TEM基本操作

A.聚光镜对中：一般的透射电镜拍摄需要插入一级聚光镜光阑，刚插入时电子束可能不在荧光屏中心，如图四（a）；这时需要先会聚电子束于一点，调节电子束平移至中心，再散开光斑，调节光阑旋钮使之仍在中心，反复几次后，电子束与荧光屏能同心收缩，如图四（b）。

B.合轴：在电镜高压稳定之后，应该进行系统的合轴调整，一般情况下在alpha设为3时，平移电子束和电子枪位置，使spot size1~5的电子束都能会聚在荧光屏中心。

C.选取合适的衍射条件：很多人在拍摄晶体样品时，往往会忽略这一步，如图五中，在不同的衍射条件下，晶粒内部显现出来的微观结构会发生变化。根据晶带定律：hu+kv+lw=0，选取适当的低指数晶带轴[uvw]，可以保证衍射束数目(hkl)足够多以及随后投影内势函数计算有足够的精度。由于透射电镜的衍射衬度和晶体取向也有关，所以在低指数晶带轴附近的“双光束条件”条件下拍摄，会让位错等缺陷更清晰的显现出来，以便进行统计和分析。

D.调焦：调整样品高度，使图像尽量清晰明锐，可以根据薄膜样品边缘出现的菲涅尔条纹（Fresnel fringes）的状态来调节物镜焦距旋钮，如图六所示。在欠焦状态下，孔洞边缘的外侧会出现呈白色的菲涅尔条纹（黄色箭头处），正焦状态下边缘平滑无菲涅尔条纹，而在过焦状态下菲涅尔条纹会在边缘内侧（黄色箭头处）。菲涅尔条纹会随着欠焦或过焦程度的增大而变宽，因此往条纹变窄的方向调节就能达到正焦状态。另外，还可以通过样品上颗粒的衬度进行调节，正焦状态下的颗粒对比度最低，看起来最平滑。值得注意的一点是，为了得到质量更好的透射照片，往往会选择在正焦状态的基础上再欠焦一点点，以增强对比度，让图片看起来更清晰。

E.物镜消像散：一般物镜光阑尺寸和位置的微小变化会引起像散，如果观察的是磁性材料会干扰物镜磁场也需要消像散，对一般的材料来说，主要是在拍摄高分辨照片时才会对物镜像散有严格的要求。

低倍下，可以看出物镜像散会使菲涅尔条纹发生扭曲，一部分在边缘内测而另一部分在外侧，如图七所示是有物镜像散和无像散的对比。这时，可以先利用前面的方法将图像调节到欠焦或者过焦，然后调节物镜像散使菲涅尔条纹恢复均匀对称，即可消除像散。

高分辨模式下（100K倍甚至更高倍数），则最好需要在非晶区域进行物镜像散的调节。如图八所示，是不同条件下的非晶碳膜高分辨照片。需要先调节物镜光阑的焦距，使图像尽量清晰，对比度合适，然后进行消像散，使图一片均匀，在正焦下看起来似乎什么都没有，但欠焦和过焦图像应该很清楚，且过焦与欠焦的图像只有衬度变化，麻点的形状应一致麻点，没有方向性。这样就表明调好了。也可以利用FFT（Fast Fourier Transformation）图像来辅助调节，当FFT 图像为椭圆时表明有像散，调节至FFT 图像为正圆，说明已调好。

一般来说，根据麻点对比度和FFT调节物镜像散需要在100K倍以上才会有效，所以建议现在低倍下根据菲涅尔条纹调节，然后逐步升高倍数，这样才能保证物镜像散不会越调越偏。万一真的不小心调得越来越偏，感觉自己越调越差回不去了，怎么办？别急，可以在调节物镜像散的模式下，点击NTRL（复位）按钮恢复到初始状态。

一般来说，经过以上的逐步调节，就可以顺利的拍摄从低倍到高倍的各种透射照片了。剩下的就是调节拍照软件上的对比度和曝光时间，就能得到比较高质量的图像了。另外还有个小建议，就是在保存图片的时候最好存两种格式：拍照软件的专用格式和TIFF。选择软件专用格式是为了保存图片的所有完整信息，以备日后重新检查；TIFF相比较其他BMP、JPEG、PNG等格式而言，存储图像细微层次的信息更多，图像的质量也非常高，故而非常有利于原稿的复制。