电子束曝光系统
电子束曝光是利用电子束在涂有感光胶的晶片上直接描画或投影复印图形的技术，它的特点是分辨率高（极限分辨率可达到3～8μm）、图形产生与修改容易、制作周期短。它可分为扫描曝光和投影曝光两大类，其中扫描曝光系统是电子束在工件面上扫描直接产生图形，分辨率高，生产率低。投影曝光系统实为电子束图形复印系统，它将掩模图形产生的电子像按原尺寸或缩小后复印到工件上，因此不仅保持了高分辨率，而且提高了生产率。......阅读全文
电子束曝光系统
电子束曝光是利用电子束在涂有感光胶的晶片上直接描画或投影复印图形的技术，它的特点是分辨率高（极限分辨率可达到3～8μm）、图形产生与修改容易、制作周期短。它可分为扫描曝光和投影曝光两大类，其中扫描曝光系统是电子束在工件面上扫描直接产生图形，分辨率高，生产率低。投影曝光系统实为电子束图形复印系统，
澳大利亚研制纳米电子束曝光系统
据澳大利亚莫纳什大学网站报道，澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之——电子束曝光系统(EBL)。该系统可标记纳米级的物体，还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。 电子束曝光技术可直接刻画精细的图案，是实验室制作微小纳米电子元件的最佳选择。这款耗资数百万美元的曝光系统将
基于改进扫描电镜的电子束曝光系统
由于SEM的工作方式与电子束曝光机十分相近,最初的电子束曝光机是从SEM基础上改装发展起来的，近年来随着计算机技术的飞速发展，将SEM改装为曝光机的工作取得了重要进展。 主要改装工作是设计一个图形发生器和数模转换电路，并配备一台PC机。PC机通过图形发生器和数模转换电器去驱动SEM的扫描线圈，
复旦大学扫描电镜及电子束曝光系统采购国际招标公告
分析测试百科网讯 近日，复旦大学扫描电镜及电子束曝光系统采购国际招标（项目编号：0705-1940182008K5/01）进行公开招标，预算金额：295万。详情如下： 项目联系人：郭老师 电话：86-21-65645621 开标时间：2019年12月02日 09:30 开标地点：邯郸路22
电子束光刻成型电子束扫描系统
成形电子束曝光系统按束斑性质可分成固定和可变成形束系统。固定成形束系统在曝光时束斑形状和尺寸始终不变；可变成形束系统在曝光时束斑形状和尺寸可不断变化。按扫描方式，成形电子束曝光系统又可分为矢量扫描型和光栅扫描型。一种尺寸可变的矩形束斑的形成原理是电子束经上方光阑后形成一束方形电子束，再照射到下方
电子透镜的结构组成
电子透镜有静电透镜、磁透镜和复合电子透镜等三种类型(或分为静电透镜、磁透镜两种类型)。在一般的电子束曝光系统中，除了电子枪外，基本上都采用磁透镜。但是，在电子束微矩阵曝光以及新型电子显示屏等系统中，静电透镜仍然有着一定的应用。
电子束光刻投影电子束扫描系统
扫描式电子束曝光系统可以得到极高的分辨率，但其生产率较低，不能满足大规模生产的需要。成形束系统生产率固然有所提高，但其分辨率一般在0.2μm左右，难以制作纳米级图形。近年来研发的投影电子束来曝光系统，既能使曝光分辨率达到纳米量级，又能大大提高生产率，且不需要邻近效应校正。在研制中的投影式电子束曝
超4500万元－湖北工业大学采购场发射扫描电镜等科研仪器
近日，湖北工业大学发布多个公开招标公告，采购X射线衍射仪、高分辨电子束曝光系统、正置光学显微镜、场发射扫描电子显微镜、原子力显微镜、原子力近场光学共焦拉曼荧光多功能显微镜联用平台、桌面同步辐射谱仪等大批科研仪器与设备，总招标预算超4500万元。 采购人信息 名 称：湖北工业大学 地 址：湖
新方法可让“超材料”实现自我组装
据美国物理学家组织网11月2日报道，美国科学家在最新一期德文版的《应用化学》杂志上指出，他们最新研制出的纳米制造技术可让自然界中并不存在的“超材料”自我组装而成。由此得到的“超材料”有些具有非比寻常的光学特性，有助于制造能给蛋白质、病毒、DNA(脱氧核糖核酸)等摄像的“超级镜头”以及隐形斗篷;而
【截止10月21日】贴息贷款华南理工大学共计发布38.68亿元
2022-10-08日，华南理工大学发布政府采购意向，预算金额共计1.9亿元，预计采购日期：2022年11月序号采购项目名称采购品目预算金额(万元)1X射线吸收谱仪系统A02100399其他光学仪器998.62五山校区工程创新中心实验室建设项目A02050905工业机器人89503重点行业挥发性有机
分会报告：科学仪器及其关键技术研发成果交流会
分析测试百科网讯 2016年8月21日，中国仪器仪表学会分析仪器会分2016学术年会上，举办了“科学仪器及其关键技术研发成果交流会” 的分会，多位专家分享了科学仪器及其关键技术研发成果。主持人：浙江大学分析仪器研究中心教授周建光北京大学药学院教授 韩南银 北京大学药学院教授韩南银带来了题为《场
报名通知│分析仪器关键部件创新进展论坛报告嘉宾简介
关键技术和关键部件落后，是当前我国科学仪器设备总体水平落后于发达国家的重要因素之一。高端科学仪器研制尤其受制于关键部件，一方面是国外对高端仪器零部件的出口限制非常严，甚至有些不对外出售；另一方面更重要的是国内对关键部件的研发不足，“卡脖子”问题明显突出。2023年11月30日，第八届分析仪器学术
预算1.33亿元－辽宁材料实验室1（至）8月政府采购意向
辽宁材料实验室 2024年1（至）8月政府采购意向，预算金额133215000元。 为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将辽宁材料实验室 2024年1（至）8月采购意向公开如下：序号采购项目名称采购需求概况预
超2亿元！辽宁材料实验室2024年政府采购意向
辽宁材料实验室 2024年1（至）12月 政府采购意向 为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将辽宁材料实验室 2024年1（至）12月采购意向公开如下：序号采购项目名称采购需求概况预算金额（万元）预计采
第十届中科院杰出青年终评推荐人选公示
根据《关于评选第十届“中国科学院杰出青年”的通知》(科发京党字〔2009〕128号)文件规定，第十届中国科学院杰出青年评选程序性评审工作已于2010年1月11日进行，评选领导小组办公室按照有关文件要求及评选程序邀请相关人员对上报材料进行了认真的审阅，并选出了30位候选人进入最终的评选。 现