氢化物气相外延（HVPE）
牛总部设在美国马里兰州银泉的TDI是世界领先的发展生产新型化合物半导体，如GaN，AlN，AlGaN ，InN和InGaN的氢化物气相外延( HVPE )工艺和技术的公司。 这些材料被用于各种应用，最主要的是固态照明，短波长光电子和射频功率电子。 TDI生产的氮化物模板 氢化物气相外延 在HVPE工艺过程中，III族氮化物(如GaN，AlN)是由热的气态金属氯化物(如GaCl或AlCl)与氨气(NH3) (参照如下公式)反应形成的 。 金属氯化物是热的HCl气体通过热的III族金属产生的。 所有反应都是在温度控制的石英炉内进行的。 如，热 HCl (气) + Ga (液) ------> GaCl (气) GaCl (气) + NH3 (气) -------> GaN (固) + HCl (气) + H2 (气) GaN或AlN模板被生长在诸如SiC或蓝宝石的衬底上......阅读全文
氢化物气相外延（HVPE）
牛总部设在美国马里兰州银泉的TDI是世界领先的发展生产新型化合物半导体，如GaN，AlN，AlGaN ，InN和InGaN的氢化物气相外延( HVPE )工艺和技术的公司。 这些材料被用于各种应用，最主要的是固态照明，短波长光电子和射频功率电子。 TDI生产的氮化物模板
基于简单的支架的多片4HSiC化学气相沉积同质外延生长
虽然在商用化学气相沉积设备中可以在一次运行中实现多片4H－SiC衬底的同质外延生长，但是必须将晶片装载到可旋转的大型基座上，这导致基座的直径随着数量或者外延晶片总面积的增加而增加。在这项工作中，我们展示了一种简便的方法，通过自制的常规单晶片化学气相沉积设备，在没有大型基座的情况下，在简单的支架上放置
通过氯化氢化学气相沉积法对厚4HSiC薄膜同质外延生长...
通过氯化氢化学气相沉积法对厚4H-SiC薄膜同质外延生长的工艺优化 通过氯化氢化学气相沉积法对厚4H－SiC薄膜同质外延生长的工艺优化本篇文章中提出了一种通过氯化氢化学气相沉积（HCVD）在4°切割基板上快速同质外延生长厚的4H－SiC薄膜的工艺优化方法。所使用的气体是HCl与SiH4，C2H
分子束外延（MBE)
分子束外延设备有很多种。但就其主要结构而论是大同小异的。分子束外延的设备较其他外延技术的设备复杂，要包括超高真空系统努森箱及各种分析仪器。从MBE技术的发展过程看，当初主要是为开发以GaAs为中心的Ⅲ-V族化合物半导体，而后是针对Ⅱ-Ⅵ族和Ⅳ-Ⅵ族化合物半导体，最近正转向针对Si半导体器件的应用
牛津仪器TDI收购FOX－集团的知识产权
TDI，牛津仪器的全资子公司，在氢化物气相外延（HVPE）新型化合物半导体，如GaN、AlN、AlGaN、InN、InGaN等方面处于世界领先地位，刚与FOX集团签订了许可协议。这项协议是收购FOX集团知识产权，牛津仪器可以直接提供LED的硬件和流程和P型掺杂物，除此之外还提供III-V族氮化物
我国学者在低温非外延制备MAX相涂层方面取得进展
Mn+1AXn相（MAX相）是一大类热力学稳定、具有密排六方结构的层状陶瓷材料。M代表前过渡金属（如Ti、V、Cr等）；A代表IIIA或IVA主族元素（如Al、Si等）；X代表C或N。MAX相的独特晶体结构由密堆的M6X八面体层和A原子层交互迭排组成，这一结构使其兼备金属和陶瓷的优良性能，如高导
SiC同质外延厚度分析
钝化层分析 钝化层作为保护层、绝缘层或抗反射层，在半 导体材料中扮演着重要的角色。 VERTEX 系列 光谱仪是分析钝化层的理想工具，它可以实 现快速灵敏的无损分析。 磷硅玻璃(PSG)和硼磷硅玻璃(BPSG)中硼和 磷的定量分析 分析SiN等离子层和Si-O基钝化层 分析超低K层
分子束外延（MBE）装置
MBE装置由样品进样室、预处理分析室和牛K窜等组成。窜间用闸扳阀隔开，以确保生长室的超高真空与清洁。 根据MBE系统的几何结构相应地配置真空系统。根据要求，3个室的真空配置的配置泵的系统并非一样： (1)进样室。真空度为1.33 x10-6~1 33 x10-8Pa。在l 33×10-6~1
什么是气相－液相
