德祥：德国Thermconcept高温炉半导体行业应用

——石英玻璃析晶性能试验方法的最佳选择

　　析晶性能试验对于天然水晶或天然高纯二氧化硅、硅卤化物等半导体行业的原料是必不可少的性能测试，马弗炉、中温炉、高温炉作为其检测分析的行业标准推荐设备而必不可少。

　　半导体用透明石英玻璃管

　　《石英玻璃析晶性能试验方法》

　　A3试验设备

　　A3.1电热干燥箱。

　　A3.2立式高温二硅化钼电炉。

　　A3.2.1电炉必须具有双层炉膛，内炉膛为高纯三氧化二铝材料制成，炉内样品上放有石英垫。

　　A3.2.2电炉温度有P.I.D自动控制，精度为±1℃，24h内稳定在±2.5℃。炉温均匀，梯度不大于±10℃。

　　A3.3测量显微镜：测量精度为5μm，放大倍数为100。

　　德国Thermconcept公司总部设在德国不莱梅, 拥有丰富的研发、设计和生产的各种马弗炉和加热炉系统的经验，加热炉的温度范围从50℃到2000℃，能够满足半导体行业绝大多数用户的应用需求。

　　HTL系列高温炉

　　·不锈钢外壳，防腐蚀

　　·双层箱式结构，外壳温度低

　　·高品质加热元件采用二硅化钼材料

　　·炉体隔热层由氧化铝陶瓷纤维制成，低热损失

　　·极佳的温度均匀性

　　·快速升温或降温

　　·手动平行门，避免与高温面接触

　　·半导体控制器，控温精度高

　　·采用长寿命B型热电偶

　　·后墙连有排气管

　　·配有Eurotherm 3208控制器：操作简单，控温精度高，1个完整升温程序，包括8个可编程独立升温段。

　　HTK系列高温炉

　　·内衬、底部和前部都采用不锈钢材料, 耐腐蚀

　　·双层箱体结构，具有强制冷却功能，因而外壳温度非常低

　　·内衬、底部和前部都采用不锈钢材料

　　·排气管采用氧化铝材质(Ø 25/18 mm)

　　·采用特殊材料制成的绝缘内腔, 稳定性好,使用寿命长

　　·高品质加热元件MoSi2, 安装在内腔的两侧, 自由热辐射, 每个加热元件能够单独更换

　　·配有平行导向门, 容易装载样品, 且使操作者免受热侵害

　　·B型热电偶

　　·特殊的Labyrinth系统, 密封性极佳

　　·配有PID可编程程序控制器Eurotherm 3508, 可设定5个程序, 500个程序段, 5位字符显示屏, 操作简单, 控温精度不超过+/- 2 K

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