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检测材料不同组分的特殊SFM技术

随着SFM技术及其应用的不断发展，在SFM形貌成像基础上发展起来多种新的特殊SFM技术。这些技术利用不同的表面性质，能够很好地区分开在形貌上差别很小或是材料表面上难以检测到的不同组分。力调制技术力调制（force modulation）成像是研究表面上不同硬度（刚性）和弹性区域的SFM技术。可以验明复合物、橡胶和聚合混合物中不同组分间的转变，测定聚合物的均匀性，成像硬基底上的有机材料，检测集成电路上的剩余感光树脂以及验明不同材料的污染情况等。 图给出了力调制成像示意图。使用力调制技术，探针在扫描的垂直方向有一小的振荡（调制），比扫描速度快很多。样品上的作用力大小被调制在设置点附近，这样样品上的平均作用力同简单接触模式是相等的。当探针与样品接触时，表面阻止了微悬臂的振荡并引起它的弯曲。在相同作用力条件下，样品刚性区域的形变要比柔性区域小很多。也就是说， 对于垂直振荡的探针，刚性表面对其产生更大......阅读全文