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氢化物气相外延(HVPE)

牛总部设在美国马里兰州银泉的TDI是世界领先的发展生产新型化合物半导体,如GaN,AlN,AlGaN ,InN和InGaN的氢化物气相外延( HVPE )工艺和技术的公司。 这些材料被用于各种应用,最主要的是固态照明,短波长光电子和射频功率电子。 TDI生产的氮化物模板 氢化物气相外延 在HVPE工艺过程中,III族氮化物(如GaN,AlN)是由热的气态金属氯化物(如GaCl或AlCl)与氨气(NH3) (参照如下公式)反应形成的 。 金属氯化物是热的HCl气体通过热的III族金属产生的。 所有反应都是在温度控制的石英炉内进行的。 如,热 HCl (气) + Ga (液) ------> GaCl (气) GaCl (气) + NH3 (气) -------> GaN (固) + HCl (气) + H2 (气) GaN或AlN模板被生长在诸如SiC或蓝宝石的衬底上......阅读全文

牛津仪器TDI收购FOX 集团的知识产权

  TDI,牛津仪器的全资子公司,在氢化物气相外延(HVPE)新型化合物半导体,如GaN、AlN、AlGaN、InN、InGaN等方面处于世界领先地位,刚与FOX集团签订了许可协议。这项协议是收购FOX集团知识产权,牛津仪器可以直接提供LED的硬件和流程和P型掺杂物,除此之外还提供III-V族氮化物

光电化学蚀刻可用于制造氮化镓中高纵横比深沟槽

日本SCIOCS有限公司和法政大学曾报导了在氮化镓(GaN)中利用光电化学(PEC)蚀刻深层高纵横比沟槽的进展[Fumimasa Horikiri et  al, Appl. Phys. Express, vol11, p091001, 2018]。 该团队希望该技术能够在

牛津仪器收到Ostendo公司的订单

  牛津仪器欣喜地收到Ostendo信息技术有限公司的订单:在工业领先的PlasmaPro System100 PECVD反应沉积和PlasmaPro System100 ICP备蚀刻设备。Ostendo将多晶圆批量设备用在以显示技术为基础的下一代固态照明的发展(SSL),还有商业和消费市场的产品方

浙大开展2015年度自研自制仪器设备成果认定

  2015年11月19日,实验室与设备管理处举行了2015年自研自制仪器设备成果认定评审会,专家组共听取了3项成果认定申报项目负责人的汇报,审阅了相关申请材料,经答辩、讨论,最终确定“脉冲喷雾蒸发化学气相沉积系统”、“高压临氢部件氢气循环测试系统”和“大功率IGBT离线测试装置”3项自研自制仪器设

质检总局公布271项国家标准(09年第12期)

  中华人民共和国国家标准批准发布公告   Announcement of Newly Approved National Standards of P.R.China   2009年第12号(总第152号)   2009年11月4日,国家质量监督检验检疫总局批准271项国家标准,现予以公布,