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近日，国际标准化组织（ISO）正式发布了微束分析领域中的一项国际标准：“基于测长扫描电镜的关键尺寸评测方法”，该标准由中国科学技术大学物理学院和微尺度物质科学国家研究中心丁泽军团队主导制定，是半导体线宽测量方面的首个国际标准，也是半导体检测领域由中国主导制定的首个国际标准，该标准的发布有助于促进半导体评测技术的发展，并提升我国在半导体行业的国际影响力和竞争力。 半导体行业的发展日新月异，对集成电路器件加工尺寸的控制也要求日趋精细。芯片上的物理尺寸特征被称为特征尺寸，其中最小的特征尺寸称为关键尺寸，其大小代表了半导体制造工艺的复杂性水平。对关键尺寸测量也可称为纳米尺度线宽测量，目前半导体的刻蚀线宽已经降到10纳米以下，其测量的精准性直接决定着器件的性能。纳米器件尺度的准确和精确（精度<1 纳米）测量技术对半导体行业的发展起着至关重要的作用，是极具挑战性的工作，需要建立高精准算法。 丁泽军团队长期从事电子束与材料相互作......阅读全文
近日，国际标准化组织（ISO）正式发布了微束分析领域中的一项国际标准：“基于测长扫描电镜的关键尺寸评测方法”，该标准由中国科学技术大学物理学院和微尺度物质科学国家研究中心丁泽军团队主导制定，是半导体线宽测量方面的首个国际标准，也是半导体检测领域由中国主导制定的首个国际标准，该标准的发布有助于促进
今日推荐文章作者为东南大学毫米波国家重点实验室主任、IEEE Fellow 著名毫米波专家洪伟教授，本文选自《毫米波与太赫兹技术》，发表于《中国科学: 信息科学》2016 年第46卷第8 期——《信息科学与技术若干前沿问题评述专刊》，射频百花潭配图。引言随着对电磁波谱的不断探索, 人类对电子学和光学
二十世纪八十年代以来，激光粒度测量技术在理论上日趋成熟，由于其测量速度快，粒径范围宽及重复性和重现性好等突出优点，被广泛采用，并在许多行业取代了以前的传统方法。但面对目前市场上不同的型号和指标，许多人在选购时经常感到困惑。本文将从技术角度给有意购买或使用激光粒度仪的有关人员一些提示。 一
ICP–AES(包括ICP–MS)自发明以来，得到广大检测人员的喜爱，有关的文章以数十万篇计，涉及金属材料(包括贵金属、稀有金属)、非金属材料、矿石、土壤、核燃料、煤、石油及其产品、化肥、化工原料、半导体晶片、陶瓷材料、食品、药品、血液、水(纯水、废水)、空气等几乎所有材料中杂质(或粒
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激光粒度仪的技术现状与仪器选用 ——济南润之科技有限公司旗下激光粒度仪原理及技术详细解读 二十世纪八十年代以来，激光粒度测量技术在理论上日趋成熟，由于其测量速度快，粒径范围宽及重复性和重现性好等突出优点，被广泛采用，并在许多行业取代了以前的传统方法。但面对目前市场上不同的型号和指标，
二维材料的平面内化学键非常强，而两层以上二维材料的层间相互作用则非常弱，一般为范德瓦尔斯相互作用。这使得二维材料可以通过机械剥离方法从其相应体材料制备而成。多层二维材料可能有多种层间堆垛方式，例如石墨烯存在AB，ABC甚至转角的堆垛方式。二维材料按照晶格结果或堆垛方式又可以划分为各向同性（以石墨
二维材料的平面内化学键非常强，而两层以上二维材料的层间相互作用则非常弱，一般为范德瓦尔斯相互作用。这使得二维材料可以通过机械剥离方法从其相应体材料制备而成。多层二维材料可能有多种层间堆垛方式，例如石墨烯存在AB，ABC甚至转角的堆垛方式。二维材料按照晶格结果或堆垛方式又可以划分为各向同性（以
激光粒度仪主要由光学检测系统，分散进样系统及控制分析软件组成，而光学检测系统又包括光源，光路及检测器等关键部分。在选择激光粒度仪时要特别注意以下几点： 1、光源主要有氦氖气体激光器和半导体固体激光器两种 氦氖激光器不受供电电压波动及温度变化的影响，稳定性高，特别是近些年来密封等技
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温度是一个基本的物理量，自然界中的一切过程无不与温度密切相关。温度传感器是zui早开发，应用zui广的一类传感器。温度传感器的市场份额大大超过了其他的传感器。从17世纪初人们开始利用温度进行测量。在半导体技术的支持下，本世纪相继开发了半导体热电偶传感器、PN结温度传感器和i
无论是高科技“全副武装”的奥运场馆，还是“数字奥运”、“平安奥运”的打造，装备工业无处不在充实着“科技奥运”的内涵。而“绿色奥运”的主题，也离不开装备工业的贡献。 “鸟巢”到底有多强?新能源汽车有多少辆?保障平安奥运的安保设备有哪些?“数字奥运”有多少科技含量?“绿色奥运”需要哪些技术支撑? 2
一.热电偶/探头是工业上zui常用的温度检测元件之一。其优点是：①测量精度高。因热电偶/探头直接与被测对象接触，不受中间介质的影响。②测量范围广。常用的热电偶/探头从-50~+1600℃均可边续测量，某些特殊热电偶/探头zui低可测到-269℃热电偶/探头热电偶/探头 （如金铁镍铬），zui高可达+
使用荧光光谱分析法（XRF）进行RoHS验证-X荧光光谱测ROHS随着欧盟RoHSzui后期限的临近，很多公司都开始采用无铅化工艺，但要确保工艺的一致性，有效的检测方法是必不可缺的，荧光光谱分析法（XRF）就是其中之一。许多晶圆制造厂已开始用XRF法在薄镀层上进行无危害性成分测量，而且还用它探测扩散
芝加哥-2014年3月3日-在Pittcon 2014，布鲁克今天宣布推出多款产品及最新技术，以提高产品性能，改善用户在科研、工业和应用市场的体验。布鲁克的新产品旨在提高灵敏度、提高特异性和最大限度的提高重现性，在Pittcon 2014上推出的新产品有： 色谱、质谱和红外/拉曼光谱