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国际标准化组织正式发布一项微束分析领域国际标准

近日,国际标准化组织(ISO)正式发布了微束分析领域中的一项国际标准:“基于测长扫描电镜的关键尺寸评测方法”,该标准由中国科学技术大学物理学院和微尺度物质科学国家研究中心丁泽军团队主导制定,是半导体线宽测量方面的首个国际标准,也是半导体检测领域由中国主导制定的首个国际标准,该标准的发布有助于促进半导体评测技术的发展,并提升我国在半导体行业的国际影响力和竞争力。 半导体行业的发展日新月异,对集成电路器件加工尺寸的控制也要求日趋精细。芯片上的物理尺寸特征被称为特征尺寸,其中最小的特征尺寸称为关键尺寸,其大小代表了半导体制造工艺的复杂性水平。对关键尺寸测量也可称为纳米尺度线宽测量,目前半导体的刻蚀线宽已经降到10纳米以下,其测量的精准性直接决定着器件的性能。纳米器件尺度的准确和精确(精度<1 纳米)测量技术对半导体行业的发展起着至关重要的作用,是极具挑战性的工作,需要建立高精准算法。 丁泽军团队长期从事电子束与材料相互作......阅读全文

首个半导体线宽检测国际标准发布

  近日,国际标准化组织(ISO)正式发布了微束分析领域中的一项国际标准:“基于测长扫描电镜的关键尺寸评测方法”,该标准由中国科学技术大学物理学院和微尺度物质科学国家研究中心丁泽军团队主导制定,是半导体线宽测量方面的首个国际标准,也是半导体检测领域由中国主导制定的首个国际标准,该标准的发布有助于促进

公共场所使用的过滤器

芯片厂使用的过滤器当今,半导体芯片厂对生产环境空气洁净程度最挑剔,对空气过滤器的要求也最苛刻。粘在芯片上的粉尘可能造成断路、短路而直接影响成品率。衡量芯片集成度的指标之一是“线宽”,即集成电路上导线的宽度。在线宽以微米计的年代,制造环境对粉尘粒径的限制是小于线宽的1/10,随着线宽不断变小,1/10

Newport用于晶圆和掩膜检测的运动控制

  Newport用于晶圆和掩膜检测的运动控制   MKS 提供了多种高性能的、适用于晶圆检测工具和其他运动控制应用的空气轴承位移台 , 经验丰富的 MKS/Newport 应用工程师与 OEM 客户合作,为正在开发的半导体制造过程提供专门的自动化运动控制解决方案,下文描述这些系统中用于提高精度和

激光粒度仪原理

   二十世纪八十年代以来,激光粒度测量技术在理论上日趋成熟,由于其测量速度快,粒径范围宽及重复性和重现性好等突出优点,被广泛采用,并在许多行业取代了以前的传统方法。但面对目前市场上不同的型号和指标,许多人在选购时经常感到困惑。本文将从技术角度给有意购买或使用激光粒度仪的有关人员一些提示。   一

SMC压缩空气清净化过滤器选型数据

压缩空气清净化过滤器     管路过滤器 AFF油雾分离器 AM微雾分离器 AMD  ・模块式连接型・压缩空气洁净等级:ISO8573・宽与纵深尺寸减小法30%・质量减轻50% AFF/AM□20:0

济南润之科技有限公司激光粒度仪原理及技术现状解读

  二十世纪八十年代以来,激光粒度测量技术在理论上日趋成熟,由于其测量速度快,粒径范围宽及重复性和重现性好等突出优点,被广泛采用,并在许多行业取代了以前的传统方法。但面对目前市场上不同的型号和指标,许多人在选购时经常感到困惑。本文将从技术角度给有意购买或使用激光粒度仪的有关人员一些提示。   一

济南润之科技有限公司激光粒度仪原理及技术现状解读

  激光粒度仪的技术现状与仪器选用   ——济南润之科技有限公司旗下激光粒度仪原理及技术详细解读   二十世纪八十年代以来,激光粒度测量技术在理论上日趋成熟,由于其测量速度快,粒径范围宽及重复性和重现性好等突出优点,被广泛采用,并在许多行业取代了以前的传统方法。但面对目前市场上不同的型号和指标,

