其含义c是气3相中3化1学反5应的固体产物沉积到表面。CVD装置由下k列部件组成；反7应物供应系统，气3相反7应器，气4流传送系统。反6应物多为0金属氯化8物，先被加热到一g定温度，达到足够高的蒸汽压，用载气5（一s般为6Ar或H3）送入v反4应器。如果某种金属不a能形成高压氯化4物蒸汽，就代之d以8有机金属化2合物。在反2应器内4，被涂材料或用金属丝悬挂，或放在平面上y，或沉没在粉末8的流化0床中7，或本身就是流化5床中4的颗粒。化3学反3应器中7发生，产物就会沉积到被涂物表面，废气1（多为2HCl或HF）被导向碱性吸收或冷阱。 沉积反3应可认4为5还原反2应、热解反7应和取代反0应几a类。CVD反3应可分6为5冷壁反7应与l热壁反0应。在热壁反1应中7，化1学反4应的发生与t被涂物同处一h室。被涂物表面和反3应室的内1壁都涂上b一z层薄膜。在热壁反8应器中1只加热被涂物，反3应物另行导入q。 2011-10-28 11:18:35
石墨烯被称为“21世纪的神奇材料”。自2004年发现以来，这种单层碳原子材料一直因其众多独特性能而备受推崇。但目前大量生产的石墨烯有个缺点：质量不高。现在，美国哥伦比亚大学和加拿大蒙特利尔大学联合研究......
麻省理工学院化学工程教授KarenGleason说，从某种意义上说，你可以将化学气相沉积技术或CVD一直追溯到史前：她说："当穴居人点燃一盏灯，烟尘沉积在山洞的墙壁上时，"那是一种......
本篇报告通过对逻辑、存储芯片的微观结构拆分展示了薄膜结构的种类多样性、工艺复杂性以及多款设备相互补充等特性，并从制程推进、多层趋势、工艺迭代等维度论述了薄膜沉积设备行业的成长性......
血管性勃起功能障碍（ED）与心血管疾病（CVD）具有共同的危险因素，包括肥胖、高血压、代谢综合征、糖尿病和吸烟等。ED与CVD也有共同的潜在病理机制，包括内皮功能障碍、炎症和动脉粥样硬化。尽管有这些密......
患有心血管疾病的人只要维持正常的维生素D水平，就可以将死亡风险降低近三分之一，这是最近发表在《临床内分泌学与代谢杂志》上的一项新研究的发现。图片来源于网络研究人员说，太低或过高的维生素D水平可能会增加......
近日发表于JAMAInternalMedicine的一项大型观察性研究发现，慢性阻塞性肺疾病（COPD）患者使用长效吸入型支气管扩张剂后早期的心血管疾病（CVD）风险升高。数据显示，COPD患者在开始......
双层碳膜形成机制图近日，中国科学院兰州化学物理研究所先进润滑与防护材料研究发展中心在四氯化碳气氛下碳化硅表面双层碳膜制备方面取得了新进展。研究人员以四氯化碳为氯气源和碳源，通过碳化物衍生碳（CDC）过......