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日本产综研开发出了能够有选择地以高灵敏度（1分钟内2ppm）检测出半导体制造工艺中用到的含氟蚀刻气体的检测剂，并且试制出了使用这种检测剂的小型检漏仪。这种检测剂还可以用来检测更高性能的新一代含氟蚀刻气体和其他含卤素气体，作为只对可能危害人体的气体成分做出反应的检漏技术，有望得到广泛应用。......阅读全文
一、氦质谱检漏技术的发展历史第二次世界大战中期，美国为了制造原子弹，在田纳西州的橡树岭（Oak Ridge）建立的大规模分离铀-235的工厂。为了探测电磁分离器真空系统中的漏孔，1943年由明尼苏达州大学的A.O.C.Nier设计了世界上第一台具有简易气体分析器的玻璃外壳的质谱检测仪。它使用一个热灯
一、氦质谱检漏技术的发展历史第二次世界大战中期，美国为了制造原子弹，在田纳西州的橡树岭（Oak Ridge）建立的大规模分离铀-235的工厂。为了探测电磁分离器真空系统中的漏孔，1943年由明尼苏达州大学的A.O.C.Nier设计了世界上第一台具有简易气体分析器的玻璃外壳的质谱检测仪。它使用一个热灯
气体检漏仪原理为：空气中含有的六氟化硫气体浓度变化时，该混合气体在高频电磁场的作用下其电离的程度也将不同，通过检测电离度即可反映六氟化硫浓度。气体检漏仪采用小型真空泵，探头与主机为分体式。具有体积小、重量轻、携带方便、灵敏度高、稳定性好、响应速度快、探头不会中毒、不产生有毒气体等特点。并有液晶显
分析测试百科网讯 近日，国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会批准357项国家标准，其中，包括分析测试方法标准73项，食品检测相关标准6项，以及环境保护部、国家质量监督检验检疫总局发布的7项环保标准，涉及气相、液相、电镜等多种分析仪器。部分标准如下： 分析测
气体检漏仪具有国际先进水平。仪器十分适合于供电部门．安装检修单位和电力试验研究所使用，同时也十分适合高压开关厂作为SF6电器设备入出口产品的配套仪器，从而提高了整体产品的档次。它采用日本原装真空泵，探头与主机为分体式。它具有体积小、重量轻、携带方便、灵敏度高、稳定性好、响应速度快、探头不会中毒、
作者：申承志 中国电子科技集团公司第十
0 引言 凝汽器真空是影响机组经济性、稳定性的一个重要指标，而真空系统的严密性是影响汽机真空的重要原因之一。 一方面，真空严密性下降将使汽机真空下降，即会导致机组有效焓降减少，使其出力下降，汽耗增大，又会导致排汽温度上升，使冷源损失增加，循环热效率下降；另一方面空气进
锦西化工机械（集团）有限责任公司 作者：安丰华 随着压力容器出口
1、为什么要检漏 很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力作用下，流进或流出这个空间，如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行
1、为什么要检漏 很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力作用下，流进或流出这个空间，如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装
选择示漏气体(示踪气体）的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全隐患；价格低。 质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体，主要原因如下：1、氦在空
真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛，例如真空镀膜设备（蒸发，溅射），干法雷设备（ICP,RIE,PECVD）,热处理设备（合金炉，退火炉）， 掺杂设备（离子注入机等）这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。 半导
展览时间：2011年11月9日-10日 展览地点：北京国际会议中心 主办单位： 中国仪器仪表学会分析仪器分会 中国仪器仪表行业协会分析仪器分会 承办单位： 北京雄鹰国际展览有限公司 支持单位： 中国石油化工自控中心站 中国自动化学会工程设计委员会 石油化工科技装备中心 中国
中国石油辽阳石化分公司
利用氦质谱检漏仪进行检漏的方法很多，而检漏中所遇到的被检件的结构、大小、要求也是各式各样的，因此应根据这些特定的条件选择合适的检漏方法。一、喷吹法检漏系统如图15所示。图中的辅助泵是用来对被检容器进行预抽并当被检容器存在大漏时用来维持检漏仪的工作压力的。检漏时，先用辅助泵将被检容器抽到低真空，然后再
利用氦质谱检漏仪进行检漏的方法很多，而检漏中所遇到的被检件的结构、大小、要求也是各式各样的，因此应根据这些特定的条件选择合适的检漏方法。一、喷吹法检漏系统如图15所示。图中的辅助泵是用来对被检容器进行预抽并当被检容器存在大漏时用来维持检漏仪的工作压力的。检漏时，先用辅助泵将被检容器抽到低真空，然后再
伯东公司德国Pfeiffer HLT 560 氦质谱检漏仪用于电磁阀阀芯检漏应用案例——深圳某事业有限公司。 一、 电磁阀阀芯检漏原因 该客户是为日本某半导体设备厂生产精密零件激光焊接(电磁阀阀芯),一共有5个型号,月产量2000-3000个阀.
氦质谱检漏仪工作原理与结构和性能试验方法： 氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度*高，用得*普遍的检漏仪器。
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氦质谱检漏仪都知道仪器的灵敏度和精准度是非常高的，是通过采用氦气作为介质进行检测，当然这样氦气本身是无色无味无害的气体，但是人体吸入过多会是有害的，采用氦气检测需要对气体经过处理后方可排放，一般而言对要求特别高的产品会采用氦质谱检测仪进行检测。而目前氦质谱检漏方法可分类漏
0 引言 为了贯彻落实国家有关节能减排的政策，电力行业必须提高发电机组运行的经济性。汽轮机组必须建立高真空，使蒸汽能够最大限度地把热焓转变为汽轮机的动能。在具体的电厂生产环境下，要确保凝汽器内具有良好的真空，必须保证漏入汽轮机真空系统的空气要尽量少。汽轮机组汽封性能的优劣，低压真空
氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，设备具有检漏效率高、简便易操作、仪器反应灵敏、精度高、不易受其他气体的干扰等特点，该仪器在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪检漏中最常用的两种方法是喷枪测试法及吸枪测试法
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气体工业名词术语，用氦气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦起反应的工作状态）的被检容器上，m310725若容器有漏孔，则分析仪
氦质谱检漏仪定义是用氦气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气作为惰性气体，不会腐蚀设备，且在容器环境和质谱环境中干扰较少，信号较纯，因而常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有检漏仪（即调整到仅对氦气反应的工作状态的气体分析仪）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知
氦气检漏仪是氦质谱检漏仪((Helium Mass Spectrometer Leak Detector)的俗称，运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。质谱仪通过其核心部件质谱室，使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后，不同质荷比的离子在场中彼此分开，而相同质荷比
燃气报警器可分为可燃气体检漏仪、可燃气体检测仪、可燃气体探测器、家用可燃气体报警器四大系列产品。选用方法：一、确定检测目的有害气体的检测有两个目的，首先是测爆，第二是测毒。所谓测爆是检测风险场所可燃气含量，超标报警，以防止爆炸事端的发作；测毒是检测风险场所有毒气体含量，超标报警，以防止工作人员中毒。
中国电子科技集团公司第四十研究所 作者：赵锐敏氦质谱检漏仪的工作原理 氦质谱检漏仪是一种