通常包括溶液法、蒸镀法以及液相/气相混合沉积方法等。
其中,溶液法由于操作简单、成本低廉得到更多的关注。在溶液法中,采用两步顺序沉积法能够简便的实现致密的钙钛矿薄膜,为高性能的钙钛矿太阳能电池奠定了基础。在传统的两步溶液法中,碘化铅首先被沉积在介孔氧化物骨架上,而后再将基片浸入到甲胺碘溶液中。
甲胺碘溶液通过骨架上的孔洞向薄膜中渗透,与碘化铅充分接触和反应,从而生成钙钛矿吸光层。
然而,在平面异质结钙钛矿太阳能电池中,由于没有使用介孔氧化物骨架,碘化铅会形成一层致密的薄膜,如果再采用常规的浸泡甲胺碘溶液的薄膜生长方法,那么只有表层的碘化铅能够与甲胺碘接触反应,仅在表层生成一薄层钙钛矿层,这就造成薄膜中含有大量的碘化铅残余,由此导致活性层吸光不够、电荷的传输电阻较大,因而器件性能会比较低。
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