氦质谱检漏灵敏度分析
采用氦质谱真空检漏对真空泄漏率要求较高的大容器检漏时检漏灵敏度的高低是衡量检漏结果精确与否的重要指标之一。“要充分发挥检漏仪的能力，以求得尽可能高的检漏灵敏度。必须对辅助真空系统进行合理设计。”通过对检漏灵敏度的分析确定检漏仪在真空系统中的连接方式，可以达到检漏目的的连接方式有两种。 检漏仪接在前级泵侧：检漏仪接在前级一侧时，令前级泵对氦气的抽速为6,次级泵对氦气的抽速为6%。检漏仪支路对氦气的抽速为6X，系统检漏灵敏度的变化。 检漏仪接在高真空一侧时：检漏灵敏度的变化，检漏仪接在高真空一侧通过对检漏仪的调节，能使其在高真空侧和前级侧时对氦气的抽速6X 保持一致。系统参数一般不变。可看出的高低取决于6和6% 的大小在分流状态。有6%在次级泵起动进入稳定状态后，一般可将前级泵处节流阀关闭。即由此可知，此时相同条件下次级泵处阀门却不能完全断开，即比较在需对大容器抽高真空并要求检漏时，检漏仪接在前级侧时......阅读全文
氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用
真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛，例如真空镀膜设备（蒸发，溅射），干法雷设备，热处理设备（合金炉，退火炉），掺杂设备（离子注入机等）这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。 真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛，例如真空镀膜设备（蒸发，溅射），干法雷设备（
浅谈氦质谱检漏仪的检漏方法及其优缺点
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可
浅谈氦质谱检漏仪的检漏方法及其优缺点
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的
氦质谱检漏仪常见的三种检漏法
1、负压法检漏 负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口，用喷枪连续向可疑的漏孔喷射示踪气体，示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。 根据产品的不同，需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具。举个例子，比如管壳的检漏。检漏仪正常工作后
氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用
真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛，例如真空镀膜设备（蒸发，溅射），干法雷设备（ICP,RIE,PECVD）,热处理设备（合金炉，退火炉）， 掺杂设备（离子注入机等）这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。 半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备
浅谈氦质谱检漏仪的检漏方法及其优缺点
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的
深度揭秘氦质谱检漏技术——选择及逆流检漏仪
一、氦质谈检漏技术的发展从20世纪60年代开始，氦质谱检漏技术被广泛应用于航天、电子、原子能、制冷、电力、化工、汽车及食品等各个行业。特别是原子能、航天技术的发展，使氦质谱检漏技术得到了飞速的发展。从早期的喷吹法开始，到如今已有了氦罩法、吸枪法、真空室法、检漏盒法、真空室累积法、吸枪累积法、背压法及
基于氦质谱检漏仪下的检漏技术研究
氦质谱检漏仪主要是运用磁质谱理论和逆扩散理论及质谱分析方法，用氦气作为探索气体制成的检测仪器。灯丝加热发射出来的电子经过加速，在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔逆扩散到电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，其旋转半径
氦质谱检漏仪的技术参数
1. 最小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s 2.漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s 3. 启动时间：≤5min 4. 响应时间：≤1s 5. 检漏口的最高压力：1500Pa 6. 电源要求：220v，50Hz，单相，10A 7. 工作环境：5-35℃ 8
氦质谱检漏仪的使用方法
1、氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。 2、是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成
氦质谱检漏仪性能试验方法
氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。 氦质谱检漏仪方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在
氦质谱检漏仪的技术参数
最小可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s 漏率显示范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s 启动时间： ≤5min 响应时间：
继电器的氦质谱背压法检漏
目前军用密封继电器的漏率检测主要依据是GJB 360A - 96的112实验程序。在GJB 360A - 96的112实验程序中明确规定了密封继电器的检漏条件及步骤,其中检漏步骤分为细检漏和粗检漏。本文介绍的背压法检漏是其中的细检漏,粗检漏不属于本文的讨论范围。继电器的背压法检漏 背压法检
氦质谱检漏仪的性能相关介绍
①灵敏度及其校准 氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的最小可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于最佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。所谓“最佳工作条件”是指仪器参数调整到最佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的
