析时,将会产生记忆效应。通常批量分析样品时,先分析低浓度样品,否则在分析高浓度样品后,分析3%硝酸溶液,当其分析结果低于0.10ng时,再进行下
二维硒原子层中的力学各向异性被揭示
近日，哈尔滨工业大学航天学院力学学科王超副教授与赫晓东教授采用国际领先的原位力学测量技术，揭示了原子级别厚度硒（Se）二维材料的面内各向异性拉伸力学行为，并首次量化了硒（Se）原子链之间的范德华相互作用强度。该项成果为设计新型多功能二维材料奠定了实验基础。相关论文以“二维硒原子层中的力学各向异性
科研人员发现氧掺杂可以引发层间Pt原子的重构
原文地址：http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2023/8/506770.shtm近日，来自西北工业大学和西安交通大学的学者使用具有明确晶体结构和原子厚度的二维 PtTe2 范德华材料作为模型催化剂，观察到适度的煅烧策略可以促进二维晶体 PtTe2 纳米片（c-Pt
原子吸收法测定土壤和沉积物汞的测定方法适用范围
适用范围本节规定了测定土壤、沉积物中汞的催化热解-原子吸收方法。此方法适用于土壤、沉积物中汞的测定。当取样量为1.000g时,本方法检出限为2x10-5mg/kg,测定下限为8×10-5mg/kg,测定范围为8×10-5~0.6mg/kg。
原子吸收法测定土壤和沉积物汞的测定所需仪器和设备
仪器和设备实验所用的玻璃器皿均需用(1+1)硝酸溶液浸泡24h后,依次用自来水、蒸馏水洗净。(1)测汞仪:自动测汞仪,具有固体自动进样系统,催化、热分解炉,原子吸收光谱仪,金汞齐吸附装置及数据处理系统。(2)天平:万分之一。
原子吸收法测定土壤和沉积物汞的测定所需试剂和材料
除非另有说明,分析时均使用符合国家标准的分析纯试剂和蒸馏水。(1)高纯氧气(O2):纯度要求99.999%以上在气源与测汞仪器之间安装一个网孔过滤器,以防止汞蒸气污染。(2)重铬酸钾(K2Cr2O7):优级纯。(3)硝酸(HNO3):ρ=1.42g/ml。(4)氯化汞(HgCl2):分析纯,在硅胶(