上海微系统所等晶圆级高精度瞬态生物光刻研究获进展

　　近日，中国科学院上海微系统所传感技术国家重点实验室陶虎课题组，联合复旦大学附属华山医院神经外科、江苏科技大学蚕业研究所等研究机构的科研人员，开发出对紫外光敏感且分子量均一的蚕丝蛋白轻链溶液，并基于该溶液，结合传统紫外光刻工艺，实现了晶圆级高精度绿色瞬态生物光刻。相关成果以Precise Protein Photolithography (P3): High Performance Biopatterning Using Silk Fibroin Light Chain as the Resist为题发表在Advanced Science上。

　　蚕丝蛋白源自于天然蚕茧，是一种力学性能优异、生物兼容性良好的天然生物材料，被广泛应用于细胞培养、组织工程等生物高新领域。陶虎课题组首创地将丝素蛋白轻链从蚕丝蛋白中分离，并通过化学修饰使其对紫外光敏感，解决长久以来生物蛋白材料（天然材料分子量分布不均）作为微纳加工材料可靠性和重复性不高的问题，达到硅片级大规模高精度绿色生物光刻，可实现瞬态生物材料的图案化和可控溶解，成功实现针对人胎脑神经干细胞进行高精度可定制图形化分离培养。

　　该项工作得到中组部“青年千人”、科技部重点研发计划、国家自然科学基金委、上海市科委国际合作项目等的资助。