俄歇电子能谱(AES)、x 光电子能谱(XPS)、x 射线能量色散谱(EDS)是目前应用最广泛的显微分析方法。与 AES 和 XPS 相比,EDS 有诸多优点,如测试方便、不损坏试样、分析速度快；但缺点是分辨率和定量分析准确度不够高,这主要是由于大的加速电压和束流导致大的分析面积和表面效应。
