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让摩尔定律一再放缓晶圆厂的cycletime是什么?(二)

对于切割,芯片制造商使用SADP/SAQP,或双重曝光工艺。双重曝光有时被称为曝光-刻蚀-曝光-刻蚀(LELE)。三重曝光包括LELELE。对于多重曝光中,7nm工艺所进行沉积、蚀刻和清洁步骤是16nm/14nm的两倍。 Coventor首席技术官David Fried表示:“随着我们从简单的一次曝光,到大多数28nm工艺所采用的多重曝光,步骤数增加得很快。现在,有三个切割级别的SAQP流程可能有60步操作,如沉积、蚀刻、清洁、旋转和曝光。”在SADP流程中,可以使用抗蚀剂来绘制图层。然后在抗蚀剂上沉积一层,再次蚀刻,直到沉积物留在抗蚀剂线的两侧。然后去除掉抗蚀剂。专家指出,SADP无需两个完整的光刻循环,因此不会增加循环时间。然后就是LELE。如果进行两次完整的光刻/蚀刻循环来创建双重曝光,那么循环时间会增加。据专家介绍,如果您的工艺有25个光刻层,其中有5层需要双重曝光,那么您将会有30个光刻循环。“这是看待......阅读全文

让摩尔定律一再放缓 晶圆厂的cycle time是什么?(一)

 从平面器件到finFET的转变使得芯片制造商能够将工艺和器件从16nm/14nm向更密集的方向发展,但是行业在每个节点处都面临诸多挑战。成本问题和技术问题都是明显的挑战。此外,cycle time也在逐渐增加,这是芯片尺寸缩小公式中的一个关键但很少宣传的因素,这为芯片制造商和客户

让摩尔定律一再放缓 晶圆厂的cycle time是什么?(二)

Dai Nippon Printing(DNP)的研究员Naoya Hayashi说:“TAT更长的原因是写入时间、检查时间和验证时间。”写入时间是罪魁祸首。如上所述,IC设计要转换为文件格式。该格式被转换成电子束掩膜写入器的一组指令。这个过程称为掩膜数据准备(MDP)。然后,电子束掩膜写入

芯粒:后摩尔时代下降发挥怎样的作用

前言:芯粒逐渐成为半导体业界的热词之一,它被认为是一种可以延缓摩尔定律失效、放缓工艺进程时间、支撑半导体产业继续发展的有效方案。摩尔定律的演变即便不是IT从业人士,想必也会听说过著名的“摩尔定律”:1965年,英特尔创始人戈登·摩尔提出,在至多十年内,集成电路的集成度会每两年翻一番,后来这个

《环球科学》2011年十大科学新闻评选

  “十大科学新闻”评选是《环球科学》(《科学美国人》杂志中文版)每年一度的重头戏,也是本年度全球各大科学领域的重大事件进行的一次全面盘点。经过专业编辑和专家团队的商讨,《环球科学》初步挑选出了30条候选新闻,接受网友的点评和投票。  1、超光速粒子挑战爱因斯坦相对论  9月23日,欧洲核子研究中心

英特尔芯片将首次采用三维晶体管

  据英国广播公司(BBC)5月4日报道,美国英特尔公司4日表示,该公司已研发出可大规模生产的三栅(Tri-Gate)三维结构晶体管,配备了新晶体管的芯片在能耗大幅降低的同时,性能也得到了改进。分析人士指出,这是集成电路问世后计算机领域最重要的转变。   英特尔当天还展示了名为“常

Cell Metabolism | 医学的第四维——生物节律

  众所周知,2017 诺贝尔生理或医学奖颁发给了三位美国遗传学家杰弗里·霍尔(Jeffrey C. Hall)、迈克尔·罗斯巴什(Michael Rosbash),以及迈克尔·杨(Michael W. Young),以表彰他们在发现果蝇生物节律分子机制方面的贡献。而在此前,医学界真正将生物节律——

产前DNA检测走红背后的基因江湖

  经历了2015年的热捧,2016年的资本小幅理性回归,2017年上半年的热潮趋缓后,泛泛的基因测序将无法持续吸引资本的目光,未来行业热点在于技术突破,或者商业模式的突破。  (做一次全基因检测,会产生100多G海量数据,其中能被用于科研与临床应用的,只是蛋白编码基因与少量的非蛋白编码基因,占整体

SCIEX:探索质谱极限 提供整体方案 关注中国市场

  分析测试百科网讯 2016年6月5 -9日,第64届美国质谱年会(ASMS 2016)在美国德克萨斯州圣安东尼奥Henry B会议中心召开。全球顶级质谱公司SCIEX携最新产品QTRAP® 650

