Antpedia LOGO WIKI资讯

分子束外延(MBE)装置

MBE装置由样品进样室、预处理分析室和牛K窜等组成。窜间用闸扳阀隔开,以确保生长室的超高真空与清洁。 根据MBE系统的几何结构相应地配置真空系统。根据要求,3个室的真空配置的配置泵的系统并非一样: (1)进样室。真空度为1.33 x10-6~1 33 x10-8Pa。在l 33×10-6~1.33×10-7Pa段用吸附泵或涡轮分子加离子泵;1.33×10-7Pa时用涡轮分子泵;1.33 x 10-8Pa时用涡轮分子泵或其他泵加闭路循环液氮低温泵。 (2)预处理分析室。真空度为1 33×10-8Pa,由400L/s抽速的离子泵获得。 (3)生长室。真空度为1.33 x 10-9Pa。要按生长室的容积大小和所用的生长材料的阵质来配置。用大抽速带冷阱的特种油扩散泵、大抽速涡轮分子泵、太抽速闭路循环液氮低温泵、大抽速离子泵等四种泵为主泵,再辅以钛升华泵。......阅读全文

分子束外延(MBE)

  分子束外延设备有很多种。但就其主要结构而论是大同小异的。分子束外延的设备较其他外延技术的设备复杂,要包括超高真空系统努森箱及各种分析仪器。从MBE技术的发展过程看,当初主要是为开发以GaAs为中心的Ⅲ-V族化合物半导体,而后是针对Ⅱ-Ⅵ族和Ⅳ-Ⅵ族化合物半导体,最近正转向针对Si半导体器件的应用

分子束外延(MBE)的特点

  (1)生长速率极慢,大约1um/小时,相当于每秒生长一个单原子层,因此有利于实现精确控制厚度、结构与成分和形成陡峭的异质结构等。实际上是一种原子级的加工技术,因此MBE特别适于生长超晶格材料。  (2)外延生长的温度低,因此降低了界面上热膨胀引入的晶格失配效应和衬底杂质对外延层的自掺杂扩散影响。

纳米所与索尼联合研发半导体材料与器件

  6月23日下午,中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所与索尼公司半导体材料与器件合作项目启动签约仪式在苏州纳米所举行。研究所所长杨辉代表苏州纳米所与索尼公司高级副总裁熊谷签订合作协议,同时,索尼公司将向苏州纳米所提供分子束外延(MBE)装置的免费使用权。中科院副院长施尔畏,苏州工业园

超纯砷化镓电子态遵守量子力学法则

  据美国每日科学网站7月27日报道,美国科学家成功制造出了超纯的砷化镓,并让其呈现出某种特殊的状态,在这种状态下,电子不再遵守单粒子的物理学法则而被它们之间的相互作用(由量子力学法则来解释)所掌控,这种超纯材料和状态都有望用于高速量子计算机的研究中。   量子计算机使用电子的量子力

教学教育仪器设备的范围与相关仪器有哪些?

  教学仪器设备指由学校发起的在教学、科研单位中使用方向为教育、教学、科研、技术攻关的仪器设备。《固定资产分类与代码》中确定的专用教学设备包括:幻灯机、黑白板(包括磁板和电子版)、电子投影仪、教师试验台、其他教学设备,随着院校科研工作的开展教学设备的范畴越来越广,应当讲已包含了各种专业或院系对应的专

挪威研制最新半导体新材料--砷化镓纳米线

  挪威科技大学的研究人员近日成功开发出一种新型半导体工业复合材料“砷化镓纳米线”,并申请了技术专利,该复合材料基于石墨烯,具有优异的光电性能,在未来半导体产品市场上将极具竞争性,这种新材料被认作有望改变半导体工业新型设备系统的基础。该项技术成果刊登在美国科学杂志纳米快报上。   以Helge W