重大科学仪器开发专项——微纳米测量仪研发获进展

　　 日前，由上海市计量测试技术研究院全资子公司上海计测工程设备监理有限公司牵头的国家重大科学仪器设备开发专项——“跨尺度微纳米测量仪的开发和应用（2014YQ090709）”2016年度会议在该院召开。会议由国家质检总局科技司副处长谢正文主持，国家质检总局科技司王越薇副司长、国家科技部资配司钱小勇处长、上海市科委基地处过浩敏处长、张露璐主管、上海市质监局陆敏总工、朱晨辉处长、金国藩院士、庄松林院士、李同保院士、上海市计量测试技术研究院邵力院长以及项目组全体成员出席了会议。

　　会上，谢正文副处长通报了国家重大科学仪器设备开发专项2016年度项目中期评估结果。此次共有29个项目参加评估，本项目的中期评估综合等第为A类，成为仅有的5个A类项目之一。与会的领导和专家都对本项目获得如此高的评分表示祝贺！

　　项目负责人邵力向与会领导和专家介绍项目进展、展示项目成果，并汇报下一阶段工作计划与系列样机规划。本项目已研制高精度跨尺度微纳米测量仪一台、通用型跨尺度微纳米测量仪两台（装配中），性能指标及相关参数均符合科技部立项要求。并且，本项目研发仪器已在纳米标准样品的制备及检测、超精密加工材料的微介观结构检测、IC晶圆的检测、环境颗粒物质的检测等方面展开应用。

　　参会领导、专家组、监理组和用户委员会成员都对本项目的发展及应用前景表示乐观，建议加强项目后续工程化、产业化工作，进一步提高仪器的稳定性和可靠性，集中1-2个较好领域研发专业化的应用软件。

　　王越薇副司长提出，要重视知识产权的问题，通过深入挖掘真正的需求要害点、后期引入专业的市场营销人才等手段，使中国制造的高端仪器真正走向市场。