SCION:名门之后,让操作无比简单

  【导语】收购了瓦里安的部分产品线后,质谱界很多人都感受到了布鲁克•道尔顿公司从研发到市场,从销售到服务的变化。今年7月布鲁克道•尔顿公司最新推出了SCION气质联用,该仪器是公司收购瓦里安后,招募业界知名的质谱研发和营销团队,全新打造的气质联用仪。在布鲁克•道尔顿公司媒体见面会访谈、查阅部分资料

F-5301PC型荧光分光光度计的工作原理

  F-5301PC型荧光分光光度计的工作原理/操作规程以/注意事项  【摘要】:荧光光度计主要原理依据是:激发光照射待测荧光物质发出荧光,经过放大器至记录仪,记录仪得出的信号即为样品溶液的荧光强度。本文主要介绍了RF-5301PC型荧光分光光度计的工作原理、操作规程以及注意事项等。  荧光光度计主

TSQ 8000 三重四极杆GC-MS/MS世界里的Smart

  核心价值三:MS/MS简便性   据芦博士介绍,在TSQ 8000 GC-MS/MS上,集成了多种SRM管理工具,可以从不同起点开始,简单快速地生成MS/MS方法。无论是从已知化合物的保留时间开始,还是从头建立一个全新化

RF-5301PC型荧光分光光度计的工作原理/操作规程/注意事项

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单个神经细胞基因表达的qPCR综合分析

实验概要本实验对单细胞的敏感性进行了分析,单细胞的基因分析可以为一种细胞类型高水平转换成另一种提供确切的证据。我们所描述的是Biomark   Fluidig动态阵列分析单一神经细胞的高通量表达。在一次实验中,用96个qPCR探针(相当于9216次反应)分析高达96孔独立样本。它可以在2-

烟气排放连续监测系统(CEMS)设计

烟气排放连续监测系统(Continuous Emission Monitoring System, 以下简称CEMS)是指能够对固定污染源排放的污染物进行实时的、连续的在线测量,并且能够将信息实时传送到相关主管部门的一套装置。  1 CEMS系统设计思路  CEMS系统主要包括颗粒物测量、烟气参数测

施一公:优秀的科学家如何成长?

施一公(清华大学生命科学院院长)  前言  我从获得博士学位至今已经整整20个春秋,但博士阶段的感受仍然历历在目。我从指导自己独立实验室的第一个博士生到现在也已经17年了,其中的博士研究生和博士后中已经有11人在美国和中国的大学里担任独立实验室的PI。他们的成长过程差别极大,性格、能力也各有不同。应

耶鲁教授:新冠肺炎进入关键节点,接下来应该如何打?

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生物分子相互作用无标记溶液内研究

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质谱检测法与蛋白质分析

在生命科学研究工作中有一个重要问题,就是发现、鉴定蛋白质并弄清楚它们的一级结构。知道了蛋白质的氨基酸序列信息,我们就可以通过遗传密码将其与编码序列对应起来,从原则上来说,也就将细胞的生理学与遗传学联系起来了。发现、鉴定出了一个蛋白质就好像给我们打开了一扇窗,透过这个窗口,我们就能够对复杂的细胞调控网

实时荧光定量PCR

聚合酶链式反应(Polymerase Chain Reaction,PCR)可对特定核苷酸片断进行指数级的扩增。在扩增反应结束之后,我们可以通过凝胶电泳的方法对扩增产物进行定性的分析,也可以通过放射性核素掺入标记后的光密度扫描来进行定量的分析。无论定性还是定量分析,分析的都是PCR终产物。但是在许多

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时间分辨荧光技术原理

荧光和均相性分析理论上,荧光是最灵敏的检测手段。由于许多分子间和分子内的变化会改变标记物的荧光发射。因此,很早就把它作为均相分析技术可能的新的手段。偏振,淬灭,时间关联,荧光寿命改变以及荧光共振能量转移( FRET)已经被广泛应用在对分子间作用的研究中 1-5 。然而,在这些应用中,一些技术条件严重

英国自然杂志《Nature》介绍

英国自然杂志《Nature》 www.nature.comNPG Nature Asia-Pacific www.natureasia.com  出版:英国MacMillan.Ltd  创刊:1869年  刊期:周刊  定位:兼顾学术期刊和科学杂志,即科学论文具较高的新闻性和广泛

PCR技术的发展(上)

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哈佛讲席教授谢晓亮全职回北大!

2018年7月1日起,北大生物动态光学成像中心主任、北京未来基因诊断高精尖创新中心主任——谢晓亮正式全职回到母校北大任教,担任北京大学李兆基讲席教授。 谢晓亮1998年,谢晓亮成为改革开放后哈佛大学聘任的第一位来自中国大陆的终身教授;2009年,他成为改革开放后第一位哈佛冠名讲席教授的中国

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为什么是瑞德西韦? 一封来自吉利德CEO Daniel O’Day的公开信

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