高密度等离子体源装置通过验收

发布时间：2016-12-23 15:13 原文链接：高密度等离子体源装置通过验收

　　近日，由等离子体所研制中心承担的高密度等离子体源装置通过专家组的验收。该项装置的成功研制和通过验收标志着研制中心在中型及小型等离子体装置研制领域又前进了一大步。

　　高密度等离子体源是一台可以产生和维持一直线段稳态等离子体的装置，包含有真空系统、磁约束系统、等离子体源、真空系统、等离子体诊断系统、电源和其他辅助系统组成，可以通过探针、样品台等可研究等离子体与材料相互作用的基础问题，如材料的物理溅射和化学刻蚀、材料中氢和氦滞留/起泡问题、等离子体破裂对材料的影响模拟等，也可以通过窗口输入微波，进行等离子体与波相互作用的研究。

　　此次验收的高密度等离子体源是目前国内最大的直线等离子体装置，其真空室直径500mm，长度6米，并且由于其直线装置的独特结构，后期可以根据物理实验的需求在此基础上延长。在研制过程中，研制中心克服了多磁场不易耦合的问题，与等离子体所十二室参建人员一起找到了磁场共振位置。其放电等离子体密度在真空室中心磁镜最弱处，等离子体密度可达1016m-3_1017m-3，并且磁场位形可根据实验需要进行调整，实现4：1的磁镜比，单次实验可稳定连续工作10小时以上。

　　此外，为了便于未来物理实验的需求，研制中心在设计时采取了模块化拆装的方式，避免了每一次试验的破坏性拆装。同时，在充分考虑后续实验需求的基础上，特别为装置预留了匹配13.56MHz的射频加热位置。

　　所党委书记张晓东表示，希望研制中心凭借该装置研制的成功经验以及以往在直线等离子研制领域积累的技术力量，实现直线等离子体源技术领域新的突破。