氦质谱检漏仪的概念是什么
氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷
氦质谱检漏仪的注意事项
1.设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。 2.若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。 3.因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上，由近而远的顺序进行。 4.检漏过程中，如发现大量氦气进人质谱检漏仪，应立即移去
氦质谱检漏仪的进展及其应用
在科学技术的不断发展的时代，氦质及其应用技术也在不断的发展与完善。这主要由两方面的因素所决定：一方面，检漏应用技术不断的对检漏仪提出新的要求，迫使仪器自身的更新；另一方面，检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足，因此二者的关系是相互补充、相互促进的。1.氦质谱检漏仪的进
氦质谱检漏仪工作原理与结构
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。 ①单级磁偏转型氦质谱检漏仪 现以HZJ—l型仪器为例．介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪。 在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器；由
SFJ211型氦质谱检漏仪
产品介绍：SFJ-211型氦质谱检漏仪是借鉴国外先进的检漏技术和我公司质谱生产经验设计而成。关键部件均采用进口，性能稳定可靠。它不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换，达到目前国际上先进水平。主要技术指标：最小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s漏率显示范
氦质谱检漏仪要注意经常校准
年泄漏率大的标准漏孔，要注意经常校准。如果发现异常，要用外置漏孔校准。注意使用的环境。标准漏孔的生产、检测，都是在20-25℃的室温下进行。尤其有些标准漏孔，对温度特别敏感。温度每变化1℃，标准漏孔的漏率就有3%以上的误差。例如，夏天，室温达到30℃，这种标准漏孔的漏率误差增加30%。 高压强
氦质谱检漏仪的发展及其应用
在科学技术的不断发展的时代，氦质谱及其应用技术也在不断的发展与完善。这主要由两方面的因素所决定：一方面，检漏应用技术不断的对检漏仪提出新的要求，迫使仪器自身的更新；另一方面，检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足，因此二者的关系是相互补充、相互促进的。1、氦质谱检漏仪的进展经过
氦质谱检漏仪的发展及其应用
氦质谱检漏仪的发展及其应用目前氦质谱检漏仪的发展及其应用在科学技术的不断发展的时代，氦质谱及其应用技术也在不断的发展与完善。这主要由两方面的因素所决定：一方面，检漏应用技术不断的对检漏仪提出新的要求，迫使仪器自身的更新；另一方面，检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足，因此二者
氦质谱检漏仪试验方法研究
在生产生活中，我们往往通过密封元器件的方式，来避免事先充入的保护气体外漏，同时防止外部的有害气体漏入。但是，想要无限期的防止外界有害气体漏入是难以实现的，因为平常我们所使用的气密封装材料包括玻璃、陶瓷或者金属，只能通过冲入氮气的方式来避免出现污染现象。由此可见，密封对电子元器件的重要性不言而喻，
氦质谱检漏仪的技术参数
最小可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s 漏率显示范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s 启动时间： ≤5min 响应时间：
简介氦质谱检漏仪的使用环境
环境温度：5～35℃ 相对湿度：
氦质谱检漏仪的结构－(技术贴)
氦质谱检漏仪的型号较多，但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。一、质谱室不同类型的氦质谱检漏仪的质谱室结构大同小异，都是由离子源、分析器和收集器三部分组成，它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中，如图2所示。 图2 质谱室1、离子源离子源的作用是使气体分子电离，形成一束具有一定能
氦质谱检漏仪的应用领域
（1）航空航天高科技工业 例如火箭发动机及姿态发动机，过去是打压刷肥皂水检漏，现在重新改进工艺用氦质谱检漏仪检漏，采用正压吸枪与氦罩法结合，使检漏灵敏度大大提高，从而保证了发动机质量。火箭箭体的检漏采用正压吸枪、氦罩法、累集法等几种方法的结合。由于检漏技术的应用，提高了检漏灵敏度，弥补了吸入法
氦质谱检漏仪现场校准方法研究
兰州物理研究所 作者：赵澜 目前，用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准，由于受检漏仪线性范围的影响限制，不能对其全量程范围进行校准。为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准，将一
氦质谱检漏仪现场校准方法研究
目前，用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准，由于受检漏仪线性范围的影响限制，不能对其全量程范围进行校准。为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准，将一系列不同量级漏率的薄膜渗氦型标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪，得到一组标准漏孔检漏仪示值，通过对标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线进行数学
氦质谱检漏仪的技术指标
1. 最小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s 2.漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s 3. 启动时间：≤5min 4. 响应时间：≤1s 5. 检漏口的最高压力：1500Pa 6. 电源要求：220v，50Hz，单相，10A 7. 工作环境：5-35℃ 8