气相属于分配层析或吸附层析，仅适用于分析分离挥发性和低挥发性物质。固定相是在惰性支持物（如磨细的耐火砖）上覆盖一层高沸点液体，如硅油、高沸点石蜡和油脂、环氧类聚合物。液相：均匀的溶液也是一个相，称为液相。液相是物质呈现液体的状态，且在这个系统里只有液体，没有固相（即固体），也没有气体（即气相：通常任
什么是气相、液相
气相属于分配层析或吸附层析，仅适用于分析分离挥发性和低挥发性物质。固定相是在惰性支持物（如磨细的耐火砖）上覆盖一层高沸点液体，如硅油、高沸点石蜡和油脂、环氧类聚合物。液相：均匀的溶液也是一个相，称为液相。液相是物质呈现液体的状态，且在这个系统里只有液体，没有固相（即固体），也没有气体（即气相：通常任
什么是气相－液相
气相属于分配层析或吸附层析，仅适用于分析分离挥发性和低挥发性物质。固定相是在惰性支持物（如磨细的耐火砖）上覆盖一层高沸点液体，如硅油、高沸点石蜡和油脂、环氧类聚合物。液相：均匀的溶液也是一个相，称为液相。液相是物质呈现液体的状态，且在这个系统里只有液体，没有固相（即固体），也没有气体（即气相：通常任
氢化物(冷蒸气)的气相分离富集技术溶液吸收法
这一方法是利用氢化物和溶液的反应将氢化物富集于溶液中, 吸收液体系有如 Ag-DDC,HgCl2,AgNO3 等。因为所采用的氢化物的吸收体系吸收富集氢化物后,通常是把吸收液直接进样引入原子化器原子化测 定,不可避免地存在着吸收液基体的干扰,没有把利用氢化物发生技术可去除样品基体影响的特长很好地发挥
氢化物(冷蒸气)的气相分离富集技术固体吸附法
迄今为止,大多数用固体物质吸附氢化物的工作都是利用在气相色谱柱中填充的固定相完成的,而所有这些工作的考虑基本上都是以分离而不是以富集为主要目的。在分光光度测定中,也有用固体 KBrO3-KH2PO4 吸附氢化物的报道。利用固相物质吸收:吸附富集氢化物后采用原子光谱测定的工作还做得不多, Reamer
氢化物(冷蒸气)的气相分离富集技术气球收集法
气球收集法并不是严格意义上的富集方法,它主要是用于解决 Zn-酸体系中氢化物发生较慢的问题而提出的。其实施方法 是:先将 HG 反应中产生的氢化物及氢气收集在一个气球中,反应结束后,将氢化物及氢气一次送入原子化器中进行检测。这种收集法有一个固有缺点:多数氢化物在常温下不稳定,在收集过程中容易分解并吸
气相色谱之载气控制
进行气相色谱分析时要使用作为流动相的载气和用于检测器的燃气和助燃气。 1.载气 氮气、氦气、氢气、氩气都可用作气相色谱的流动相，常称作载气。 常用载气的性质见表1。 表1常用载气物性表 注：1.密度在0℃测定;黏度在20℃测定;热导率在100℃测定。 2.IP=0.1Pa·s，1ca
气相色谱载气的选择
作为气相色谱载气的气体，要求要化学稳定性好；纯度高；价格便宜并易取得；能适合于所用的检测器。常用的载气有氢气、氮气、氩气、氦气、二氧化碳气等等。其中氢气和氮气价格便宜，性质良好，是用作载气的良好气体。（1）氢气：由于它具有分子量小，分子半径大，热导系数大，粘度小等特点，因此在使用TCD时常采用它作载
气相色谱仪气源
．气源准备及净化（1）气源准备 事先准备好需用气体的高压钢瓶（一般大中城市均可购到），庄某一种气体的钢瓶只能装这种气体，每个钢瓶的颜色代表一种气体，不能互换。一般用氮气，氢气，空气这三种气体，每种气体最好准备两个钢瓶，以备用。有的厂使用氢气发生器和空气压缩机也可，但空压机必须无油。凡钢瓶气压下降到1
气相色谱载气的选择
作为气相色谱载气的气体，要求要化学稳定性好；纯度高；价格便宜并易取得；能适合于所用的检测器。常用的载气有氢气、氮气、氩气、氦气、二氧化碳气等等。其中氢气和氮气价格便宜，性质良好，是用作载气的良好气体。 （1）氢气：由于它具有分子量小，分子半径大，热导系数大，粘度小等特点，因此在
分子束外延要点解析
一、分子束外延 (Molecular Beam Epitaxy，MBE)简介 在超高真空环境下， 使具有一定热能的一种或多种分子 (原子) 束流喷射到晶体衬底 ，在衬底表面发生反应的过程，由于分子在 "飞行"过程中几乎与环境气体无碰撞 ，以分 子束的形式射向衬底 ，进行外延生长， 故此而得名。
