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中文名称光电子能谱法英文名称photoelectron spectroscopy定 义以光作激发源的电子能谱分析方法。常用激发源有X射线和紫外光。应用学科机械工程（一级学科），分析仪器（二级学科），能谱和射线分析仪器-能谱和射线分析仪器分析原理（三级学科）......阅读全文
中文名称光电子能谱法英文名称photoelectron spectroscopy定 义以光作激发源的电子能谱分析方法。常用激发源有X射线和紫外光。应用学科机械工程（一级学科），分析仪器（二级学科），能谱和射线分析仪器-能谱和射线分析仪器分析原理（三级学科）
中文名称紫外光电子能谱法英文名称ultraviolet photoelectron spectroscopy定 义用紫外光激发试样的光电子能谱法。应用学科机械工程（一级学科），分析仪器（二级学科），能谱和射线分析仪器-能谱和射线分析仪器分析原理（三级学科）
中文名称X射线光电子能谱法英文名称X-ray photoelectron spectroscopy，XPS定 义以单色X射线为光源，测量并研究光电离过程发射出的光电子能量及相关特征的方法。能够给出原子内壳层及价带中各占据轨道电子结合能和电离能的精确数值。应用学科材料科学技术（一级学科），材料科学技
光电子能谱仪（photoelectron spectrograph）是利用光电效应测出光电子的动能及其数量的关系，由此来判断样品表面各种元素含量的仪器。可分析固、液、气样品中除氢以外的一切元素。 用途 光电子能谱仪可研究原子的状态、原子周围的状况及分子结构，在表面化学分析、分子结构
XPS是重要的表面分析技术之一，是由瑞典Kai M. Siegbahn教授领导的研究小组创立的，并于1954年研制出世界上第一台光电子能谱仪，1981 年，研制出高分辨率电子能谱仪。他在1981年获得了诺贝尔物理学奖。
中文名称紫外光电子能谱仪英文名称ultraviolet photoelectron spectrometer定 义用紫外光激发试样光电子的能谱仪。适用于表面状态分析，能获得能带结构，振荡能级信息。应用学科机械工程（一级学科），分析仪器（二级学科），能谱和射线分析仪器-能谱和射线分析仪器仪器和附件（
X-射线光电子能谱仪，是一种表面分析技术，主要用来表征材料表面元素及其化学状态。其基本原理是使用X-射线，如Al Ka =1486.6eV，与样品表面相互作用，利用光电效应，激发样品表面发射光电子，利用能量分析器，测量光电子动能(K.E)，根据B.E=hv-K.E-W.F，进而得到激发电子的结合能（
介绍了现代 X 光电子能谱仪的激发源、能量分析器、传输透镜、电子检测器、荷电中和器等主要部件的结构特点。在此基础上介绍了仪器的主要性能指标灵敏度、能量分辨率等,简单介绍了考察一台能谱仪的方法。最后讨论了电子能谱仪发展。
主要功能及应用领域： 主要用于固体材料的表面元素成份及价态的定性、半定量分析，固体表面元素组成的深度剖析及成像。可应用于金属、无机材料、催化剂、聚合物、涂层材料矿石等各种材料的研究，以及腐蚀、摩擦、润滑、粘接、催化、包覆、氧化等过程的研究。主要附件：UPS、AES、SEM主要特点：1. 采用平均
可实现的功能：单色化双阳极XPS、微区XPS、离子散射谱ISS、反射电子能量损失谱REELS、紫外光电子能谱UPS、氩复合团簇离子枪刻蚀、角分辨ARXPS、平行成像XPS、原位X射线荧光光谱EDXRF分析，并能进行样品台加热冷却、超高真空环境下的测量。 能量扫描范围0～5000eV；通过能范围