ElliTOP量拓:椭偏测量的开拓者

  光偏振现象的应用在日常生活中无处不在,比如液晶显示屏、3D眼镜等;在光伏、纳米、半导体芯片等高端制造中,也常用到一种利用光偏振现象的仪器,那就是椭偏仪,它最拿手的就是测量纳米级薄膜的厚度、折射率、消光系数等参数。椭偏仪为非接触

选择激光粒度仪时要特别注意的地方

   激光粒度仪主要由光学检测系统,分散进样系统及控制分析软件组成,而光学检测系统又包括光源,光路及检测器等关键部分。在选择激光粒度仪时要特别注意以下几点:  1、光源主要有氦氖气体激光器和半导体固体激光器两种  氦氖激光器不受供电电压波动及温度变化的影响,稳定性高,特别是近些年来密封等技

选择激光粒度仪时要特别注意的地方

   激光粒度仪主要由光学检测系统,分散进样系统及控制分析软件组成,而光学检测系统又包括光源,光路及检测器等关键部分。在选择激光粒度仪时要特别注意以下几点:  1、光源主要有氦氖气体激光器和半导体固体激光器两种  氦氖激光器不受供电电压波动及温度变化的影响,稳定性高,特别是近些年

EDS110全自动蒸馏测定仪 石油分析仪

  技术参数   执行标准 ASTM D86、ASTM D850   GB/T6536、GB/T 7534、ISO3405   测定范围:室温~370℃   测温精度:0.1℃   工作电压:AC220V,50Hz   整机功率:2500W   加热功率:1000W   液位大

EDS110全自动蒸馏测定仪 石油分析仪

 执行标准 ASTM D86、ASTM D850GB/T6536、GB/T 7534、ISO3405测定范围:室温~370℃测温精度:0.1℃工作电压:AC220V,50Hz整机功率:2500W加热功率:1000W液位大跟踪能力:12ml/min体积测量分辨率:0.1ml冷浴、回收室温度:

全自动蒸馏测定仪的技术特点

  全自动蒸馏测定仪采用工业计算机、彩色TFT液晶显示触摸屏,液位自动跟踪数值曲线、自动检测干点、可储存万组以上信息、自动打印报表、连接局域网等。    技术参数    执行标准ASTMD86、ASTMD850    GB/T6536、GB/T7534、ISO3405    测定范围:室温~

全自动蒸馏测定仪功能特点介绍

全主动蒸馏测定仪选用工业计算机、彩色TFT液晶显现触摸屏,液位主动盯梢数值曲线、主动检测干点、可储存万组以上信息、主动打印报表、衔接局域网等。    技术参数    执行标准ASTMD86、ASTMD850    GB/T6536、GB/T

碳纤维复丝拉力试验机介绍

碳纤维复丝拉力试验机设备采用高精度传感器,配置百余种夹具,可定制夹具,做多项试验,电子万能拉力试验机可做拉伸试验,增加附具可做压缩、弯曲等试验,免费提供设备资料。碳纤维复丝拉力试验机的基本功能:拉伸性能,拉伸强度与变形率,拉断力,抗撕裂性能,热封强度性能,滚筒剥离试验,90度剥离,绳类拉断力,裤型撕

光纤光谱仪在颜色在线测量中的应用

随各个行业的发展,对工业生产商品的颜色的指标要求亦越来越高,产品颜色差异会直接影响质量等级。在批量化生产中,企业要确保不同批次产品的颜色指标一致,或者保证同批次产品的颜色均一。    近年来,国内外一些与着色有关的行业,如:纺织印染、染料、颜料制造、涂料、塑料着色加工以

光学接触角测量仪

【豪恩系列水滴角测试仪应用范围】1、TFT-LCD面板行业:玻璃面板洁净度与镀膜质量测量;TFT打印电路、彩色滤光片、 ITO导体胶卷等前涂层质量测量;2、印刷、塑胶行业:表面清洁与附着质量测量;油墨附着度测量;胶水胶体性质相容性测量;染料的紧扣度;3、半导体产业:晶圆的洁净度测量;HMDS的处理控

SDC-100光学接触角测量仪(水滴角)

  SDC-100光学接触角测量仪(水滴角)  众所周知,纳米材料科学与工程已经成为世界性的研究热点,在研究纳米材料的表面改性时,往往要涉及润湿接触角这个概念。所谓接触角是指在一固体水平平面上滴一液滴,固体表面上的固-液-气三相交界点处,其气-液界面和固-液界