分子束外延（MBE）的特点
（1）生长速率极慢，大约1um/小时，相当于每秒生长一个单原子层，因此有利于实现精确控制厚度、结构与成分和形成陡峭的异质结构等。实际上是一种原子级的加工技术，因此MBE特别适于生长超晶格材料。 （2）外延生长的温度低，因此降低了界面上热膨胀引入的晶格失配效应和衬底杂质对外延层的自掺杂扩散影响。
气相色谱常识
气相色谱（gas chromatography 简称GC）是二十世纪五十年代出现的一项重大科学技术成就。这是一种新的分离、分析技术，它在工业、农业、国防、建设、科学研究中都得到了广泛应用。气相色谱可分为气固色谱和气液色谱。气相色谱分类气相色谱可分为气固色谱和气液色谱。气固色谱的“气”字指流动相是气体
气相色谱术语
一）色谱参数1、死时间：不被固定相滞留的组分，从进样到出峰最大之所需的时间。2、保留时间：组分从进样到出峰最大之所需的时间。2.1调整保留时间：减去死时间保留时间。2.2校正保留时间：用压力梯度校正因子修正的保留时间。2.3净保留时间：用压力梯度校正因子修正的调整保留时间。3、死体积：不被固定相滞留
气相色谱原理
原 理：色谱分析是一种多组份混合物的分离、分析工具。它主要利用物质的物理性质对混合物进行分离，测定混合物的各组份。并对混合物中的各组份进行定量、定性分析。气相色谱仪是以气体作为流动相（载气）。当样品被送入进样器后由载气携带进入色谱柱。由于样品中各组份在色谱柱中的流动相（气相）和固定相（液相或固相
气相色谱原理
气相色谱（GC）主要是利用物质的沸点、极性及吸附性质的差异来实现混合物的分离，其过程如图气相分析流程图所示。待分析样品在汽化室汽化后被惰性气体（即载气，也叫流动相）带入色谱柱，柱内含有液体或固体固定相，由于样品中各组分的沸点、极性或吸附性能不同，每种组分都倾向于在流动相和固定相之间形成分配或吸附平衡
气相色谱扫盲
气相色谱气相色谱（gas chromatography 简称GC）是二十世纪五十年代出现的一项重大科学技术成就。这是一种新的分离、分析技术，它在工业、农业、国防、建设、科学研究中都得到了广泛应用。气相色谱可分为气固色谱和气液色谱。气相色谱可分为气固色谱和气液色谱。气固色谱指流动相是气体，固定相是固体
气相色谱知识
气相色谱原理 色谱法又叫层析法，它是一种物理分离技术。它的分离原理是使混合物中的各组分在两相间进行分配，其中的一相是不动的，叫做固定相，另一相则是推动混合物流过此固定相的流体，叫做流动相。当流动相中所含的混合物经过固定相，就会与固定相发生相互作用。由于各组分在性质与结构上的不同，相互作用的大小
气相色谱入门
下载地址：气相色谱入门 文件简介： 本书所提供的信息将有助于您有效地使用气相色谱仪(GC)1 什么是气相色谱本章介绍气相色谱的功能和用途以及色谱仪的基本结构2 进样方式本章介绍气相色谱最常用的几种进样方式3 组分分离样品经过色谱柱而被分离成单个组分本章将告诉你如何进行分离和怎样使用色谱柱4 组分
浅谈气相色谱
浅谈气相色谱气相色谱的名称由来，是因为其使用的流动相是气体。气体推动样品前进，样品在流动相和固定相这两相间进行多次分配，zui终各个组分得到分离。由此可见，作为流动相的气体是十分重要的，其种类、纯度以及稳定性对于气相色谱的分离至关重要。作为流动相的气体一般称之为载气。另外，在气相色谱法当中，当仪器配
气相色谱原理
气相色谱原理色谱法又叫层分析法，它是一种物理分离技术。阿德分离原理是使混合物中的各组分在两相间进行分配，其中的一相是不动的，叫做固定相，另一相则是推动混合物流过此固定相的流体，叫做流动相。当流动相中所含的混合物经过固定相，就会与固定相发生相互作用。由于各组分在性质与结构上的不同，相互作用的大小强弱也
气相色谱词条
1色谱法 chromatography 又称色层法、层析法，是一种对混合物进行分离、分析的方法。1903年俄国植物学家茨威特在分离植物色素时，得到了各种不同颜色的谱带，故得名色谱法。以后此法虽逐渐应用于无色物质的分离，但“色谱”一词仍被人们沿用至今。色谱法的原理是基于混合物中各组分在两