3463万！北京师范大学计划采购污水信息芯片晶圆级加工与表征测试系统

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将北京师范大学2026年12月政府采购意向公开如下：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

项目详情：

污水信息芯片晶圆级加工与表征测试系统

　　项目所在采购意向：北京师范大学2026年12月政府采购意向

　　采购单位：北京师范大学

　　采购项目名称：污水信息芯片晶圆级加工与表征测试系统

　　预算金额：3463.000000万元(人民币)

　　采购品目：A032103电子工业专用生产设备

　　采购需求概况 ：

　　主要功能：实现污水信息芯片材料与芯片器件高质量制备和表征测试，精确控制薄膜薄膜厚度和均匀性，实现纳米级线宽加工、表面形貌表征、晶向结构分析、多物性测试、皮秒级速度检测以及磁光电性能测试和表征。数量：1项。具体包括以下设备：4英寸可互联磁控溅射、4英寸可互联激光原子层沉积、高精度电子书曝光机、晶圆级原子力显微镜、晶圆级薄膜晶向结构分析仪、超低温多物性测试系统、高数数字示波器、磁光电薄膜转移探测系统等设备。供货期:签订合同之日起，240个日历日货到采购人指定地点并安装验收完毕。(包括供货，安装，调试，验收合格所需时间)。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。

　　预计采购时间：2026-12

　　备注：